なかのにっき
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hns - 日記自動生成システム - Version 2.19.5
#2
今日のビジネス英会話
integrity 正直、清廉、誠実
connotation 言外の意味、含蓄
take 〜 up 〜の申し出に応じる
原付。ケーヨーで換気扇のフィルタを買った。
しかし今日はまたもの凄え暑い。
円周上に2点を決め、これをA、Bとする。すると、長い方の孤AB上のどこに点Cを取っても、角度ACBは同じ大きさであり、この大きさは、円の中心Oと作る角度AOBの半分になる。特別な例として、AOBが直線(つまり直径)のときには、角度ACBは直角になる。この法則は有名。
うむ、どうやって証明すんだっけ、と探してみたら
こちら
にあった。エレガントだ。
#5
[paper] 今日拾った論文 (JMR 22(3), TSF 515(7-8,12), APL 90(10,11), PRL 98(10,11))
TSF は issue の番号が前後してたみたいだけど。issue 12 は DPS2005 の proc。藤原さんが担当されたやつか。
[TBO] マークは図書館へ order するもの。したら消す方向で。
Helmersson 先生のとこ。HPPMS で角度を変えて蒸着。
XRD と抵抗測定。bcc Ta ができる条件を調べたとのこと。
オキシナイトライドの反応性スパッタ。電圧・成膜速度のモニタ、
膜の組成・密度・赤外吸収など。
Wuttig 先生のとこ。Zn ターゲットの新しいのとエロージョンができた古いのとで
膜の構造が変わった、という話。酸素負イオンの効果か、と abstract にはあるけど。
ほんまかいな。
HPPMS とか Cathodic Arc などなどで標記多層膜を作製、
基板バイアス -600V で Nb イオン処理したりして付着力とか耐腐食性を見た話らしい。
strain を KPFM で測ろうという話。
予備実験として Si のレバーに歪みを加え、
workfunction ないし photovoltage (って光照射下の WF みたいなものらしいけど)
の変化を実測、0.05% くらいの歪みで WF には 1mV、photovoltage には 7mV
くらいの変化が出ているらしい。
ついで微細加工した Si メンブレンに tensile な応力をかけて
topography と KPFM 像を観察、実際 stress mapping がとれるで、と言っている。
Sb ドープした p 型 ZnO (Hall 測定で確認) ってのは基板効果なのでは、
という指摘。PL ピークの identification についても。
著者らの reply
によれば、高抵抗基板使ったしコンタクトは基板に到達してないし、ということみたいだけど。まあでも導電性基板を使うつー時点でどうよ、と思わんでもない。
p 型 ZnO は、どうもイイカゲンな報告が多くて追うのをやめちゃったんだけど、
現状はどんななのかなあ。
MgO に SiO2 を混ぜて着けると (via 電子ビーム蒸着)、
MgO 単体よりも放電電圧・メモリ・SEEC などが改善されたという報告。
@
その他 DPS2005 から:
#6
[labo] Al スパッタのマニュアル
まあ色々あって書いた。中谷くんが前輪講で発表してたやつをベースに
~/text/notes/AlSpManual.doc。pdf を
内部 web
へ。
21:00 開始予定。
21:20 終了。お疲れさまでした。
原付。松八でばんめし。
換気扇フィルタを持って帰るのを忘れた…orz
暑かったけど風があったので、窓を全部開けっ放しにすればクーラーなしでも
家の中で活動できた。
というわけで寝具も含めて洗濯、布団干し、フィルタを付ける前に換気扇の掃除。
マジックリンの強力さを再認識した。
#2
[book] 『カンブリア宮殿 村上龍×経済人』
水風呂に漬かりつつ読了。面白かったけど、
対談を文章に起こしたもので、
かつエッセンスを抽出したものだけなので、
やや物足りない。
といって毎週
TV
を見るのもつらいからのう。
まあ番組出演の依頼・承諾のところまででフィルタがかかっているだろうけれど、
どの出演者も基本的にポジティブで話が面白い。
この種の人間的な魅力と「科学的な努力」を積み重ねているところが
成功の理由の大部分である、という村上龍の述懐はスルドい。
#3
今日の英会話上級
Passage のレビューでは obfuscation を落とす。
Zero in on the Unit のレビューは、Other than, Bear in mind,
spell out, avail, identify, How nice…と悉く落す。だめすぎ。
原付。小金井大勝軒でつけめんを食ってから大学へ。
宵が暗くなった。
#5
電源復帰
