なかのにっき
最新版はこちら。
突っ込みは各日付の BBS エントリのほか、
メール (nakano@st.seikei.ac.jp) や
フォーム
からどうぞ。
なおスパム除けのため、BBS 機能には
緩い認証を入れて
います。
検索エンジンから来た方は、エンジンの方のキャッシュを見るか、
下の簡易検索を試してみてください。
hns - 日記自動生成システム - Version 2.19.5
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Namazu for hns による簡易全文検索
詳しくは 詳細指定/ヘルプを参照して下さい
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ちょっと進めた。
明日の授業の準備と AS 打合せの準備。
#1
固体物性 I
状態密度の話と熱力学的な諸特性の話。
質問に来る感じがよろしいですね。
おそい。うーん。
#5
会議議事録
つくって送付。
#4
講義準備
するする。
学科会議〜教授会〜GoGo 会議で 19:30 まで。
冒頭のレクチャをする。今回はレーザー回折
2 回目。プラズマの話。
#4
Ti/TiO2 デポ実験
レポート仕上げて送付。
#3
[dept] 物質生命実験 II
B 班 2 回目。ひとり嵌まって 18:40 まで。
#2
入試委員のお仕事
11:05〜11:45 くらい。
10:00 から。うん、金曜よりは良くなってるんだけどね。
#4
Spindt 論文書き
止めると止まっちゃうので無理やりちょっと書いて数本 citation を追加。
#3
[labo] 中間発表練習(2.5)
谷口くん、成輝くん。
さすがに比熱まではきつかった…
そして比熱の導出をちゃんとメモにしようと思ったら結構大変なのであった…
演習。わりとできてる?
車。
物質生命物理の演習用紙のスコアとノートの準備。持ち帰りで夜まで。うう。
伊藤くんがまず 50W 放電、Y=150k のラインで横方向のスイープ。
その後馬橋さんに Vc 変えてプローブ測定してもらおうと思ったが、
コミュニケーションエラー。背面の Yellow の LED が点灯、
ハードウェアエラーかと伯東井上さんに相談。
その後通信障害でも点灯することがある、
とのことでケーブルなど問題の切り分けをしていくことに。
まあ一段落してからだなー。
#4
[EN] Photoshop Elements 11 & Premiere Elements 11
シリアルコードきた。EverNote へ。
てなわけで校閲帰りの分は submit。次にかかる。
しかし今日は色々あってあまり進められず…
#2
APEX & JJAP Online Submission System ID/PW
秘密日記へ。
車。比較的空いてた。
車。仙川〜吉祥寺通り〜環八ガス橋。
金曜の物物。スライド・ノートともできた。
小曾根くんに指導してもらって武村くんに HF 処理、
基板を入れた。
排気中にファン交換、いっぺん極性間違えた orz
付け直したら回ったが、select スイッチが効かなくなった orz
動作はしているので、zero 調整を box のネジで行えば計測自体は可能。
可能だが…
気を取り直して試料搬送。これはちゃんとできた。
高城さんから DC ファン。
馬橋くんにプローブ測定をしてもらう…ところだったが、
ターゲット冷却水が流れてなくて漏れた。あうあう。
とりあえずガンを取り外し。熱かったので作業はまた。
VP 大橋さんに電話して O リングを金曜午前にいただく方向にて。
#3
[issp] 1st circ 関連
調整にひとつ。あともうひとつでかいミスが発見された…って
向こうのエンバグなのか。うーむ。
#2
Adobe ID
昨日 CS6 DS の購入絡みで、
アカデミック個人の購入をするには会社名に名前が入ってちゃ駄目、と言われ、
ついでに ID のメールアドレスも変えたら今日ログインできなくなっていた。
パスワード変更のメールにも反応がないのでチャットサポートに頼って復帰。
ありがとうございました。秘密日記に。
てなわけで先方のリクエストにより fax を再送。
車。給油した。エアコン無しで走れるようになったので燃費がたいへんよろしい。
車。世田谷経由。
#8
/home 整理
これも酷いことになっていたので。
おおむね PDF は scansnap のフォルダへ移動。
引き続きベーキングのテストをしていただく。
明日はリークしてターゲット直して再び排気の方向にて。
