なかのにっき

原付。霧雨で結構濡れてしまった。

原付。ちょっと晴れ間。

native の Cordy 先生。25 名 80 分。 50 分遅刻してきて「受けられませんか」といってきた学生がいたが、 さすがに駄目 *1 。大分粘られたけど、 こっちの判断で助けてあげるわけにもいかないので。 というか(以下略

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作業。明日の体験教室であんまり汚い状態を見せるのもナニだし、 早めに伝票を出しておこう 、というのもあって。

＠ 謎メモ:

ユーザ名が「中野」、パスワードが「武雄」(それぞれローマ字の小文字) という BasicAuth を食わせて仮復旧してみました。 余分なお手数をおかけしてすみませんが、 もしコメントしてやっても良いという方はひとつ宜しくお願いします。

Ar 10sccm で 50W 点火、1Pa の条件を作っておいて N2 を 4sccm 追加。 こんどの FC には弁が付いてるからこの辺の操作が凄く便利だ。 プレスパッタ 15min、depo 10min。

新しい Si を HF 処理、リークして基板入れ替え、 リーク用のバルブを VLV へ変更、22:00 から排気。 TiN 試料は取り出しから 40min で esca のイントロへ。

ベーキング準備を 24:00 から、ヒータ加熱を 24:30 に開始。 さてさて。

帰り際に esca 部屋に寄って試料を測定室へ。25:50。