エアコンを入れ、冷蔵庫 (冷凍庫) の霜解け水の掃除から。
XPS 復帰。どうも RP の音がでかい。
そろそろこいつもオーバーホールが必要かも。
5F に戻って各サーバを起動。某研究室のが一台、
どうも電源周り (多分コンデンサ) がやられたくさく、起動しない。
本件は所有者にご連絡。南無ー。
UHVSP。ミニチュアゲージの球に交換して 22:50 より排気開始。
ケーブル接続、linux マシンとの通信も確認。こっちは明日ベークの方向か。
ICF70 のガスケットがちょうど最後の一枚だった。危なかった。
原付。グルメシティに寄ったら男前豆腐があったので、
カンブリア宮殿の影響というわけでもないが買って冷奴で食ってみた。
確かに美味い。しかし値段も倍か。
そしてまた換気扇のフィルタを持ち帰るのを忘れた…
#2
DONE
原付。うむ夏休みっぽい天気だ。
8E-6 Pa。まあ順調か。
ベーキングの準備作業は来てくれた星くんに依頼。
というわけで 16:30〜24:30 までベーキング。
fax した。
#6
[paper] 今日拾った論文 (JVSTA 25(2,3), JAP 101(5))
なんか JVSTA の alert mail も捩れていた (issue 3 のが 3 月と 5 月に 2 度来た) が、まあいいや。
通常の planar な MS だと α-アルミナは 1000K 以上の基板温度が必要だが、
dual inverted cylindrical magnetron と AC 電源を使うと結晶ができるんやで、
という話。DICM は
ref 16
によれば、向い合わせた MS のまん中に基板を置いたような格好。
酸素流量を増やして成膜速度が遅くなると、
SIMS で見た O/Al が 1.5 以上になり H content が多くなる。
ので水素重要、と言ってるが、どうだかなあ。
マグネトロンの外部に 150G 程度までかかる外部ソレノイドコイルを置いて
電流とか erosion track のかたちとかを見た話。Kadlec さんが昔やっていたような。
中央部は移動するけど、あまり均一性が向上したようには見えん。
幾何計算。off-axis ってのは FTS ではなくて、基板がずれてるときの話。
QCM で測ったスパッタ率のイオンエネルギー依存性、入射角依存性など。
校正法なんかも書いてあって面白そう。
提示されているのは Xe→Mo, Ar→Cu, Ar→W の 80〜1000 eV の normal incidence,
および Xe→Mo の 300, 500, 1keV における 0〜80度のデータ。
スパッタのレビューとして
ref8
。これは拾うか買うかしておこうかな。58 ページが $30 なら安い気がする、
ってのは感覚が麻痺しているだろうか。
炭化水素系の混合ガスの m/e の近いやつの弁別に、
窒素温度における吸着確率の違いを利用しようというアイデア。
トラップを間に挟み、窒素が満ちるまでのシグナルの時間変化を使いましょ、
ということらしい。ちょっと面白い。
名大の Nafarizal さん、佐々木先生。
Ti の壁面近くの LIF による密度分布から、
拡散状態にあるとして、粒子の付着確率を Chantry の式で導出したもの。
いつぞや応物でお聞きしたやつ。
求められた付着確率は 0.9±0.2。
聞いたときはもうちょい小さかったような気がするけど…
これ
と同じ著者。こっちはパターンが同じで基板温度を変えたもの。
900 ℃までいくと pattern が潰れて見えなくなる。
まあ振ってるパラメータが違うから二重投稿ではないけれど、なんだかなあ。
ガラス基板に φ1/4um のダイヤモンド粉で一方向に傷を付け、
〜200nm のプラチナを Filtered Vacuum Arc で漬け、
in situ で縦方向・横方向の抵抗を測って膜厚依存性にしたもの。
Fishman-Calencki のモデルにある散乱の相関長と
AFM で測った表面粗さとの関係を議論していたり。
斜めスパッタで作った groove でやってみても面白いかも、とちょっと思った。
アルバック楠本さんの、コンダクタンス対称性と散乱角異方性の話。
昨秋の連合講演会での話かな。これ真空誌の方には投稿されてたっけか。
背景ガスとして Ar を 3E-2, 9E-2, 0.25 Pa または He を 9E-2 Pa 入れた容器で Zn の Hot wall depo をした話。Si に 4cmφ の hole を開けた仕切りを 2 枚入れ、
膜厚を実測して DSMC におけるシミュレーションと比較した話。
やっぱり付着確率とソース温度の分が uncertainty になって、
まだちょっと難しいかもね、という結論。Zn だと難しいというのもあるかも。
酸素を入れない RF スパッタで Si 上に SiO2 の薄膜を作った話。
0.54 Pa、ターゲットのサイズが書いてないけど 100W、基板温度は 200〜500 ℃で、