いよいよデポできるかね。
書類を snap してメール 4 件。あとは企画会議の議事録。
ブックセンターに書籍 8 件。
高千穂さんが 3.4L ボンベ 2 本の回収に。
もらってきた UGD-1S を刺して 13:00 で 800rpm。
#2
[VP] 諸々打合せ
光学系ステージを拝見。ちと誤算があり (^_^;、
workaround の手立てを相談。
ついでにリミッタを上下動にも付けていただけるようお願い。
uhvsp のステージの件も検討、
現在のを磨いていただくほか、
スライド部をベアリング込みでちょっとつくり変えてみる方向で。
車。VP 経由。
昼に買い物に行ったくらいで、
やはりおむねグッタリ。うーうー。
2 件揃った人への結果の送付。
さて reviewer として読まねばならぬ。ほえほえ。
HDD をミラー。
OSR2 を入れてみようかと思ったのだが挫折。むー。
ベーキング後の復帰作業。バラトロンを稼動させるとこまで。
#13
今日の徹底トレーニング英会話
金曜は苦手だ。
registered mail 書留郵便
#12
今日の実践ビジネス英語
昨日の。
high spender 気前よく浪費する人
penny-pincher 締り屋、節約家
wind down だんだん縮小する [opp. wind up]
squeeze credit 金融を引き締める
spiral 急上昇する
go from bad to worse jsaraniAkka suru
lsee in the crystal ball (占いで) 水晶玉を覗いてみる、この先を天保する
shurug off 〜を受け流す、〜を軽視する、〜に対して開き直る
cardinal sin 大罪
conspicuous 明白な、はっきり見える、目立つ
live beyond one's means 収入に不相応な暮らしをする [opp. 〜 within 〜]
fly in the ointment 台なしにするもの [ointment → 軟膏]
ちょうど蒸着で液体窒素が余ってたので、
たくさんあった 1S1588 と一昨日買ってきたケーブルで試料を作って
漬けて測ってみるテスト。
良好。では大量生産といくか。
最近社会派な gigazine の記事。
つまり、「65歳以上の老人と1歳〜4歳の乳幼児にもち・パン・ご飯・すし・あめ・だんご・おかゆ・流動食・カップ入りゼリー・ゼリー・しらたきを食べさせると窒息死する可能性が高い」ということをより周知徹底することが先決であり、「マンナンライフ」に圧力をかけて「蒟蒻畑」を発売禁止にするのはお門違いです。「こんにゃく入りゼリー」を発売禁止にしても何も問題は解決しません。
うむ。ちうか「食べさせるな」と書いてあるものを
(警告の対象者なのに) 食べた・食べさせた人間の責任は一切追求せず、
「危険だから売るな」というのは、どういう思考回路をしているんだろうか。
ちなみに蒟蒻畑は個人的に好物なので、無くなると大変悲しいのだが。
小泉機器工業から fax が入っていたので原付で取りに行ってきた。
収入印紙付きの領収書を貰ったのは久し振り。
編集部へ。大変遅くなってしまった…
push。
返信いただいた。ありがたや。
O2 1.7sccm でデポ。
MBI 用の Ag コート。
出版された模様。お疲れさまでした。てなわけで
自分たちのやつ
も公開された模様。
#3
スパッタ本
原稿拝受確認、藤本さんに電話して打合せ。
#2
[paper] Google Reader で拾った論文
8 月後半の分。
2" ターゲットに 20〜100 kHz で duty を揚げていくと Ar を抜いても放電が持続、
という話。OES と電圧電流波形計測。HiPIMS の文脈というよりも、
反応性スパッタのアーク防止のアイデアを援用して
Self-sustained スパッタをパルス化してみた、というところらしい。
なるほど。しかし 11kW つうのはさすがにデカい。
Anders 先生のところ。long-pulse HIPIMS のマススペで、Ti で e/m が 12, 16 のやつを見付けた、という話。C とかではなく、Ti3+, Ti4+ であろうと。
Time of flight 分 (なのかな?)、放電パルスから MS のゲートを
delay させて測っている模様。
シンガポールのグループ。MOS の SiOxNy のゲート絶縁膜を対象に、
DBIE (dielectric breakdown induced epitaxy) を利用して breakdown path を特定、
