なかのにっき
最新版はこちら。
突っ込みは各日付の BBS エントリのほか、
メール (nakano@st.seikei.ac.jp) や
フォーム
からどうぞ。
なおスパム除けのため、BBS 機能には
緩い認証を入れて
います。
検索エンジンから来た方は、エンジンの方のキャッシュを見るか、
下の簡易検索を試してみてください。
hns - 日記自動生成システム - Version 2.19.5
ちょっとだけ喉痛残りだが、ほぼ完治か。
原付。晴れているが大層寒い。
#3
[labo] 卒研 meeting
10:40〜11:00。自分が微妙に遅刻した。すまぬ。
ロータリーをどうしようかなあ。
MSP430 のボード付き。毎度おもろそうだとは思うんだが、
なかなか手を出す時間を取れないなあ。
卒研生のみんなに手伝ってもらって大量のゴミ出し。
モニタをいくつか処分。懸案だったコンプレッサも処分。
あまりに大量のゴミになったので、
事務室 (外口さん) に電話で確認したのだが、
その時は「そのままでいいですよ」との返事だった。
しかしその後エレベータ脇に「1F まで移動してください」との貼り紙がありますよ、
との報告が卒研生から。
うーん、こういう誰の指示だかわからんのは大変困るな。
移動したけど。
cold プラズマの分散関係、そこから群速度・位相速度の導出。
群速度に複素項がある場合は吸収 (or 増幅ないし不安定性)
が生じることになる。位相速度から屈折率を出し、
それが∞に収斂するか 0 に収斂するかによって吸収・反射の効果が異なる。
…というところまで来て、
最後に hot plasma の (線形化した) 分散関係をざっと眺めて終了。
来週プラズマプロセスの話をしておしまい、25 日は休講とのことで、
最後にここまでの講義の summary。強電離プラズマが主眼の講義だったけど、
いろいろ参考になるところが多く、実際大変に有意義だった。感謝。
R 波・L 波の ECR 条件について、講義の後にお聞きしてみた。
高林秀一先生の「プラズマ加熱基礎論」
がおすすめとのことだけど、絶版かしら？
図書館の書庫にある
ようだ。書庫なら借り出して手元に置かせてもらってもいいかな。
就職フェアがビッグサイトであったらしく 3 名で開始、
最後星くんが到着したので急遽担当。
スパッタした Al を取り出し。シート抵抗を測ってもらったら
1×10^-2 Ω程度だったそうなので、
Al のρ=2.7E-8 Ωm から考えると d〜3um くらいらしい。
なまら低いな。 20 min でそんなに付くかなあ。
次の Si をふっ酸処理してスパッタ装置ヘ。排気して明日付ける予定。
死んだ RP はオイルを入れ替えてみたが、やはり死んだままだった…
明日大橋さんに電話して相談してみる予定。むーん。
ML にいただいた報告をうけて手入れ。
帰り際に Al 膜・pSi 試料をイントロへ。
原付。寒いのにも少しは慣れた。
原付。相変わらず寒い。小雨で合羽を着たらズボンを引っかけて破いてしまった。
今日を入れてあと二回。
18:40 頃終わり。
#5
[receipt] 紀伊国屋 BC 2,174 円
#6
[paper] 今日拾った論文 (PRL 97(3), APL 89(3), JJAP p2 (29-32))
いわゆる tapping mode AFM の振幅・位相の距離依存性を積分公式にまとめた話。
L-J の場合についてグラフも。でもこれちゃんと新規性あるんだろうか。
色素を分散させた PMMA 膜をガラス上に付け、膜厚を変えながら
放射強度の角度依存性を測定した話。
双極放射に干渉を入れた式で fitting、比較的良い一致。
curvature から stress を、XRR で膜厚変化を測り、
膜の Poisson 比を決定しましょう、という話。
対象は low-K の SiOC と PAE (polyarylene ehter?)。
タイトル通りの試料。熱酸化膜の厚さを 110〜330nm で変え、
7E16 cm^-2 の 50keV Si をインプラ、N2 中 1100℃ で 1h、
5%H2-95%N2 中 500℃ で 30min のアニール。
405nm/488nm で励起、PL の膜厚依存性。
強度をモデル計算と比較まあやっぱ干渉がキモみたいだけど。
FEM/FIM の W tip をうまいこと酸化させると数 V で (!) 開口角 2°以下の (!)