1〜60 分堆積、AFM, 分光エリプソ、
んで XRR を REFSIM というソフトウェアパッケージで処理して porosity とその層の厚さ評価。
5〜10 nm 前後で island like から columnar like へ、その厚さは温度によって異なる、と。
いろいろやられているけど、ストーリーがいまいちピンボケな印象。
最初の
と同じグループ、同じ装置。化合物モードでの depo。
光学透過率、XRD, SEM, SIMS 測定。
背景圧力は 1E-4 と 4E-4 (ってなんで違うの?)、
酸素不純物は 1E18 cm^-3 のレベル。
HPPMS で Cr 層を着けたあと、CrN/NbN 多層膜を積んで付着力を見た話。
製膜中の energy profile、EDX で組成分析、XTEM で界面分析。
Ar プラズマ処理・Cathodic Arc での Cr 中間層と比べ、付着力が増したとのこと。
化合物生成についていろいろ議論されているが、
まあ基本的には基板と壁とで温度が違い、reaction yield (sticking coefficient) が異なる場合の話、と思っていればよさげ。
Si/SiO2 ターゲットから depo し、窒素中 1100 ℃で焼いた nc-Si 構造に
Al, Pd, Pt を 10 ないし 100 nm 蒸着、
水素中での熱処理後に金属は酸で除去して PL を見た実験。
水素がうまいこと終端して PL 強度を増す、金属がなんらかの触媒として作用する、
というような話があるのだそうで。
まあ確かに強度は増してるけど、cap なしでアニールした試料がないのでなんとも。
0:30 にベークいっぺん止め、1:00 にオーブン外して GV 閉め、ゲージのガス出し。
あとは明日か。
原付。今日は夜まで暑い。東小金井の S ガストでばんめし。
そしてまた換気扇フィルタを持ち帰り損ねた。もうだめだ。
#3
ラジオ講座
録音に失敗、そうか停電の後だったから本体の電源入ってねんだ…
電源入れた。昨日の分は at job に突っこみ。
英会話上級の方は無事に録れていた。やれやれ。
ビジネス英会話もちゃんと録れた。
#4
DONE
-
issp proc 論文の revise
-
換気扇フィルタを持って帰る
-
月火分のラ講録音
原付。東小金井のモス経由。
2 度目のベーク。分圧計の電源が入らなくなった。
ヒューズが飛んでいたので交換したのだがやはり駄目。
どうも電源に近い方みたいで自分でも直せそうだけど、
やめておく。まだ修理対応してくれるかなあ。
12:00〜24:00。1.4E-4Pa くらいになるのは、
やっぱりエラストマーのとこからの permiation か?
リークでなければ良いのだが…
単語の間に ' とか _ を挟んで擦り抜けてくる spam が増え、
spamassassin での対応を期待して volatile を追加してみる。
key を件のページから拾って
gpg import etch-volatile.asc
して sign 関係を確認、
gpg --export -a EC61E0B0BBE55AB3 > newsig
sudo apt-key add newsig
ということで追加、/etc/apt/sources.list には
deb http://ftp2.jp.debian.org/debian-volatile etch/volatile main contrib non-free
を追加して update→upgrade。まだ spamassassin は来てなかったけど。
#8
[vsj] 講演番号通知メール
プロ委の野中さんからの query を受け、issp で作ったシステムを流用して作成。
go サイン待ち。
subject 文字列は nkf -M で作り、
ファイルに書きだすときには -j -m0 するところがちょっと嵌まった部分。
pdf を添付できないか、という再 query を受ける。
んー、mime-construct とか MIME::Entity とかでやればいけそうだけど、
ちょっと日本語 subject の絡みとか色々面倒そうなので、
本文中に URL を埋め込むかたちで勘弁していただく。
文面変更の request が追加されたので対応。ふに。
#9
[labo] issp proc 改訂
した。この期に及んでナニだが、英文校閲に出しておいた方がいいかなあ。
まあいつものとこに聞くだけ聞いてみよう。
送った。さて。
すぐ返事来た。だいじょうぶらしい。ありがたや。+Order/456〜8
#10
キーボード死亡
長らく愛用していた FUJITSU FMV キーボードが死んだ。
Date 1995-4 ってそりゃまあ死んでも文句言えないか。
研究室に転がっていたもののうち、タッチがやや似ていた DEC のに替えたが、
近々買いにいかないとあかんな。ヨドバシ?
