なかのにっき
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突っ込みは各日付の BBS エントリのほか、
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hns - 日記自動生成システム - Version 2.19.5
「ええっ、今日大晦日？」…という夢を見た。夢でよかった。
#2
応物最終日
10:00 に入るつもりだったが微妙に遅刻。酸化物のセッションを聴講。
エッチング・微細加工・PLD 基礎・バンドギャップエンジニアリングあたり。
面白かった。
ISSP のチラシを回収して京都へ。
懇親会まで時間があったので MI3 を見た。PC2 と同じく、
見ている方の期待を裏切らない展開で大変堪能した。
しかしトム・クルーズのランニングフォームはカッコ良かったな。
ジュンク堂・スタバを経由し、
18:00〜20:00 過ぎまで明日の委員会の懇親会。
引けてから電車で野洲へ戻り。
#1
check out
8:20。荷物はそれぞれ宅配便で大学と家へ。
#2
[iee] メタルスパッタ委員会
9:30〜12:10、
ソニーの高橋さんがさらに微細化しつつあるメタル配線の現状と課題について、
委員長の中部大中村先生が高圧スパッタにおける ionization とガスバリア膜について。
どちらも大変勉強になった。
昼で帰るのも癪だったし、
たまたま大阪の別の学会に来ていたひと
*1
が行くと言ってたので (さらに
森本さん
の感想を見ていたこともあり) 一口乗った。
京都から新快速〜環状線と乗り継いで USJ へ。45 分。近いのね。
- Woodpecker 3D…あまり大したことなかった。あるレイヤーにしか出なかったし。 お兄さんはナイス演技なんだけどメリケン喜劇の翻訳版は見ていて辛い。
- ジュラシックパーク・ライド…ずぶぬれになった。暑かったんで丁度良かった？
- Sesame St. 4-D…同じ劇場 (システム) の Shrek 4-D を午前に見て「ここは見るべき」と強く主張する連れの人に従い 60 分を並ぶ。確かにこれは凄い。次に行く人には必見と言っておきます。
- ET ライド…まあ子供向け。
- バックドラフト…ガス火っぽい。プロパンか？出口に向かう人の流れにはマジ泣きしている子供が結構いた。
- バック・トゥ・ザ・フューチャー・ライド…超酔った。
というくらいで帰りの電車の時間になったので離脱。
ピーターパンの宙乗りも見たかったけど。
滞在 5h の割には結構乗れたと思う。待ち時間も 65 分の JPR が最長。
やはり夏休みに比べると大分人が減ったんですかね。しかし暑かった。
時間を節約するには、もちろん金で買うエクスプレスパスの効果が最大なのだが、
乗り物系ならシングルライドというのにすると、
単位の隙間に埋めこまれることになるぶん比較的早く乗れる。
*1: 本人は 9:00 からずっと回っていたらしい…すげえ。
というわけで原付を置いてある学校へ。飯村くんと仲田くんが仕事していて、
ちょっと後ろめたい気分になった (^_^;
9/4 〆切、という封筒が 1 通来ていたが、これは絶対無理だな。
というか封筒の中身がおかしいので自動的に延長になりそう。
原付。ロービームが切れている。あらら。
帰宅、城風の伯母が毎年送ってくださっている梨を再配達の期限切れで逃がした模様…orz
書き忘れてたけど一昨日の晩で読了。
これは面白い。
映画の色々わからんところ
がすべてわかった。
つかやっぱ
読むのが先
だったな…ほとんどのドンデン返しが既視なのはかなーり切なかった。
自分宛の宅配を受けとり、中身の洗濯を済ませてから原付で出発。
朝は涼しかったのに暑くなったな。
床屋、バイク屋、LAOX を経由。
いま自分が乗ってる原付 (Dio) でのハイ・ローの切替は、
1 つのバルブに入っている 2 本のフィラメントでやっているらしい。
のでどっちかが切れたら丸ごと交換。
なんとなく納得できん。
LOAX の目的は DDS のクリーニングテープだったのだが、なかった。
しょうがないから amazon で発注するか。1,500 円にするのがめんどいな。
#5
[paper] 今日拾った論文 (JPD 39(17, 18), PSST 15(4))