電子ビームが extract される、という express letter。
どうも AM からもらったメディアは一部読めなくなっていたようで、
migrate に取っておいたバックアップから。
mkisofs -r -v -J -o fuga.iso fuga
でイメージをつくり、OSX に ftp で転送して焼いてるところ。さて。
うまく焼けたようだ。封緘。
#9
[dept] HRC パンフ写真
坪村先生から「なんか見栄えのするカッコいい装置ないですか〜」
という query があり、こないだ入った (まだ稼動させてない)
UHVSP (intro 付き) を押してみる。
なぜか被写体にもなったり。むー。
赤を入れていただいたので再編集。
#11
[labo] Al スパッタ→MgO 準備
二回目。菅原くんと。
その後ふっ酸エッチングを経て Al スパッタ・MgO スパッタ両装置へ基板導入して
今日はおしまい。ターボが 3 台回って五月蝿えのなんの。
invited/manufacturer が少々変動。
submission 予定の方はよろしくですー。
明後日の準備を全くしていないことに気付いた…
飯村くんが掃除のおばさんから「別に降ろさなくてもいいのよ、
というか 1F と 5F では担当者が違うから…」と言われたらしい。
うーん、やはり指揮系統のはっきりしている方を信じるべきだったか。
原付。久々に松屋。
原付。曇り。寝坊した。すまん。
14:50〜15:40 くらい。
この件の意思決定者はコスト対効果の意識が絶望的に欠落しているに違いない…
update した。
むー。
大橋さんに電話、オーバーホールと 2005 新品の見積をお願い。
O 抜きで。14:30-16:00 bake、16:30 から冷却、Ar 10sccm を flow。
100W 20min の depo。次の基板セットを導入まで。
昨日 MgO 用に入れた基板に菅原くんに着けてもらい、
次は伊部くんの pSi 用の半面基板を導入して排気。
#9
第一生命中澤さん来研
高度障害の場合、受取人が代理請求できるという特約付加について。
まあ判を押しておいた。受取人に連絡しとくか。
この日記では ban することにした。すみません。
スライド作り。まあ AVS のポスターをそのまま分解するだけなので、
それほど苦労することもなく。
苦戦したのがポスター刷りの方。
AVS のポスター (PowerPoint 上の原寸 W70cm×H30cm)
を PX-9000 の 44インチ幅のロール紙を使い、
横を 44 インチ、縦を 44*30/70=18.85 インチで刷ればちょうどいいや、
と思ったのだが。
ぜんぜんできない。どーやってもできない。
このとき
と同じ。なんだこのアホな仕様は？
でどうしたかというと上半分をどっぷり余らせて横向きに印刷し、
あとでハサミで切った。もうね、バ(略
明日渡す。こんなんばっかやな。
バス電車歩き。明日に備えて原付を大学に残す方向で。
ひさびさに国分寺あかぎで晩飯。
直行、事務局に寄って査読原稿を間山さんへ。
11:00 から幹事会、13:30 から産研田中先生、東海大沖村先生の講演、
その後 7 件の講演。ちょっと寂しかったか。
自分の話はそれなりに受けていたのでまあよし。
18:30 に終了。霞ヶ関まで沖村先生とご一緒、
その後は渋谷経由で吉祥寺からバス。
雨降りになっていて参る。
ゴソゴソと各方面へ打診。
#4
[vsj] プレビューチェック
明日〆切の作業。うー。
#5
[paper] 今日拾った論文 (PRL 97(4), APL 89(4))
むぅ低調。
SR 光使った diffraction enhanced imaging-CT の計算法の話。
DEI では屈折率変化の微分と絶対値両方を使うそうだが、
この CT 再構成に Filtered Back Projection を極座標で使うとこいつが 1 pass で一気にいけるで、ということらしい。
#1
[paper] 今日拾った論文 (RSI 77(7), JAP 100(2))
雨が降ってて帰るのがめんどいので。