しっかしなんか今日はいろいろツイてないなあ。
#11
[paper] 今日拾った論文 (PRL 98(12), APL 90(12), Vacuum 81(8), SCT 201(15))
SCT は ion を使ったインプラ・デポの国際会議の proceedings。
いろいろ面白そうだったのだけど、やっぱりちょっと敷居が高くて拾わず。
酸化物反応性スパッタでターゲットの放電電圧とか SEE を測ってた
Depla さんたちの。こんどは O 負イオンのシグナルを測って、
SEE との間に正の相関があるとのことで。PDP 応用への指標になるんでは、とのことで。
プラズマ吸収プローブ。菅井先生のところでやった仕事みたい。
電磁場の方程式を COMSOL という FEM プログラムで解いている。
AIST の MIRAI のグループ。
p 層に As+ をインプラして面内 pn 接合を作り、
STM/STS でキャリア欠乏とかドーパントイオンを見たりとかした話。
さすが像が綺麗。
これも AIST 筑波。x が 0.05, 0.11, 0.15 のを作って 1.4K での PL 測定。
0.15 の方が強く光り、かつ高温まで持つ。
エキシトンの局在も強そうだとのことで。
#12
[paper] Google Reader で拾った論文 (PRB 76)
nc-Si への 1〜2 原子ドーピングについての計算結果。光学特性絡みの話。
DFT のパッケージに QUANTUM-ESPRESSO っていうのがあるんだそうで
(ちなみにこちらはイタリアのグループ:笑)。
しかしどう入れるかが問題だ。
Mo でサポートされた MgO (3ML) 上に乗せた Au クラスター (1〜6ケ)
の電荷状態を DFT で計算した話。
こないだのやつ
と言い、そういうトピックがあるのかしらん。
原付。やっとフィルタを持ち帰った。
#2
TODO
#3
今日のビジネス英会話
mandate 指示する、命令する [→mandatory]
fixture 備品、設備、定番
pinpoint ピンを刺して〜の位置を示す、目立たせる
pep talk 激励の言葉、檄
muscular 筋肉の
aches and pains 疼きや痛み
requisite 必須の、必要な (n 必需品)
prerequisite 前もって必要な (n 先行条件、基礎必須科目)
lighten up 元気づける、緩和する
原付。うへこれはまた暑い。ケーヨーでヒューズを購入。
3E-6 Pa。まだちょっと高いけど、一度この状態で製膜。7:15 終了、
イントロに戻すところまで。
演習問題・ノートを準備。やっぱり revision control が必要だ。
いただいたコメントをそれぞれ反映させて事務局へ。
#7
[labo] QIG-066 の件
こちら
からフィールドサービスのメールアドレスへ内容を送信。
#8
[paper] 今日拾った論文 (PRL 98(13), APL 90(13), JAP 101(6), RSI 78(3), JVSTB 25(2))
RSI には FIM & "atom probe tomography" の invited review。
JVSTB は 19th Intl Vacuum Nanoelectronics Conf. の proc。
JJAP p1 の 3A, 3B が残ってるけど、これで gmail に来てる alert の分は 3 月末まで catch up。
京都大のグループ。電流を変えて作った PS 層の屈折率の異なることを示し、
電流に時間変調をかけてフィルタ構造を作ろうという話。
安定してできてるみたいだなあ。こちらは O リングシール。
膜のグレインサイズとスケーリング測定について。
例えば square wave の膜、あるいは spherical cap を持った grain からなる膜などについて解析的な扱いをして、w∝r^α のαがほぼ 1 となるっつー関係が導けるよ、
という話。んでαの折れ曲りがだいたいグレインのサイズを示すんやで、とのことで。
α2が KPZ で予測される値に近いよ、と言ってるのだけど、
これの効果ってグレイン境界で構造断絶があるとすると保存されるのかなあ。
ってのはちゃんと読まないとだめか。
