なかのにっき

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2008年01月18日(金) [n年日記]

#1 行き

バスで小金井へ、パンク修理してもらった原付を拾い、 ケーヨーでプレスファイルを購入して大学へ。

#2 VP 大橋さんに電話

昨日泊りがけ出張になったとのことで、 午後会社にいらっしゃってたところを捕まえて電話。 予算の件を先に fax、適宜収めていただくようお願い。

スパッタガンのマグネットについても尋ねてみる。 基本的に従来と磁石室の寸法は同じはず、とのこと。

交換してみた。0.6 Pa 50W でしっかり点火。これなら OK か。 できればベースプレートは Cu のにしておきたい。 こんどまた頼んでおくこと。 あとガード電極も、5mm ターゲット用のを作ってもらおう。

#3 [labo] 実験

スパッタガンの磁石交換。

0.6 Pa で放電テスト→OK、ベークしてじゃあ基板位置合わせようか、 と下げたらシャッターが引っかかったり。 後のベーク作業と部屋戸締りを宮内くんと boss に任せるかたち。 すみませんすみません。 ちうかここで嵌まったの久々なんだが、どこで動かしちゃったのか…

#4 [labo] 発注品

リコー販売 (スズキさん) に黒トナー 1
アスクルにエアダスターとプレスファイル
エビサワさんに 1 型ケース×4箱、5型ケース×2箱

#5 [labo][stock] 到着品

セミコクリーン 56
ThinkPad X61 (→管財に連絡済。保証書は stock へ)

#6 X61

環境作りと live update。 KB943899 はとりあえずスルーしといた。

X31 に比べるとだいぶ軽い。しかしケチって Centrino の VISTA home edition モデルなので、 起動とかの動作はやっぱりモッサリしているな。

#7 [dept] 修論要旨

刷った。1h ちょい、紙交換 4 回。

#8 [paper] 今日拾った論文 (JAP 102(3))

Aluminum-nitride codoped zinc oxide films prepared using a radio-frequency magnetron cosputtering system:

RF で AlN, ZnO ターゲットを pure Ar 1.33 Pa で co-sputter した話。 2 つのターゲット上を基板 rotation、比は ZnO ターゲットのパワーで制御。 XRD、Hall 測定 (with anneal)、XPS、PL。

#9 帰り

原付。うおお寒いぜ。 晩飯は鰺の塩焼と高野豆腐の煮物。

#10 今日の英会話上級

復習。passage review では exigency, balk, pulse, loath to, ultimate を、 Zero in on the lesson では That's why I propose.. を落とす。 てかまあ balk, loath to とかの動詞は押さえておきたい。
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中野武雄 (NAKANO, Takeo) <nakano@st.seikei.ac.jp> Since 1999-10-07
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