なかのにっき

自転車。

バス電車歩き。

フローコントローラの空圧バルブ用のやつ。 藤本君が圧力弁を大きく開けた状態でボンベの弁を開けたため、 二次側の安全弁が抜けてしまった。 三栄商会に電話、持ち込めば修理してくれるらしいので、 明日 VP に行く 前に寄って持参することにした。 三栄商会の地図は こちら (mapion)。

depth profile が変化していないとのこと。 イオンがあたっていない？ フィラメントは切れていなかった。 後でファラデーカップ入れてチェックしよう。

＠ ESCA Ion gun calibration:

＠ 明日の仕込み:

3/8 (土)〜3/16(日) にかけてが移動になるようだ。

最初一緒にやって中島君に渡す。
測定完了。まずは圧力ごとのグラフにしてもらうよう頼む。 距離に対して指数で落ちているように見えるので、 deporate の log と距離のグラフの傾きを計算してもらう。

IRC で あきらさん から教えてもらった。

spamを止めることは可能だ。そして内容に基づいたフィルタリングがその方法だ。 spamを送る連中のアキレス腱は、彼らのメッセージだ。あなたがどんな障壁を築こうとも、彼らはそれをすり抜ける方法を見つける。少なくとも今まではそうだった。だが彼らは、何であれメッセージを届けなければならない。彼らのメッセージを認識できるソフトウェアを書くことができれば、彼らの道を絶つことができる。

これを元に実装されたものとして、

• Gauche:SpamFilter
• bsproc

など。もうちょい時間ができたら試してみよう。

＠ 自分の spam:

テフロンスパッタ後のチャンバーコンディショニング。 トラブル のためケツカッチンになってしまった藤本君を引き継いで作業。 16:35 点火、17:35 シャッターオープン、19:35 までの予定。 5x10^-2 Torr ということでやっているのだが、 どんどん圧力が下がっている、ようにみえる。 実際サーモカップルゲージの方は、当初 10 から 25Pa 程度の表示に。 シュルツゲージの初期変化、なんてあるのかなあ。 そういえば心なしかフィラメントの色もだんだん 赤っぽくなってきた (＝温度が低くなってきた) ような気がする。

プラズマ消灯後、バタフライバルブを全開にしてみたところ、 6x10^-3 から 10x10^-3 Torr くらいまでダラダラ上昇。 チャンバーの温度で説明できる範囲なのだろうか。よくわからん。

赤っぽいのは既に tube が蒸発したフィラメントで汚れていたからだった。 んー、O2 が入ってるガスだからしょうがないけど。 管切りの手段を考えておいた方がいいだろうな。

基板を取出してみたら、ちょっと茶色がかっていたけど、 ほぼ透明な膜になっていたので、 中を掃除して昨日仕込んだ Si 基板ホルダを装着して粗排気。