UBM による Si のデポ。アモルファスな SiO2 基板に
450℃ 以下でポリシリができたで、という結果。
イオン比を変えるとアモルファス Si の中間層がなく、
いきなりポリシリになってるような膜もできるのだそうで。
AIST のひとたち。In2O3 に Zr をドーパントとして入れて TCO にしようという話。
In2O3 と In_1.9 Zr_0.1 O_3 の各セラミックターゲットを
反応性 RF スパッタ (O2 分率 0.38%) して作っている。基板温度は 450℃。
XRD と各種伝導特性評価、透過スペクトル。
In:Zr=1-x:x の x が小さいところでは μ が 80cm^2/Vs以上、
x=0.022 で ρ=2.6E-4 Ωcm の膜ができた、とのこと。
pure O2 中で Ti ターゲットからパルス放電 (MDX sparc-LE20) で TiO2 を作った話。
O2 圧を変えて XRD とか H 入れたときの electrochromic とか。
(0.9-7.2)E-2 mbar の範囲で、圧が高い方が良い結果になってる。
Si 基板に TiN とか Al を張った膜を片持ちにしてランプで温度を調整、
こいつを位置をずらしつつ XRD にかけ、Si(004) のロッキングカーブスポットから
基板のそりを決定、Stoney の式で stress を、という話。うーんどうなんだこれわ(^_^;
micro オージェの secondary electron のところから仕事関数のマッピングをしてみようという話。GaAs や SiC の pn 接合の観察に応用。なるほど。
後藤先生の。W の FEM 像の電圧電流特性から、各面の仕事関数を決めたお話。
Seppen-Katamuki ってこちらのグループがオリジナルだったのか。
不明にもしらなんだ。
原付。幸楽苑で晩飯。家の中が暑い。
考えてみると 8 月で入ってから大学に行ってない日がなかった
(半休とかはしたけど) ので、
ちょっとは夏らしいことをしてみようということで一日休みをいただく。
ということで行ってきた。ちょうど通り雨があったようで、
納涼の効果は抜群だった。
料理とビールの水準は余り高くない (セルフサービスなので、
どうしてもジョッキが温まって温度が高くなる等々) けど、
話のタネに一度行ってみても良いんじゃないでしょうか。
ちなみに行くなら日没前後がおすすめ。
日が落ちると真っ暗になっちゃうし、夜景が見える席は限られているので。
しかし下界に降りてきたらやっぱり暑くてゲンナリした。
液体上に浮かせた膜に水滴を落として生成した wrinkle から
膜の弾性についての情報が得られる、という話らしい。
#1
[vsj] 夏季大演習問題
small fixes。Makefile 作っといて良かった。
#2
今日の英会話上級
月曜の。
infusion 注入 [opp. effusion]
melange (仏) 混合物、ごたまぜ [ちなみにメレンゲは merengue]
veneration 崇拝、尊敬
indegenous 固有の、特有の
predilection 偏愛、愛着
laudably 感心するほど [→laud 賞賛]
jet set ジェット族
assimilate 吸収する、同化する
deep-seated 深い座りごこちの、深く根ざした、底深い
abandon 〜 for … 〜を捨てて…に変える、転向する
be blessed with 〜の恩恵をこうむる、〜に恵まれる
(副詞)-minded 〜指向の、〜派の [n -mindedness]
#3
今日のビジネス英会話
水曜の。
produce 農作物 (stress on 1st syllable)
colon cancer 結腸(大腸)がん
stroke 脳梗塞、脳卒中
be deemed likely to 〜する可能性があるとみなされる
ward off 〜を回避する、〜を防ぐ
prostate cancer 前立腺がん
cardiac disease 心臓疾患
mental decline 知力の衰え
reap the benefits of 〜の効用を得る、〜の恩恵に預る
take aim at 〜に狙いを定める