その部分の STEM-EELS で見て、周囲にくらべて酸素が欠乏している、
という結果を得たとの主張。RRAM なんかに絡んで面白そうな話。
MgO (001) 上に UHV スパッタで成長させた Cu 膜の表面 roughness が
アニールによってどう変わるかを in-situ STM で見た話。
おなじみの w-L グラフとかも。
24 nm 程度だとアニールによって roubhness は減るが、120 nm だと増加する。
薄いと mound 様の構造が coalesce して大きくなるのだが、
厚いと step を多数含むような構造になって、原子移動が阻害されるからではないかと。
防衛大のグループと慶應の真壁先生。
酸素プラズマの VUV 吸収分光と Si 酸化膜の XPS 測定。
希ガス (Kr, Ar) で希釈した方が準安定状態の酸素原子が増え、
より stoichiometric な SiO2 ができて Kr だと耐圧も増加する、と。
Helmerson 先生が共著に入ってる Sweden のグループ。
プラズマの流体モデルを HiPIMS に適用、
ターゲット近傍に通常の dcMS の場合とは逆向きの電場ができるよ、
との計算結果。ほう。
ああこれは古いやつを電子化したのだった。X 線管用のスリットの角度調整の話。
スリットの中あたりをマスクすれば上下の像がずれるので、
それを見て調整すれば OK、というアイデア。
差圧式の field emitter 型イオン源でのガス流れについて
実測してみた結果。夏季大のネタに?
Han 先生のところ。普通に直線で入れる LIF。
100 mTorr までで Ti/Ti+ というのは佐々木先生たちのと同じ領域。
ターゲットは 10cmφだけど。
速度についても比較して、Ti の方が thermalization が速やかに起こるとか。
高圧で Ti+ の ratio が非常に大きい、というのが佐々木先生たちの結果だったけど、
それはあまりここでは強調されていない (引用はされてるんだけど)。
Ge/Si の self-assembled nanodots の話。
S-K 成長前にごく浅くでも groove があると、その上に置かれる island が
一番エネルギー的に安定になる、と。
んで別の島の周囲に自然にできる trench を groove とみなすことによって、
coalescence の際の別の島の移動がこの話に従うと考えられる、とのこと。
#1
NHK ラ講 podcast
こんなの
を
自動生成
してたんだが (って随分間が開いてるな)、
rss 2.0
の pubDate を使ってなかったため、iTunes から日付ソートが効いていなかった
*1
。ということで追加してみるテスト。
録音したファイルの mtime を足せば良いので
結局こんな感じ
で。参考にしたのは
こちら
あたり。
setlocale しておかないと strftime が日本語になってしまうのにちょい嵌まった。
*1: ちゃんと毎日聞いてれば必要ないのだが(笑)
#14
今日の英会話上級
今日は割と familiar な形式の会話なので楽だった。
out of control 制御不能の (go と get の違いはなんぞや?)
riot 暴動、反乱
unrestrained 野放図な
botanical 植物の [opp. animalis]
on the verge of 〜の寸前である
原付。富士ランチ。
#12
[paper] Google Reader で拾った論文 (PSST 16)
昨日の PRB も補完。
導波管に OD 12mm のパイレックス管を通し、
2.45 GHz で 0.5〜4 Torr の Ar/O2 プラズマを立て、
OES で atomic O の生成を議論した話。
O の 844.6nm と Ar の 750.4nm の各遷移の
始状態がそれぞれ 11.0, 13.5 eV と近いことから、
この比を使って密度を評価できるだろう、ということらしい。
あと NO2 ガスを使った滴定 (titration) でも O 原子の flow が決定できる
(詳細は refs. 4-6) そうで、それと比較して議論。
#11
ReaD 研究者情報
カッとなって更新した。日本語の論文は日本語情報へ、英語の論文は英語情報へ。
誤解のもとかもしれんが両方に登録するのは面倒すぎるので。
学会発表の情報はバッサリ切った。同じく面倒すぎるので。
タイプライターツール。
フォントサイズのデフォルト指定はできないっぽい?
