薄膜・表面物性研究室 卒論・修論要旨 (2014-)

薄膜・表面物性研究室で行われた卒論・修論の要旨集です（中野(武)担当期）。 いずれも PDF ファイルになっています。

2018 年度

修士論文

• 木村 成輝 「非侵襲技術で観察可能な生体由来材料用薄膜マーカーの作製と評価」
• 谷口 日向 「大電力パルススパッタを用いたスピント型エミッタ作製における膜の応力抑制と形状最適化」

卒業研究

• 石井 七生 「チタンを製膜した脱細胞化組織の熱変形抑制と生物学的評価」
• 倉本 顕範 「酸化タングステン反応性スパッタプロセスにおけるヒステリシス特性」
• 澤井 絵里子 「ポリスチレン製シャーレへのTiおよびTiO₂薄膜の堆積」
• 島田 真志 「ガラスシャーレへのスパッタ製膜時の表面温度測定」
• 関口 大介 「脱細胞化組織へのジルコニウム金属および酸化物薄膜の堆積」
• 宗田 愛 「酸化タングステン薄膜の光学膜厚と透過率の評価」
• 中田 慶吾 「構造と粗さを制御したチタン金属表面の形成」
• 長原 丈 「大電力パルススパッタ法による炭窒化ホウ素膜の作製」
• 西島 葵 「反応性スパッタで製膜したチタン酸化物薄膜の血液適合性」
• 萩原 萌子 「脱細胞化組織を用いた心筋再生材料の開発」
• 早川 めぐ美 「放電ガスとキャビティ構造を変更した大電力パルススパッタによるスピント型エミッタの作製」
• 前田 直彦 「大電力パルススパッタを用いたAl₂O₃製膜プロセスの安定化」
• 松尾 海 「Bergモデルによる酸化タングステンの反応性スパッタプロセスの解析」
• 宮崎 昂洸 「Heガスを用いた大電力パルススパッタによるスピント型エミッタの作製とMo薄膜の内部応力評価」
• 八木 理子 「エレクトロクロミック特性を示す酸化タングステン薄膜の反応性スパッタによる作製」
• 山口 菜摘 「疎水化多糖ナノゲルの設計と心筋梗塞治療への応用」

2017 年度

修士論文

• 飯嶋 佑斗 「反応性スパッタで作製した酸化タングステン薄膜のエレクトロクロミック特性」
• 竹内 将人 「反応性スパッタによる新規チタン酸化物生体材料表面の創製」
• 三嶋 東 「スパッタ法による非蒸発ゲッタポンプ用合金膜の作製と熱活性化過程の評価」

卒業研究

• 鈴木 夕稀 「チタン薄膜を製膜した脱細胞化組織の生物学的評価」
• 坪田 祐貴 「エレクトロクロミック特性を示す酸化タングステン膜の吸収特性の評価」
• 出家 広大 「非蒸発ゲッタポンプ用St707合金スパッタ膜の組成と構造の評価」
• 名和 裕一朗 「脱細胞化組織表面に製膜したチタン薄膜の密着性向上」
• 諸橋 陸 「放電ガスにKrを用いたスピント型エミッタ用Mo陰極の作製」
• 吉澤 慶祐 「循環器デバイス応用に向けたチタン酸化物薄膜の作製と評価」

2016 年度

修士論文

• 成田 智基 「3極型大電力パルススパッタを用いたスピント型エミッタ陰極の形状最適化」
• 木村 光佑 「反応性スパッタのモード遷移機構における酸素流量・投入電力の関係」

卒業研究

• 磯村 航 「酸化ジルコニウムの反応性スパッタにおけるモード遷移挙動」
• 梅木 涼 「酸化マグネシウム薄膜の絶縁破壊電流の解析」
• 木村 成輝 「超音波造影下で視認可能な脱細胞化組織用薄膜マーカーの作製」
• 桑島 理樹 「非蒸発ゲッタポンプ用合金膜の加熱活性化前後の表面・内部組成評価」
• 佐野 智哉 「スパッタ酸化タングステン膜のエレクトロクロミック特性の熱処理依存性」
• 谷口 日向 「スピント型エミッタ用陰極の作製と膜の内部応力の評価」
• 陳 鵬程 「反応性スパッタによって作製した酸化タングステン薄膜のエレクトロクロミック特性」
• 福田 一貴 「チタン酸化物スパッタ薄膜の表面特性と細胞接着性」
• 宗方 唯 「酸化マグネシウム薄膜の絶縁破壊特性への製膜時酸素添加の影響」

2015 年度

修士論文

• 齋藤 悠大 「マグネトロンスパッタのエロージョン形成過程における圧力・磁場の効果」

卒業研究

• 新井 裕人 「MgO 薄膜の絶縁破壊特性の製膜圧力依存性」
• 飯嶋 佑斗 「反応性スパッタにおけるヒステリシスの圧力依存性」
• 鎌田 隆平 「マグネトロンスパッタにおける電圧挙動の変化」
• 竹内 将人 「反応性スパッタにおけるモード遷移の普遍性」
• 坪井 大輔 「V₂O₅ 膜のエレクトロクロミック特性」
• 中島 悠介 「MgO 薄膜の堆積速度の製膜圧力依存性と絶縁破壊特性」
• 西谷 健吾 「Spindt 型エミッタ用陰極の作製における最適成膜条件探索」
• 早坂 直之 「NEG 合金スパッタ膜の組成分析」
• 三嶋 東 「非蒸発ゲッタポンプ用合金膜のスパッタ製膜」
• 柳田 和輝 「反応性スパッタと酸素熱処理によるV₂O₅ 膜の製膜」

2014 年度

修士論文

• 山崎 遼 「スパッタ成膜速度分布のガス圧力およびターゲットー基板配置への依存性」

卒業研究

• 安斎 朋美 「パルススパッタプラズマ発光分析のための信号遅延システムの作製」
• 奥山 大雅 「熱酸化処理によるV₂O₅薄膜の作製と抵抗-温度特性の評価」
• 門井 裕樹 「金属ターゲットに形成されるエロージョントラック形状の時間発展」
• 木村 光佑 「大電力パルススパッタで作製したMo薄膜の微細構造」
• 坂本 翔太郎 「大電力パルススパッタによるMo堆積過程のプラズマ発光分析」
• 島田 尚毅 「酸化バナジウムスパッタ膜の熱処理と電気抵抗の温度変化」
• 中澤実希 「単層グラフェンシートの剥離過程における摩擦界面動力学」
• 中嶋 佑樹 「Si対向探針で形成した単一真実接触部のせん断過程におけるアモルファス原子分布の効果
• 成田 智基 「大電力パルススパッタを用いたSpindt型エミッタ用陰極の作製」
• 西尾 駿 「CNTピーポッド内部におけるC₆₀・C₇₀分子安定配置のエネルギー解析」
• 矢部 桃子 「製膜時圧力を変化させて製膜したMgO薄膜の内部応力の評価」
• 山下 哲靖 「反応性スパッタで作製したV₂O₅膜のエレクトロクロミック特性」
• 吉野 真登 「MgO薄膜の絶縁破壊特性の製膜時圧力依存性」

2001-2008 年度（馬場教授担当期）の要旨集へ

薄膜・表面物性研究室のホームページへ
理工学部 物質生命理工学科のホームページへ
成蹊大学のホームページへ