なかのにっき
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hns - 日記自動生成システム - Version 2.19.5
車。世田谷に入るまでは空いてたんだが、その後混んだ。
10:50 からベーク。電源の CH3 の出力が、ツマミ 0 なのに 105V。
トライアックが死んだかな…
CH3 のヒータは、同じ電圧設定の CH4 に移設。負荷的には問題ないんだが。
いや違ったバラトロンの付替のときにヒータ外して
負荷がオープンになってたからだった。あほだ。
そんなわけで 12:20 にベーク終了。
3 限が終わればちょうどいいくらいかな。
このとき
は 100 nm 見当で 150 sec ということなので、
今回はその 6 倍 = 900 sec = 15min のデポで。
3 限の後に着けて次の基板を仕込んでベークまで。
#3
[dept] 無機材料プロセシング 8 回目
膜厚分布と成長膜の話。
ほんとうは表面エネルギー、表面張力あたりの話もしたかったけど…
18:00〜18:40 くらい。12 月から新システム。
配布物の後日の議事録は snapped。
ついでに 12-3 の当番表も回ってきてたので snapped。
車。仙川〜千歳台〜ガス橋。
物質生命物理の中間試験の採点。はあはあ。
1/10〜1/31 まで。
今回は到達目標をちゃんと書け、と。
以上、1 日分です。
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中野武雄 (NAKANO, Takeo) <nakano@st.seikei.ac.jp>
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