真空展トピックスの原稿とか ISSP の会議報告の件とか。
#8
[receipt] 紀伊国屋 BC 19,593 円
- Unix Magazine Classic with DVD
- パリティ 10 月号
- 日経サイエンス 11 月号
UM Classic のテイストは大変懐しい。
が、いまどきだともう売れないんだろうなー。
出した。もうだいぶ前だけど DELL の HDD 到着の件を根津さんに口頭にて報告。
まだお伝えしてなかった。どうもすみません。
Si ターゲットに入れかえてベーキング。
引き始めたタイミングで柏木くんがやって来た :-)
#5
[paper] 今日拾った論文 (Phys. Today Oct 2007, Materials 360 Sep 2007(2))
MRS の経由。GaN ベース Blue LED で、
サファイア基板の背面に ion beam milling でフレネルマイクロレンズを作り、
カップリングを良くして出力が 1.68 倍になったという話。
直前対策。質問を受け付ける予定だったのだが、
あまりなくて時間が余った。やや準備不足だったか。
原付。やっぱり気温低い。VP 経由。
#2
今日のビジネス英会話
vengeful 執念深い、復讐心のある [cf, revenge, avenge, vengeance]
fawning へつらい
lean on 〜に頼る
overstep bounds 出すぎたまねをする
cut slack on 〜を大目に見る、理解を示す
two-way street 双方向的なもの、相互通行道路
rap おしゃべり、雑談
humdinger 極めてすばらしい (もの)
原付。武蔵境セイフー脇で爆音を発するバイク列と擦れ違う。
#11
[paper] 今日拾った論文 (JAP 99(11))
住友イートンノバ
の鈴木さんのレビュー。ディスプレイに使われる TFT で、
主に不純物ドーピングとその activation に focus した話。
15 pages, 151 refs。
Si の photolelectrochemical etching でフォトニック結晶を作る際、
特に長距離 (〜10mm) での一様性を評価した話。
ギャップを直接測るのは難しいので、欠陥を周期的に導入して
それがつくるギャップ中の準位を resonator にし、
その周波数 (Q も使えるそうだが) を map することで周囲の disorder
を評価しよう、というアイデアらしい。
TiN のデュアルビームイオンスパッタ。mechanical な性質と構造に特化しており、
intro も参考文献が多く参考になる。
Si(100) 基板 (with native oxide) や fused silica に堆積、
ガンは rf multicasp がふたつ。
ターゲットへは 1.2kV 80mA、イオンガンへの Ar flux は 10sccm。
基板へは 45 度入射、25〜150V で 40〜80 mA。
N2/Ar は各 2sccm。基板温度は RT と 300℃。
deporate は 0.28〜0.44Å/s、製膜時圧力は 0.04Pa で T-S は 30cm。
XRR、RBS、AFM→roughness、
XRD、TEM。応力と基板温度で配向が変わる、という結果。
イオンエネルギーを大きく、基板温度を高くすると (111)→(002)。
大澤くんが前に輪講にかけてくれたやつ
と凄くタイトルが似ているが、別のグループみたいだ。
化成前に浸漬すると波長が変わるつーあたりは知らなんだ。
シリカは sol-gel で 10um。HCL 密度で polymerization を control、
ポリマー化した状態で付けた方が PL 強度は大きくなるとか。
GaN 上に MOVPE 成長させた InAlGaN ベースの UV LED を SIMS 観察、
active layer の O contamination (780℃成長の試料では 1E-18/cc レベル)
が EL 発光
(特に 350nm band の)
に及ぼす影響について議論した話。
contamination は成長温度に依存、高温の方が少ない。
で少ないと結晶が良くなることに加え、
electron leakage も少なくなって出力が上がる、という結論らしい。
出版年は 1981、タイトルが "Thermalization of sputtered atoms"。
薄膜ハンドブックあたりの引用のタネにはなりそう。
HIS から reminder が来たので忘れないうちに振込。
やっぱりオンラインバンクは便利じゃのお。
#8
[VP] 秋学期期間の勉強会
金曜にずらしていただいた。申し訳ない。
ということで 19:15〜19:50 くらいまで。
web フォルダを掘った。
#6
MRS accout"s"
どうも eMatters が 2 通くるので変だなと思っていたら。
会員としての登録と online alert を受けるための user としての登録
(多分
こっち
) を二重にしちゃったらしい。
とりあえず後者からのメールを unsubscribe、
解約できないか事務局に query のメール。
後者の情報を merge していただけたとの reply。
向こうは早朝なのにありがたい。
二学期の初回。フランクヘルツ管のグループは凄く優秀で、
16:00 前には終わってしまった。
なかなか実験の意味を捕むのは難しそうだったので、
その後いろいろ話し込み。撤退は 17:10 頃。