FTIR とステージ駆動を組み合わせて赤外線イメージを取るシステム。
capillary glass や MEMS で作った微小プローブ。
電子速度測定や局所電場測定用。
SR beamline でスパッタ膜ノ XAS、XMCD 測定するための装置 (と結果)。
High Vacuum に接続された差動排気な UHV の、オリフィスを塞ぐためのバルブ。
これはちょっといいかも。
複数サンプルの表面プラズモン励起を多波長で高速測定するための
1D イメージング装置。
誘電体の laser ablation plasma のモデリング。
free electron を生成→光学関数→electron relaxation で蒸発、という story。
pulse duration と ablation depth の関係を実験報告と比較。
Schneider 先生の。まあ AVS で聞いてきた話。
O-イオンのエネルギー分析。圧力依存性、ターゲット (Nb, Ta, Zr, Hf) 依存性。
ターゲット電圧と同じエネルギー・半分のエネルギーを持つコンポーネントがあり、
それはターゲットから O2- で、あるいは O- としてスパッタされたものだろうと
(前者は解離して半分のエネルギーになる)。
plasma assisted ALD 成長させた TiN の in-situ 分光エリプソ。
Drude-Lorentz の誘電関数で。
成長温度と electron MFP の相関とか。
長時間陽極酸化した p-Si の剥離層 (porosity〜80%) の XRD、AFM、Raman、
ESR、544nm 励起の PL、など。あと light-soaking による degradation
を air 中、He 中、真空中などで。ちょっと晒すと上がって後劣化、
という、うちでも良く見るパターン。あとポリスチレンによるコーティングの効果も。
今日が年内最終日。とりあえず収集。
提出。奨学寄付金を埋める方向で。
新品の合羽を着込んで原付。
原付。VP に寄って書類受理、宮本電気工材で注文部品 get。
快諾いただき解決。うむ。
boss に選定理由書への印を貰って提出。
#7
[receipt] 紀伊国屋 BC 3,006 円
いま書庫の建物が改装工事中とのことで、
申込書を書いてきた。当日の天気が良ければ 21 日に入手できるとのこと。
#9
[paper] 今日拾った論文 2 (PRB 74(1-4), JPD 39(24), 40(1))
熱酸化 SiO2 へ 0.6 MeV で Au をインプラ、1000℃ 1h のアニールで nanoparticle
にした後、2MeV の Sn を窒素温度で打ち込んだ話。
球状の形状は変化しないが、サイズ分布が小さい方へシフトしたとのこと。
STM。monolayer In / Si(111) を 265K から冷やしていって観察。
当初 √7x√3-pseudhex から √7x√7 への転移でスタート、
長距離構造へ。
In の安定位置が 1x1 からちょいとずれているのが原因では、という議論。
UV 光による MgO 表面からの Mg emission (そういえばあったよそんなの)
が site-selective であるというのを逆手に取り、
MgO の微細構造に BE より小さなエネルギーの photon を当てても
Mg やら O やらの蒸発が発生するで、というのを実験的に見た話。
CVD で作った powder とか raactive ballistic deposition で作った pillar film
とか、3C site 密度の高いやつが対象。
量子クラスタ計算したエネルギー準位をもとに励起のメカニズムについても議論。
モデル。
2 種類の particle から、KPZ および GL モデルに従って成長させた膜の
ac/dc conductivity の計算。どっちかつーと discrete 指向の計算。
400℃ で同時蒸着、RBS, XRD, SEM, Hall 測定。x と共にρ上昇、ってだめか。
EB 蒸着。基板温度・膜厚変えて反射率測って K-K で誘電関数決めて SZM/EMA。