knockout 大当り、すごい美人 (美男)
cumulative 累積の、蓄積の、度重なる
confer 協議する、相談する、打ち合わせる
amass 蓄積する、集める [〜compile]
garner 集める、収穫して蓄える
涼しくなったのでエアコンを止めたのだが、
やはり日が昇ると駄目 (ってそこで起きれば良いのだが) で、
再び入れてまた寝る。そして寝過ごした。
原付。また暑くなった。
星くんに HF 処理をしてもらい、基板交換。
取り出したやつは XPS へ。
最初試料のところの電位接続を間違えていてボケたスペクトルが出てぎょっとするが、
星くんに指摘を受けて接続し直して事無きを得たり。
19:00 に終了。まあ普通にできていたみたい。
これは凄い。ドルが 112 円を割り、ユーロが 150 円を割ったちうのも相当凄いな。
送信。やはり配送エラーがちらほらと。
そういえば issp のときは全然なかったな。
うへ。どうせなら停電前に来てくれていれば良かったのに。
まとめてみる。
@
『うまいもの・まずいもの』:
赤瀬川原平・東海林さだお・奥本大三郎が適当に喋り倒している対談本。
このひとたちが面白いのは、
わからんことをそのままわからんと言って会話を続けるから
(そのくせ知ってることの量は半端でない) ではないかという気がする。
@
『美しい国へ』:
OB だしあまり悪いことを言いたくはないけれど、
論旨が捩れていたり切れていたりしてどうにも。
年金のところに関する下りは話の筋が通っていた気がするが、
でもまあ足りなくなったら給付率下げるぜ、税金注入するぜ、
ってことだよなあ。
@
『とてつもない日本』:
こっちは (考え方に対する賛否はともかく) 面白く読んだ。
@
鋼の錬金術師 17:
この構想が連載当初からあったのだとすると (あったのだろうなあ)、
著者のストーリーテラーとしての力量はもの凄い。
@
スレイヤーズ SP 29:
もはやお約束だらけだが、毎回値段分は楽しい。
- トランジスタ技術 9 月号
- NHK ラ講テキスト×2
紛糾 (というほどでもないけど) した問題を解いてみるテスト。
ちょっと面白い結果に。
#13
[paper] 今日拾った論文 (JJAP p1 46(3A,3B))
ということで 3 月分まで終わり。3B は Active Matrix Flatpanel Display の特集。
Si 結晶に水素が含まれていると Thermal Double Doner によってキャリアが増える、
というのを利用して水素の拡散係数を 429〜800 ℃見積った話。
昔このへん坂本さんのとこで計算しておられたような。
千葉工大のグループ。MgO 電極の Ar 中放電について、
電極表面で電子が反射する効果を Monte Carlo で調べた話。
励起断面積の引用文献が引いてあったり。
農工大と AIST のグループ。越田先生とは別のところみたい。
CVD で作った 50nm のアモルファス Si を 13 気圧 260℃ で処理。
Raman, SIMS, んで spin density の減少の時間依存性→温度 plot で活性化エネルギー、フォトコンダクティビティの上昇、などなど。
#14
[paper] Google Reader で拾った論文 (PRB 76)
30keV の Ar+ を 60〜70度で Si に入射させ、ex-situ AFM で ripple を見た話。
飽和波長はあまり角度によらない→thermal diffusion 込みの計算結果と一致、
波長・振幅の時間発展は shadowing が効いてくると一定に、などの結果。
原付。ぱらぱら〜やや本降りの雨。涼しくなるといいが。
松屋でキムカル丼+生野菜+冷奴の晩飯。
下がった。エアコンなしで昼まで熟睡。
バス電車歩き。ヨドバシ経由。
歩くとやっぱり暑い。うぬ。
キーボード物色。
特に金を惜しむつもりはなかったのだが、結局タッチで選んで
buffalo の 980 円のにした。
その他フロッピーディスクなど。ポイントカードも作ってもらった。
W53CA も見てきた。「25 ヶ月以上」というのは日付ベースで良いのだそうで。
じゃあ夏季大から戻ったら買うかなあ。
#4
DONE
carry all over.