原付。晴れ。経路途中で激しいクシャミ。またアレルギーの季節か。
原付。また雨降ったのか。
#2
nfs の問題
どうもうまく切り分けができないなあ。
hns のユーザログが hole を作っていたりしたし…うーむ。
nfs の問題に悩まされつつ 3h ほどで完成。
メール数通書いて撤退。
てんこうさんのとこ
から。
「一石二鳥」「七転八倒」だった。1 番目はともかく 2 番目は…
銀座線〜井の頭線で冨岡さんと一緒に吉祥寺へ。
駅からバス。バス停を降りたら齋藤さんとバッタリ。
10/1 から農工大へ異動が決まったとのこと。めでたい。
また飲み会やりましょう、ということに。
10:30 から赤坂の KIT 事務所にて。
編集作業は午前中に終了、ご飯食べて雑談モードに移行。
そのまま 14:00 からの反省会へ。17:15 終了、その後打ち上げの慰労会。
20:00 終了。
原付。窒素当番の関係で。
いや、しかしどうやら自分の当番は来週だったらしい。うに。
大学に出るつもりが半分はあったのだが、
挫けて終日『ローマ人の物語」文庫版 11〜13。
そうだったのか…
#213733
と同じようなバグに会う。
shutdown→reboot したら直った。うーん portmap かなあ。
昨日作った 1Pa RT 15min の試料をスパッタの待ち時間に測定。
今日作った 10Pa RT 15min のやつも測定。ふー。
図書館から到着の旨連絡をもらったので読みに行ってみる。
五酸化リンの話は載っていなかったが、
参考になりそうな部分をいくつかコピー。
図書館にある撮影式のコピー機は楽で良いのだが、
コピーカードを自腹で買わなければならないのがナニだ。
15:00〜20:30。
10Pa RT 100W T-S 60mm 15min。
原付。寝すぎた。
原付。へろへろ。
23:10 過ぎ、上流で切断。
133.220.96.254 までの ping はできるから、
apdrelay の問題ではなさそうだ。
10/4 に涌井さんにお会いしたので聞いてみたら、
11 号館 4F のルータがやられてたとのこと。
We introduce a solid-on-solid growth process which evolves by random deposition of dimers, surface diffusion, and evaporation of monomers from the edges of plateaus. It is shown that the model exhibits a robust transition from a smooth to a rough phase. The roughening transition is driven by an absorbing phase transition at the bottom layer of the interface, which displays the same type of critical behavior as the pair contact process with diffusion 2A->3A, 2A->0.
リファレンスが多くてよさげ。
We present a detailed study of the electron emission from a thin MgO(100) film on a Mo substrate, bombarded with slow He+, Ne+, and Ar+ ions. Neither the high absolute number of emitted electrons per incoming ion nor the electron spectra can be due to Auger neutralization of the incoming ions at the MgO surface alone. Therefore, an additional mechanism is proposed: holes created in the MgO film are transported to the MgO-substrate interface where they give rise to an Auger neutralization process involving two electrons from the metal substrate conduction band.
ふーむ。要するに Auger Neutralization ではスペクトルを説明できなかったとのこと。
ちなみに Ep〜40eV, d〜1-5 nm。
TeraTerm Pro Web is the next generation tool for connecting with remote Telnet and SSH hosts. It is built based on the extremely popular open-source TeraTerm product put out by T. Teranishi in 1999 (
click here
for original site). In keeping with the original philosophy and spirit of the author, our modified version is completely free!!
試さないと!
@
試した:
うーん、SSH2 は Password 認証と TIS 認証しかないのかな?