#10
NTS 試読
うわー、一ヶ月遅れだよ…
返却の方向で。まったく申し訳ない。
Vixen の顕微鏡アダプタ。取説は stock。
うへー、入れたの
月曜
だよ。やれやれ。Al 膜は一応 O の trace は微妙にあるけどまあ OK。
p-Si は表面にちょっとだけ F。
depth profile も取ってみたがよくわからん。
Si に C と O が入ってる感じなのだが。
そのまま原付に乗って帰宅。今日はそれほど寒くない。
原付。
9:30〜12:10。ぐったりと疲れる。
資料が入った封筒はは超整理法ストッカーの 2 段下に。
#5
セミナースライド
22 日講演
のやつ。19 日が締切だけど、
今日終わらせて明日は薄膜ハンドブックの原稿にかかりたいので頑張る。
一応でき。寝かせて月曜に送る方向で。
といいつつ 14：00〜15:30。
大変興味深く鋭い論考。月更新のようなので引き続き注目したい。
引継ぎ done。
正直かなり今さら感が強いが…
原付。はらへった。
朝から自治会の仕事 (歳末助け合いの集金) をして洗濯して掃除して床屋行って灯油買いにいったらとっぷり日が暮れてしまったので原稿着手をあきらめる (弱)。
読んだ。自転車。
#3
クラブ W 杯決勝
見た。インテルも強かったけど、
エトーだったらなあ、と思う局面も多々。
晴れ。放射冷却のせいか、今日はとても寒くて冬らしい天気になった。
#2
[labo] 卒研 meeting
10:40 から 15 分ほど。今週の予定を話し合い。
だから今ぼくがエンジニアにアドバイスできることがあるとすれば、こういうことだ。１）見込みのあるアイデアを大きなものから小さなものまで常に複数転がしておけ、２）今取り組むべきアイデアは自分の好奇心に聞け、３）妄想からは何も学べないからとにかく動くものを書け、４）それで作ってみたものが面白いということは滅多にない、だから作ったものがなお面白ければそれはいけるアイデアだというサインだからとことんやれ、５）作ってみたものが面白くなければ勇気を振り絞ってボツにしてそのまま放置して別のアイデアへ行け。
Researcher にも通じるところがあると思うのでメモ。
まあ 3〜4 の段階で金がかかるので、
単純にボツにしちゃうのはなかなか許されないだろうけど。
Science では「うまくいかなかった」結果も意味が 0 ではないので、
金を使った分の報告義務があるから。
#4
薄膜ハンドブック
着手。boss のところに旧版を借りにいって
「締切来週ですよねえ
*1
」と言ったら 、「ああ、もう『正月に書きます』って送っちゃった」
というアレゲな話に。うへへ(謎)。
来週は休講なので最終回。サイクロトロン減衰…は難しかった。
f(V) で積分すると、という考え方はランダウ減衰と似ているんだが。
あとはグロー放電とかスパッタとか CVD とか、まあ馴染みのお話。
薄膜本に書いた原稿をお渡しした。
10.5x25.5 のやつ。皆精力的に実験してくれていて大変嬉しい。
ラス１。アモルファス化のところ。内容的にあまり馴染みがないところなので、
ちと難しかった。
#8
[issp] abstract 締切日
順調に到着中。
自分らのやつも作文して submission。仲田くんのと星くんのと 2 件、
それぞれ 250 words くらいで。
しかし st.seikei.ac.jp 経由の accept メールが戻ってこないな…
#9
[labo] RG-8/u M コネクタのはんだ付け
処々の事情により(謎) 前倒しで一個。
SiOx 系スパッタのとき、交換した水晶振動子から伸びる陽光柱の写真。
田中くん→飯村くん経由でもらった。まあここに置いとけば忘れないだろ。
#11
セミナースライド
間引きして送信。
原付。うぅーさむいよーさむいよー。
うはは。
原付。今日もさむい。
#4
三菱重工渡辺さん・佐竹さん・浅原さん来研
boss の方への相談に同席、10:00〜11:40。
intensional な tensile stress 導入の戦略についていろいろ。
アモルファス SiN:H から H を脱離させることによって