#5
キーボード
#6
[paper] Google Reader で拾った論文
直径が 5.79nm の In (Pt) クラスタを気相中蒸発で作り、
帯電させてマスフィルタでせんたく してアモルファスカーボン・
グラファイト上に着けて TEM 観察した話。
島のサイズ分布の離散的ナピークから接触角の推定とか、
サイズ分布をモデルと合わせて cluster dimer が拡散してるっぽいとか、
Pt の場合は cluster 間に repulsive な力が働いているっぽいとか。
#7
[paper] 今日拾った論文 (TSF 515(13), JMR 22(4), PRL 98(14), JJAP p2 46(12-16), APL 94(14), JJAP p1 46(4A))
n 型 Si 試料の backside illumination 下での陽極化成時の温度とマクロポーラス (〜um) のできかたの関係について。あるところで急激にできてきたりするんだそうな。
LBNL の Anders 先生のとこ。WOx に Er を打込むと、O vacancy ができるのではないかと。アニールの効果とかも。
TaC, a-TaC:H の反応性スパッタにおける基板バイアス (〜-300V) の効果。
XRD で grain size とか、stress, hardness の評価とかをしている模様。
タイトルの通り組成を変えてスパッタした Cu-Ag 合金膜を XRD で見た話。
1 inch の UBM ターゲットがふたつ、0.5 Pa で DC power 比を変えて 16〜76 at.%Ag
の膜。
基本的には Ag(111)、Cu(111) にそれぞれ Cu, Ag が入ってシフトしたピークが
見えている。混ぜこむとグレインが小さくなって過飽和度が上がるとか、
実はピークが見えるまでちょっと時間があるので最初はアモルファスなんじゃないかとか。
ナノ金属粒子に立つ表面プラズモンのモードと、外部光による励起・減衰について、
古典電磁気学の範囲だけど扱った話。Drude 金属の場合は解析解も導けるとのことで。
太陽電池向けの multicrystalline Si wafer つーのの評価 (少数キャリアの寿命)
に PL を使おうという話。HF ディップすることによって表面での再結合を減らし、
高速測定が可能になったと。
東工大吉本先生のところ。原子ステップのあるサファイアをモールドにして、
シリケートガラスにナノインプリントをした、という話。
1-3 kPa, 580〜600℃ 1h。
サファイアを上にするかガラスを上にするかでパターンが変わったとのこと。
膨張係数が影響しているのでは、ということだけど詳細はまだ。
Si, SIO2, In2O3 のコスパッタ→窒素中 1150〜1250℃アニールで作った試料の
EPMA 測定、PL 強度・decay 測定。
Excess Si が 6.3 at.% では、In が多いと PL が強くなり、decay は変化せず。
1.4 at.% では、In が多いと PL は弱くなって decay も短かくなる。
前者は In によってマトリックスの欠陥が緩和され、たくさんの nano-Si が生成されたせい、後者は In による recombination が発生したせい…という解釈。
この件
の絡み。まだ sarge のは関係ないけど。
- 学科: langw, mserv, proxy
- 研究室: film, uhvsp, esca, migrate, surf, babagw
- ほか: issp
tulip の読み込みは比較的初期なので、
メッセージが流れ出したら即ズバっと
LAN ケーブルを挿してしまうくらいで丁度良いみたい。
バス電車歩き。またちょっと雨。国分寺スタミナ飯店で B セット。
#1
今日の英会話上級
水曜の。むー。
exhilarate 浮き浮きさせる、陽気にさせる
swindler ペテン師、詐欺師
dainty 可憐な、品の良い
gruff-sounding 粗暴な話し方の、べらんめえ調の
portray 演じる
picturesque 絵になる、絵のように美しい
enamored 惚れこんで、夢中になって
observant 観察力の鋭い
Pardon my 名詞 (動名詞) / Pardon me for 〜ing 〜して失礼ですが
revolving 回転する、回転式の
木曜遊びにいっといてなんだが休み。
#4
今日のビジネス英会話
金曜の。
nutrient pill 栄養剤
soar 急増する、急上昇する
dump on (〜に) 転嫁する [cf offload / 押しつける]
be complicated by 〜によって悪化する
drive up 〜をつり上げる [cf jack up]
craze 大流行、熱狂 [cf fad]
canteen (社員)食堂、軽食堂、売店
scarf down 〜を飲み下す、がつがつ食べる
countermeasure 対応策、対抗策
in the hope 〜を期待して
nut 木の実 / ナット / 熱心な愛好者 / 堅くて割れないもの / 気違い、奇人、変人
した。
#1
今日の英会話上級
金曜の。
bona fide 真実の、真正に [opp. mala fide]
spare 容赦する、勘弁する
What's 〜 all about? 〜ってどういうことなの?