PSST は発行間隔が長い分、issue が同じでも 30days free access が切れちゃうことがあるのね。RSS リーダで見たらすぐ拾わないとだめだな。
CuIn を Mo coated glass 上にスパッタ、基板を回転。
んで石英管に入れて 1 気圧の H2Se, H2S 雰囲気で 400 ℃ 10〜80 min。
SEM, EDS, XRD で組成と a 軸の関係とか。構造までかな。
17 pages 138 refs の review。製膜、MD による硬度評価、実験結果
(粗さ、DLC 間の付着力、熱の影響)、元素添加、多層・混合構造、超潤滑
(C60 ベアリングの話ではないようだ) など。
press して焼いた ITO セラミックを処理したときの表面状態を UPS/XPS で見て、
RF スパッタした In2O3/ITO 膜と比べた話。
rotating cathode タイプのスパッタでの電子追跡型エロージョン形成シミュレーション。
パラボラのシース電位を仮定、シース厚は input parameter。
L-probe の RF への適用に関する議論。難しそう。
Child-Langmuir シースに加えて Debye シース (プリシースのこと？)
をちゃんと扱うことが重要、という主張らしい。
窒素の温度を OES で測って、投入パワーや表面温度との関係を見た話。
話としては、逆にガスによって表面が加熱される話をしているようだけど？
Han 先生のところ。 Ti/Ar スパッタの OES/OAS。0.5 Pa とか 4Pa とか。
中心近くでの発行が double exponential で decay している。absorption も同様のかたち。
磁場強度の強いとこと弱いとこで〜という議論になってるが良くわからん。
#6
[vsj] 真空展ポスター
材料集めから。
2003 年薄膜ワールド
のやつ、
去年 3 月の理工学部開設記念行事のとき
のやつ…は手元になかったので boss の部屋の PC から頂戴した。
90cm×120cm か。むー。
プールから戻ってふにふに作成、とりあえずでき。
30x40cm ベース (文字 12pt) の ppt ファイルを作って、
「用紙サイズに合わせる」かたちでスライド印刷すれば良いのだった。
明日の夕方に速達で明後日には着くよな。
出張が挟まったので久々。
20:52in、21:55out。w10min を挟んで f500 を 3 本。混んでた。
コンタクトを忘れて周囲に色々ご迷惑をおかけしてしまった。
戻り際銀華山で晩飯。
iPod のカウントが 100 に。追加日は 2003/12/06 だったらしい。
原付。夜は冷えるなあ。
原付。ユザワヤでポスター送付用の筒を購入しなければならんのだが、
吉祥寺近辺に原付の駐輪場はないので、井の頭通り手前のコンビニに置いて
(もちろん行きと帰りと 2 回も買い物をした) 歩き。
無事筒は確保したが、昼歩くのは暑くて参った。
仲田くんが
これ
、飯村くんは今週末の中間発表の内容について。
バラトロンゲージはもう一本買う方向で。
#5
[vsj] 真空展ポスター
事務室の PX-9000 で印刷して詰めて武蔵野中央郵便局から発送。
長尺物 (〜1m) なので結構取られるかと思ったが、
速達料を入れても 760 円だった。書類だから？
戻り際 PaL で夕食を調達。しめじご飯の弁当が出ていたので、
ややカロリーオーバーかと思いつつそれにした。うま。
#6
原稿改訂依頼
2 件目。しかし 9/1 に向こうから郵送で発送しといて、
9/8 までに (電子データだけど) 改訂して返送しろというのは、
普通のスケジュールなのかなあ。
18:30〜20:00。起きたら誰もいなくなってた(笑)
#8
スパッタ本校正
done、封緘。
#9
情報機構セミナースライド
ふにふに編集。新規には 3 枚ほど追加。まあこれも明日送ればいいかな。
#10
[receipt] amazon.co.jp 588 円
原付。疲れた。
原付。晴れているが爽やか。しかし眠い。
大澤自動車に寄って点検の支払いとタイヤ交換依頼。
大学に着いたらちょうどエレベータの点検中で 5F まで階段。はぁはぁ。
#3
[vsj] 電子化ファイル納品