@
teraterm ML:
質問してみたら、
できてるんですけど、変な感じです。
どこにも鍵指定していないのに、HDD中の秘密鍵を探してきて
使っているようです。
同じディレクトリにはないのに...
sshd 側の log にも Accepted publickey と出ていますし、
ちゃんと使われているようです。
# そもそも publickey しか許可してないし。
しかも、○○
*1
は putty も使っていて、pagent にパスフレーズを
覚えさせていますが、そいつと通信しているようです。
というわけで、なにも設定していませんが、publickey を使って
パスフレーズ入力なしでログインできています。
動作の仕組みがわからないので気持ち悪くて使う気になりません。:-p
という回答が。ふむ。
#2
[dept] 物理情報実験第三 第 1 クール 1 回目
B 班。最初の割にはまあまあ順調に進行中。
17:00 に無事終了。
#1
[JM] 今日の post
e2fsprogs の chattr.1, libuuid.3, badblocks.8, findfs.8。
その後 debugfs.8。残りはちょっとずつやろう。
#10
[book] 『ああ言えばこう食う』阿川佐和子、壇ふみ 集英社文庫
行き帰りの電車の中で。面白かった。
内容は
amazon.co.jp のレビュー
の通り。kill time にはとても向いている。
ただし末尾の鼎談で五木寛之が言ってたように
「なんにも残らない」本でもあるな。
まあそこがまたいいんだけど。
#9
今日のラジヲ英会話
take part in 〜 〜に参加する
acquire 身につける
a good sport 勝ち負けにこだわらない人
be informed 知識がある、事情がわかっている
liberal-minded 寛大な
#8
Quesant へのメール
sent. 読み返してみたらメタメタだったのであちこち直す。
#7
[i1124] kernel-source-2.4.10 + pcmcia-source-3.1.28
無事ビルドできた。
#6
ext3
migrate に 2.4.10+ext3 パッチなカーネルを導入、
20G の RAID1 領域に ext3 partition を作ってみた。
babagw の /home のバックアップ領域なので、まあ最悪死んでも大丈夫だろ。
#5
Epson GT-7600 & Windows 2000
新規インストールした Win2K マシンに Tekram DC-315U を差して GT-7600 をつないだ。
ここ
から最新のドライバ ew2k41a.exe を落とし、展開。
scsimap.sys はどこだ、というダイアログが出て、
頑張っても見つからないのでキャンセル。
するとデバイスマネージャでは「正常に動いている」旨の表示になっているが、
MS PhotoEditor から使おうとすると「正常にセットアップされていない」となる。
いろいろ辿って
scsimap.sys に関する FAQ
に行き当たる。これに従って一度 OEM*.INF と OEM*.PNF ファイルをアンインストール、
新規インストール
を試す。やっぱり scsimap.sys で引っかかる。
その状態から
ドライバの更新によるインストール
も試す。やはり引っかかる。
ここで上記の ew2k41a.exe から展開された
escanfb4.inf を見てみると、
; Default Copy File Section. DO NOT EDIT
[SCSI.Scan.CopySys32Files]
scsiscan.sys,,,32
scsimap.sys,,,32
という下りがある。こいつがコピーさせようとしてないか?
という段階で
サポート
に電話してみる。
上記のような説明をして、
「では scsimap.sys がない場合のヒントを fax します」
...って、予想通り web の FAQ まんまの fax が来た(笑)。
もう OEM*.INF で GT-7600 は見つからない。うーん。
また電話すんのか。
なんで fax とかメールでこっちの症状を説明させてくれないかなあ。
3 ヶ月の放置プレイであった (2003-10-10 追加)。
#4
[labo] VP から fax
お願いしていたパーツの図面と見積もりが来る。
製作を依頼。
前に買ったスパッタガン用に、
RF のマッチングボックスがいるんでしたっけ、
と聞いてみたら、小電力ではなくても大丈夫じゃないか、との返事。
今度やってみよう。
ちょっと部品の買い込みに。
Tekram
DC-315U
, 3mode FDDx2, あと DIMM メモリを適当に。
自宅用に CLIE の USB クレードルも買おうかと思ったのだが、
ちょっとまわった範囲では見当たらなかった。
書泉ブックタワーは休みだった...
