なかのにっき

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[n年日記]

今日の TODO

TODO その 2 に忙殺されて進展せず。査読がやばい。

[paper] 今日拾った論文 (JAP 98(10))

＠ Diagnostics of nitrogen plasma by trace rare-gas-optical emission spectroscopy:

窒素ガスのプラズマの放電電力・圧力依存性。圧力領域は 5～10 mbar → 500～1k Pa というところ。分子 neutral、分子イオンからの発光強度を測定。 Ar を混ぜて、N2 metastable の (相対) 密度測定とか、 Ar の 419.8 と 470.2nm を使って電子温度決定とか。

＠ Copper nitride thin film prepared by reactive radio-frequency magnetron sputtering:

Cu3N は低反射率、高抵抗率で 250℃で熱分解、とか。んで storage にできるのでは、ということで注目されているそうな。 b.p. 10^-4 Pa、Ar 12sccm, N2 0～12sccm、全圧 0.5～1.5Pa、RF 340W。 XRD, SEM, AFM、Hall 測定。Hall 係数の 1/T から gap を決めて 1.18～2.60 eV とか。やっぱ、ちゃんとできてるんすかね、というところかなあ。

＠ Roughness evolution in thin-film growth of SiO2 and Nb2O5:

表面 roughness の fractal 解析。MF dual sputter で SiO2 と Nb2O5 って酸素は混ぜてないんすかね？nanoscope で 2um 角測定、 SiO2 は 10～700nm で w～2nm α～0.5+ β=0.59、Nb2O5 は 10～400nm で w～0.8nm α～0.4 β～0.53 というところ。 height-height correlation function, height-difference correlation function の各計算式がきっちり載ってるのは便利かも。

＠ Potential of submicrometer thickness Cu(In,Ga)Se2 solar cells:

absorber layer が吸収長以下だったら solar cell の効率はどうなるか、という計算。 AMPS-1D というプログラムを使ったらしい。 Ga/(Ga+In) の grading を backcontact 付近に付けるとええで、ということらしい。condaction band を上に持ち上げて electron を反射させる、という考えかたみたい。1D でほんまにええのんか、というのはあるが。

＠ Nonlinear and linearized algorithms for the Young's modulus extraction of thin films through the capacitance-voltage measurement of microstructures:

MEMS を念頭に置いた測定。Si 単結晶の cantilever beam (長さ 3mm 幅 0.75 mm) をと gap 11～13um の下地との間にコンデンサを形成させ、 C-V 測定をすることで曲がりによる C の変化を拾い、弾性率を測定しようという試み。結果 110 面が出た beam で 170 GPa とか。

行き

原付。郵便局～農協に寄って床下工事代金の払込み。

[vsj] アシストマイクロ来訪

10:30～11:15 打合せ。報告のレポートを書かねば。

諸々スキャンしたりメール書いたり。ぐう。

[labo] new Win PC

g4u のバックアップが終わっていたので、ドメインに参加させてスパッタ装置の横へ配置。

[LBC] 現役支援費

まず調達しないと。

諸々メール送信。計 5 通。うう。

[labo] 英文輪読

大澤くん、柴田くん。柴田くんは来週もう一度。

[labo] Al スパッタ

「基板取り付けました～」と声がかかったので、んじゃセットしましょうか、と持ち上げたらカランと基板が脱落。あらら。その後強く締めたら割れてしまったらしい… ということでこちらも再挑戦。

生郎

[Windows] my Win PC

どうも Acrobat の云々は、自分のレジストリの問題らしい。ということでもういい加減膨れあがってるプロファイルを一度バッサリ捨て *1 、ちまちま再構築。暇がなければやれん作業だのお。 firefox に記憶させておいたパスワードを思い出せるかが心配だ(笑)

レジストリに設定が入ってて大変だったものとしては、あとは SKKIME, CHOCOA, PuTTY, WinSCP。PuTTY は、もう UTF-8 teraterm に全面的に戻してしまうことにした。 WinSCP は INIファイルへの設定保存ができるようだったので、そのように変更。

: もちろんバックアップは取ったけど。

なかのにっき

2005年12月09日(金) [n年日記]

#1 今日の TODO

#2 [paper] 今日拾った論文 (JAP 98(10))

＠ Diagnostics of nitrogen plasma by trace rare-gas-optical emission spectroscopy:

＠ Copper nitride thin film prepared by reactive radio-frequency magnetron sputtering:

＠ Roughness evolution in thin-film growth of SiO2 and Nb2O5:

＠ Potential of submicrometer thickness Cu(In,Ga)Se2 solar cells:

＠ Nonlinear and linearized algorithms for the Young's modulus extraction of thin films through the capacitance-voltage measurement of microstructures:

#3 行き

#4 [vsj] アシストマイクロ来訪

#5 [labo] new Win PC

#6 [LBC] 現役支援費

#7 [labo] 英文輪読

#8 [labo] Al スパッタ

#9 生郎

#10 [Windows] my Win PC

#11 沈没

#12 [paper] JJAP個人会員購読体系の変更について

#13 au携帯電話、TU-KA携帯電話におけるEZwebブラウザのホームページURLの送出について

#14 今日の TODO 2

#15 お歳暮