1 GPa 程度の値が出る、という手法があるそうで、その周辺。
今学期の最終回。17:00 ちょい過ぎに終了。うーんわかってくれたかどうだったか。
レポート集めは 25 日昼。
ちょっと query を受けて調べてみた結果。
ヘルマン・モーガン (Hermann-Maguin) 記号による分類。
シェーンフリース記号はいろんな本に載ってるけど、
こっちは (論文には良く載ってるくせして)
まとまって書いてある成書をなかなか見かけない。
これ
には
載ってる
っぽいか。
安い
から一冊買っとくかな。
#7
accept メールその後
自分の申込の acceptance
が戻ってこない件。坂本さんに聞いてみたら、どうやら
spam filter のサーバで issp2007.org が引けず、
「そんなドメインはないで」と捨てられてたらしい。ひどいな。
件の DNS サーバで試したところ、
dig +norec issp2007.org @ほげほげ
は通るのだが
dig issp2007.org @ほげほげ
は反応を返さない。named.conf のなにかの設定じゃないですか、
と伝えてみたが、どうかなあ。
ぐあああ、自分のチョンボだった。
学科 LAN のゲートで、学外からの 53 は foward を allow してたけど、
学科以外の成蹊学内からは deny になっていたのだった。アホすぎ。
ご迷惑をおかけした坂本さん石澤さんごめんなさい。うう。
矢口先生から新年会のお知らせが回ってきた。
いくつか不達メールがあったので手当て。
東京海上火災のひとは東京海上日動になってメールが変わったらしい。
単に ほげ@tokiomarine-nichido.co.jp かと思ったが、
tokiomarine-nichido.co.jp という MX はないみたいだ。
む
、本人発見 (誰がそうかは秘密)。
#9
[vsj] プレビュー関連
ということで返信のメール。
2 ヶ月放置していたのか…もうダメすぎだ。
見方を変えると、もう世の中の数割の人が働かなくても、
全体が食っていける世の中になったっつーことでもあるのだろうか。
原付。三鷹北口の横綱屋のあとにできたところ (ツタヤの隣) をちらっと見てみたのだが、
24:00 までしかやっていないのであった。そうかー。
原付。曇り。
田中くんと。石英基板の洗浄から。
Si 処理はちょうど行くところだった菅原くんに混ぜてもらう。
ホルダ交換、基板セット、リークチェック、ベーキングまで。
TP を加熱炉へ移動。六角穴付止めねじの M8-60 が 4 本必要。
あと、モニタホルダ用に M6-65 のボルト (ねじは先端 20 程度で OK)
が 8 本いるな。
大橋さんから電話、RP が到着の由。はやい。
明日車で伺う方向で、臨時駐車票をゲット。ついでに相原ネジに寄るか。
ここ fax なかったかなあ。
#5
領収書集計
今年の副収入の予定がだいたい fix したので、
経費がいくらになったか計算してみた。~/bin/sumreceipt.sh。
#!/bin/sh
URI='http://surf.ap.seikei.ac.jp/~nakano/diary/title.cgi?2006&CAT=receipt'
w3m $URI | nkf -e | perl -e '
$sum = 0;
while(<>){
chomp;
if (/([0-9,]+) 円/) {
$income = $1;
$income =~ s/,//g;
$sum += $income;
print "$_\n";
}
}
print "sum: $sum yen\n"'
ということで 459,017 円。スパッタ本の原稿料によってはちょっと足りないかも？
#6
tokiomarine.co.jp→tmnf.jp
とのこと。なるほど Tokio Marine Nichido Fire insureance Co.,Ltd. か。
明日返すやつ。
むにーん。
採点終わり。うーん彼らには話が難しいのかなあ。
以上、10 日分です。
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