アシストマイクロの山田さん、国吉さんに来研いただく。
エレベータが止まっているところ大変申し訳ない。DVD 3 枚。
＠
チェック:
mount -rt udf -o iocharset=euc-jp /dev/cdrom /mnt
find /mnt/ -name "*.pdf" | wc -l
とかいう感じで。リスト通りであることを確認。
学習院田崎先生の教科書の草稿。mathbook に次いで必見、というところか。
#5
セミナースライド
見直して適宜印刷用に調整して送付。やれやれと。
これで当座の〆切は (本の改訂を除いて) なくなったかな。
13:00〜18:10 で講演 6 件。どれも中身が濃いので大変勉強になった。
しかし疲れた。
終わって 12 号館へ来たら、まだエレベータ点検中。長いな。
10 号館 12F で懇親会 20:00 まで。エレベータは点検でなく部品交換だったらしい。
クリーニングテープが来たのでいっぺん通しとくかと思い、
mt eject と打つつもりが mt erase って入れちゃった…
full backup 取り直しか。酒飲んで操作してはいかんなあ。
#8
[vsj] 夏季大感想ほか
某データを集計し、その他もろもろと共に ML へ post。
9/19 の宿を確保。ついでに 11/7-8 も確保。+misc/4215-7。
#1
[vsj] アップロード報告
vol.49 No.1 の。すっかり手筈を忘れていた。あかんのう。
原付。涼しい。
原付。久し振りに雨。VP 経由で。
今日は久々なので電卓を使った計算問題。
昼をいただきつつ技術者試験を受けるかどうかでちょっとお話。
研究室にはこれだ！…という気が一瞬しないでもなかった。
今日は参加者 3 名。
着。軽い。関連してメール 2 通。
boss に相談して 1 通メール、1 通は読んでそのまま返送かな。
18:30〜21:50。むぅ。
#10
薄膜本原稿改訂
プラズマの方はでき。
表面の方の K 先生のコメントはちと対応が厳しいものが多くて参る (^_^;
原付。やはり気温低し。しかしヘロヘロだ。
起きたらもの凄く疲れていたので二度寝。
幸い今日は差し迫った予定もないし、ということで。
原付。曇り。
オレンジニュースより。
connect は 多段 SSH 以外にも，SOCKS や HTTP プロキシも利用することができますので，社内や学内などから外部の SSH サーバに接続する場合に，とても便利だと思います．
メモメモ。
#6
[VP] 明日の appoint
電話した。院試の監督が引けてから向かうかたちで。
20:10 in、w10min を挟んで f500 を 3 本、21:10 out。
b.p. 119/68, hr 116。
戻り際に銀華山で晩ご飯。
#8
薄膜本改訂稿
表面の方もなんとか対応して送付。やれやれ。
#9
[paper] 今日拾った論文 (TSF 509(1-2), PRL 96(17), APL 88(18))
TSF は
ISMASM2005
の proceedings。PRL は当たらず。
CuInS2 結晶の時間分解 PL。1.533eV の emission が見られ、
これは free exciton と束縛 excition の中間で、
かつ decay が非常に速い→ので、biexition ではないか、との主張。
O porarity な ZnO 上への GaN の PLD 成長。
RT だと Ga porality, 700 ℃以上で N porarity。
しかし RT depo な buffer layer を入れると 700℃ でも Ga porarity な成長が可能とのこと。
RT では第一原理計算で anion inversion が起きる起源を説明している。
700 ℃の方は良くわからないが、
500 ℃以下では急峻界面なのに対して 700 ℃では intermixing な
界面になるので、そのへんが効くのか、ということらしい。
ZnO LED に向けて、透明導電層があると良いので ITO の contact はどうか、ということらしい。結果 10^-5 Ωcm^2 以下の contact 抵抗が 50〜450℃のアニール温度に対して得られたとのこと。AES depth profile から見て、