ついでに中央線の新宿〜東京間が線路工事で止まってた。
あまり適切な日だとは言えなかったようだ。
14:30 頃学校着。ipsio の消耗品が到着していた。
天気が良かったせいか、バイクでの帰り道、すごく綺麗な月夜だった。
ちょうど
十五夜
だったらしいので、
酒を用意して部屋の明かりを消して鑑賞してみた。
@
いや:
月齢 15 ってのは十六夜なんだっけ?
まあどっちでもいいや (よっぱらい)
#2
ボストン三日目
@
朝:
6:30 起き。筋肉痛(笑)
シャワー浴びて Express bus で 8:20 に会場着。
うぅ、 Boston きてサラリーマンするとは思わなんだ。
@
午前:
Plasma Science, "Modeling of Plasma Processes"。
最初の intel の発表がなんかいきなりものすごくて驚くが、
後の発表を聞いているうち、
物理 (というか化学) 的な内容にはあんまり踏み込んでいなかったから、
そんなにビビらなくてもいいのかなあと思い直す。
その他もろもろ聞き、やっぱりエッチングプラズマでは
プラズマバルクのモデル化が進んでいるなあと感心。
キーワードとして、CHEMKIN と言うデータベースがあるらしい。
反応断面積のものっぽい。要チェック。
その他覚書:
- APL 63 pp.915 を拾うこと。
- Tatusmi さん (Association of Super-Advanced Electronics Technologies) の Particle Balance Model について検索すること。
- invited, Prof. Kushner の講演スライドが
にあるとのこと。
午前の最後二件は IPVD に関するレポート。
エッチングプラズマの分野のモデルとかを IPVD に適用できたら、
2〜3 年はネタに困らないなあ、とか思ったり思わなかったり。
@
昼:
Food square で、今回は chinese の fast food。
長粒米のご飯、酢豚の餡を鶏の揚げ物にからめたようなやつ、
海老とセロリの炒め物、春巻。多い。
会場に戻って exibition を眺めようかと思ったが、
いきなり眠くなったので、早めに会場に入って 1h ほど仮眠。
@
午後:
Thin film "Mechanical Properties of Thin Film",
最初の invited talk の AFM 使った nano-indentation & friction の講演と、
金沢工大の草野先生の TiN/(Cu or Al) multilayer の講演を聴く。
その後 Plasma Science, "Plasma Diagnostics" の session に移動。
同じく覚書。
- PRE 60 pp.6016 (1999), PRA 57 pp.2687 (1999), JAP 55 pp.242 (1984)。 以上は probe gas を入れて電子温度を決める手法に関して。
- 堀池先生が co-author の講演が二件。 ポリマー subst. をプラズマにさらし、 mass spectroscopy & OES したやつと、東海大の先生の、アンテナのモードを変えて
電子温度を下げるやつ。後者はいつか読んだな。
会議中肩が凝ってこまった。
@
夕方:
ポスターセッションだったのだが、
バスの時間が心配だったので早めに切り上げ。
会場では広工大の川端先生・田中先生にお会いし、
ちょっとポスターの内容を聞いたり世間話したり。
green line で goverment center から bus の 354.
終バスは 7:13 らしい。
宿に戻り、部屋の message warning でフロントに連絡、
朝出してあった洗濯物を受け取る。
しばらく休憩、
宿に附属のレストランで晩御飯。
サミュエルアダムス、クラムチャウダー、海老のグリル。
うーむ、まあ可もなく不可もなし、といった感じか。
レストランの隣のバーの TV では、佐々木が投げていた :-)
一日ずれてたのを修正。
@
したら:
すでに
リンクされてる
のを発見。あうぅ、ごめんなさい (^^;
で、ボストンに宿ないの件ですが、やっぱそういうものみたいです。
ほかの都市に比べて 5 割くらいは高い感じですね。
しかもどうやらいまは観光シーズンみたい。
教訓としては、学会の場合は
主催者側が用意してくれた宿をさっさととること、ですかね。
以上、18 日分です。
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中野武雄 (NAKANO, Takeo) <nakano@st.seikei.ac.jp>
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