calamity 苦厄、災難
deity 神、神格化された人
the deceased 故人
veneration 尊敬、崇敬
ancestral tablet 位牌
altar 祭壇、聖餐台、仏壇
原付。暑い。大澤自動車さんに車検点検費用払いこみ。
そろそろオートマのギヤボックスがヘタってきているかもしれんとのことで。
さすがに買い替えどきですかねえ、などという話をする。
網代にはこれで行くけどな。
@
珍珍亭:
というわけ
で行ってきた。油そば。
元祖らしく具はメンマとチャーシューのみというシンプルな構成だが、
個人的には宝華や丸善みたいに口をさっぱりさせるカイワレとかもやしとかがあるほうがいいかな。
麺は中太の縮れ麺。美味しかったけど後半やや飽きた。
水蒸気導入。1E-4 まで入れて安定させてから普通に製膜。
着けた後の圧力は、なかなか前のレベルにまで戻ってこないけれども。ふむ。
#4
日刊工業新聞
一面にポータブルな真空容器。1E-8 Pa 台で運べるとのこと。へー。
イーオーアールって
こちら
かな。記事の内容はまだ載ってないけど。
サーバの HDD が潰れた模様。
コンサルをしてブロードバンドルータを買ってきていただき、設定のお手伝いまで。
#7
[paper] Google Reader で拾った論文 (PRB 76)
MgKα で励起した Si2p の光電子と、5925eV で励起した Si 1s の光電子とで、
電子の非弾性 MFP とか、どのくらい energy loss するかとかを考慮して
XPS スペクトルをモデルで再現した話。
プラズモン励起・e-p ペア生成のどっちが効いているか、とかの議論も。
2 次元電子ガス状態を実現する系として有名な Si(111)-√3×√3 Ag に、
1 価の金属 (Au, Cu, あと Li, Na, K などのアルカリ金属)
をくっつけるとどうなるかの第一原理計算。
実験では、"star" とか "propeller" とか、多くなると√21×√21
とかの構造が観察されているのだそうで。
吸着原子が 2D ガスの層に沈むかどうかは原子半径に依存、
star 構造は 1 原子、propeller は trimer による構造では、
などの結果が提示されている。
#8
[paper] 今日拾った論文 (PRL 98(15), APL 90(15), SCT 201(16-17), JAP 101(7))
膜と基板の弾性定数 (つかヤング率) の比によって、
wrinkling になるか buckling (delamination)
になるのかを考えてみましょ、という話。
実験は PS 膜を PDMS (ポリジメチルシロキセン) 基板に
着けた膜のヒートサイクルによる wrinkling の例。
AIST 佐賀と DENSO のグループ。反応性スパッタによる AlN 製膜。
75mm のターゲットに Al で 100〜500 W @500W の rf パワーをかけて、
XRD、分極、AFM/PFM を取った話。AlN では power 増加につれて N polarity から Al porarity になり、分極率が -2.7→4.3 pC/N になったとか。
Al リッチな環境だと Al polarity な膜になりやすいつー計算があるのだそうで。
徳島大のグループ。
レーザーによる ripple 構造は、もともとは波長と同程度の構造だったので干渉の効果と思われていたらしいが、femtosecond なやつだと 1/3〜1/5 のができるので、
それはなんでじゃろ、という議論がされているそうで。
これは 4C-SiC を対象に、照射前の表面粗さとの関係を見た話。
粗さによる光電荷生成の偏りが ripple に影響してるんでは、との提案。
Colorado School of Mines と Sproul さん、Rees さん。
UBM のパルススパッタで、T-S を変えながら
Hiden の energy analyzer + mass で IED、
得られた膜の各種物性との対応を議論しているらしい。
Closed field UBM ってなんだろ。
SiO2 上にスパッタした Cu/Co の 3〜10 nm period の多層構造の stress
を基板 bending で観察、単相の SEM 観察と比べて議論した話。
濡れ性 (Cu は Co を濡らすが Co は Cu 上で 3D island になるとか)
や lattice mismatch の影響とか。
原付。まだ暑いね。
富士ランチでばんめしにしようと思ったがやってなかった。
しょうがないので生協で練り物買って家で焼いて食った。
以上、10 日分です。
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中野武雄 (NAKANO, Takeo) <nakano@st.seikei.ac.jp>
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