Ti 層が拡散バリアになってるのでは、とのこと。
暇ができたら読む。
原付。
原付。大雨。
10 年ぶりくらいの大チョンボ。
とはいえ覆水は盆に返らないので粛々と事後対応。
車が使えなかったので原付に環状炉・スパッタ装置フタなどをビニールに巻いて出発。
大学近くは降っていなかったが、小金井・小平あたりに大雨のベルトがあったようで。
#6
自宅電気点検
関東電気保安協会の 4 年に一度という点検の知らせが事前にあったので、
一度家で待機。
原付。菓子折を購入してチョンボのお詫び。
#8
MgO 論文
校正刷りが届いたので共著各位へ転送。
掲載は Vol.45 No.10A とのこと。早いな。
あらきさんのとこ
から。
これは楽しみだ。しかし本町１丁目に８階建てのビルって、どこになるんだろ。
#10
[paper] 今日拾った論文 (JAP 99(8), APL 88(19), PRL 96(18), TSF 510(1-2))
JAP の後半は 50th MMM の proceedings。すごい本数だ。"sputter" でざっとタイトルに検索だけかけて give up。
レーザー散乱による particle 測定。
プラズマを切った後で測定、の凝結 (coagulation) 過程のモデルをもとに、
プラズマ ON 時の particle 密度・サイズ分布を評価しよう、ということらしい。
分光エリプソに入射角の違うデータの分も含めて信頼性を高めようという話らしい。
Si の波長依存な屈折率 (Caucy モデル) に関する記述があるので (refs. 24, 25)
なんぞの役に立つかも。
これ
か。うーむ気軽に手を出せる値段ではないが。
vol.1 は
成蹊にもある
みたいだ。
He 0.1〜8 Torr 中で PLD 製膜した 500 nm の porous Si の酸化状況を
XPS で見た話。圧が高いほど porosity も上がるので、
そいつと Si 2p を見ている。porosity に対して酸化進行の "time shift" が片対数にのり、これは大気圧環境において空気が Si pore に permiation することによる (ref.30)、らしい。
おもしろいかどうかはともかく、
うちでやるにも割合手頃な実験であるような気はする。
AES の定量測定における一次電子の散乱の効果を Monte Carlo コードで計算した話。
primary electron energy 依存性とか。
0.5〜3 Torr くらいの高圧スパッタで Fe の 10〜40 nm の particle ができたよ、
という話。磁区イメージとか。
畠山先生のグループ。アルカリーハロゲンから正負イオンを含む
プラズマを作ろう、ということらしい。
KCl, CsI, KI, CsCl など。
W wire からの thermal electron を使うのだが、
従来はイオン化が不十分だったので、
直交電磁場 (マグネトロン) を加えてイオン化率を上げよう、ということらしい。
プローブ測定の結果など。
Ar/O2/H2O 環境でのアルミナ反応性パルススパッタにおける H incorporation
が基板バイアスによって減ったよ、という話。high vacuum つーのは要するに 10^-6 台くらいの背圧の装置つーこと。
SAW で薄膜の付着力評価をしようという話。laser spallation というのもあるんだそうで。マイケルソン干渉計で表面の normal velocity を測定して、かかってる応力を計算している。
金属膜に開いた波長以下のホールによる異常透過に、
穴に立つ cylindrical な SP がどう効くかを評価した話。
穴の系との関係とか。
MD 計算。L-J EAM でパラメータの違う 2 種を island 状に積み、
応力×膜厚が原子数によって減っていく様子とか、
それを coverage に対して plot すると直線になるとか。
ion layer gas reaction ってどんなんだ？
Uppsala の Granqvist 先生のグループ。反応性 DC スパッタで、photochemical application の電極に InN を使うらしい。拾っとくかな。
