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その他の装置

比較的特定用途向けの装置をご紹介します。

発光分光 (Optical Emission Spectroscopy: OES) 装置

市販のカメラを改造し、 特定位置からのプラズマ発光を光ファイバーで分光計に導く装置です。 スパッタプラズマ中の各種励起種やイオン種の同定に利用しています。 将来はプラズマ全体を位置分解観察することで、 発光領域を特定し、 マグネトロンプラズマ生成機構の理論との比較を行ってみたいと考えています。

(下図左) 分光には相馬光学製のポリクロメータを用い、 185〜525 nm の波長範囲を 1024 チャンネルの CCD アレイでカバーしています。 したがって分解能は約 0.34 nm と若干低めですが、 スペクトルが一気に得られるため、 特に状態の変わりやすい点火直後のプラズマ観測などには有利です。 CCD アレイからの出力は浜松ホトニクスの MCA から PC に取り込まれます。

(下図右) 受光部は Pentax 社製のカメラを元に改造しました。 観測領域が近紫外なので、 カメラのレンズは合成石英石英の平凸単レンズに置き換えています。 また光ファイバー (左図では緑色のライン) も石英のものを用いています。 フィルム像面にファイバーのレセプタクルを取りつけ、 焦点が結ぶ位置にファイバーの端が来るようになっています。

環境調整型スクラッチ試験機

低速電子線回折装置

低速電子線回折 (Low Energy Electron Diffraction: LEED) の測定を行う装置です。

全反射減衰分光装置

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