略歴

昭和42年1月

東京都生まれ。

昭和60年3月

国立 筑波大学附属駒場高等学校 卒業

平成元年3月

東京大学 工学部 物理工学科卒業（金原研究室）

平成3年3月

東京大学大学院 工学系研究科 物理工学専攻修了（金原研究室）

平成3年4月

成蹊大学 工学部 計測数理工学科 (平成13年より 物理情報工学科) に助手として着任
（薄膜・表面物性研究室：馬場　茂 教授）

平成13年12月

博士(工学) (東京大学)

平成17年4月

理工学部の改組により 物質生命理工学科

平成26年4月より 准教授

薄膜・表面物性研究室を主宰

平成29年4月より 教授

令和4年4月

理工学部の改組により 理工学科

令和7年4月

主宰する研究室名を「電子材料プロセス研究室」に変更

現在に至る。

賞罰

平成10年

第5回（1998年秋季）応用物理学会講演奨励賞受賞

平成25年

日本真空学会スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会 部会賞 受賞

平成27年

日本真空学会 第56回 真空に関する連合講演会 優秀ポスター賞 受賞(共同)

学会での活動など

• 日本表面真空学会
  • SP 部会 部会長 (2024-)
  • フェロー (2020-)
  • 教育・育成委員会 委員 (2018-)
  • 電子ジャーナル委員会 委員 (2018-)
  • 広報・会員増強委員会 委員 (2018-)
  • 協議員 (2018-2020)
• 日本真空学会
  • 編集委員会 委員 (2004-2018), 委員長 (2013.4-2015.3)
  • SP 部会 幹事 (2004-2010, 2015-2018)
  • 教育委員会 (旧教育部会) 委員 (2010-2018)
  • 理事 (2013-2018)
  • 2017真空・表面科学合同講演会 プログラム委員長 (2017)
• International Symposium Sputtering and Plasma Processes 実行委員 (2004-)
  • ISSP2005 (8th), ISSP2007 (9th), ISSP2009 (10th) 各実行委員
  • ISSP2011 (11th) 実行副委員長
  • ISSP2013 (12th) 実行委員長
• 電気学会
  • メタルスパッタプラズマの高度化 調査専門委員会 委員 (2006-2009)
  • 高密度金属プラズマ 調査専門委員会 幹事 (2010-2014)
• Linux Conference プログラム委員 (2001-2006)