なかのにっき

＠ 0 限：予備監督:

＠ 4 限：アルゴリズムとデータ構造 I:

error 見積もりのため、ということで、DC での計測をもう一度。 やはり振動子の寿命が近くなると、成膜速度の表示値がばらつく印象。

Al ターゲットにつけかえてベーク、 試験監督の間に冷まして、戻って計測. …しかしどうも電圧がどんどん上昇する以上事態。 こんなはずは、と思って冷水循環のラインはチェックした…つもりなのだが、 成膜速度が異常値を示してリーク、 緊急に電源停止、バルブ閉めてポンプ停止。

開けてみたら、結局真空装置内部が池になっていた…なんちゅうこっちゃ。 結局スパッタガンの O リングシールのところで漏れていた。 なんでじゃ。どっか詰まったのか、 それともやはり自分がアホでどこかの操作をミスしていたのか。

結局サイホンで水を吸い出し、スパッタガンは外し、 明日訪問予定だった VP に持ち込むことに。 そこのフランジはブランクで閉め、 なんとかターボは normal operation になったので帰宅。 はーなんちゅうこっちゃ。

そういえば今朝、水難系の夢を見ていたのを思い出した。正夢か。

boss と score その他について相談。

作業漏れがあったとのことで関係各位に調整。

2009 のときのシステムを引っ張り出してきて閲読用資料を作って回覧。

酒井さんに使っていただいた。 イオンスパッタ無しでも、長時間使うと落ちて、 30 分くらいしないと復帰しないようだ、とのこと。 するとやはり温度センサとかそのへんか。 あるいは電源の問題か。

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