しかし窒素中で 350〜500℃に加熱すると窒素中の不純物でだんだん In2O3 になるって…
abstract を眺める限りでは、なぜいまさらという感じなのだが…
基板の相・roughness が付着力へ与える影響について調べたものらしい。
ふーむ。
原付。二度目に家を出て以降もだいぶ降ったらしい。GUTS ラーメン経由。
原付。曇り。
すっかり 10:00 と思い込んでいたら 9:30 始まりに変更されていた…むーだめだなあ。
15:00 まで。今年の M2 は 10 名とちょっと少ないけど、
力が入った仕事が多くて面白かった。D2 の米倉さんは、
こないだの HRC シンポでの滝沢先生のお話と重なるところが多く、
先にわからなかったところがいろいろクリアになってありがたかった。
飯村くんは発表準備の立ち上がりが遅くて心配していた
*1
のだけれど、最後の最後でうまいこと帳尻を合わせた、というところか。
*1: 内容そのものについては心配していなかったのだが。
ちょっとトリミングがわからなかったのでググって発見。すばらしい。
結局自分の用途には
% identify fuga.png
fuga.png PNG 656x383 DirectClass 26kb 0.010u 0:01
% convert -crop 656x320 fuga.png hoge.png
というかんじで。
#5
イノベーションジャパン資料
結局佐々木先生に何から何までおんぶに抱っこになってしまったが、
資料の ppt をふにふにと作って提出。
#6
[paper] 今日拾った論文 (APL 88(20), PRL 96(19), JAP 99(9))
今日も来たし、少しでも差を詰めておかないと、ということで頑張って
読む
眺める。
MD でアモルファスの medium-range order 構造を simulate できるか、という話。
cooling time のスケール違いが問題になる (simulation だと速すぎる) のだが、
ここでは安定結晶構造からある距離以内にある原子はそこへ移動できる、
という仮定を持ち込んで、slow cooling 時の構造を再現できた、らしい。
脱離がない場合の electromigration-mediated step bunching についてのモデル。
長距離の不安定性でも bunch になるで、ということらしい。難しい。
RF の衝突シースで Charge Exchange Collision があったらイオンエネルギー分布はどうなるか、というのを扱った話。ときおり見かける。IDF から cross section を計算する手法についても述べられている。可能かしら？
中国のちょっとラフな話だけど、スパッタで作ったらしいので一応拾っとく。
組成はターゲットの面積比で。窒素中で 400〜1150 ℃のアニール。
Er3+ の発光とアニールの相関とか。
ion beam depo って、おそらく magnetron と rf coil らしい (詳細は ref10)。
基板温度は自然上昇、bias の効果、抵抗の膜厚依存性と Fuch の式、
FE-SEM/TEM で grain 観察…などなど。
スパッタで VO2/Ag/VO2 を作って、温度変えて吸収スペクトル取った話。
ピークのシフトは周囲の RI の違いであろう、と。
論証的論法：
AならばBであるとき、Bでなかった
→ Aは間違いである
発見的論法：
AならばBであるとき、Bだった
→Aは正しいらしい
なるほど…
原付。今日はなんか生温いな。
朝からみそ汁を作り切干しを煮て食ったら、
ありえないほど汗だくになった。
#3
自治会マター
集金、不在の人へ連絡票入れ、以前の回覧をまとめてブロック長さんへ。
各種作業に遅れが出てご迷惑をおかけしていたり。
やはり色々なところに歪みが出てるなー。
原付。プール経由。
18:25in、f500, w8min, f250-(10min break)-f250, w8min, f500 で 19:30out。
b.p. 124/69, hr 116。
三鷹通りのマックでトマトグリルチキンサンドのサラダセット。
#6
[issp] abstract submission システム
つーわけで準備。
前回作ってもらったやつから、著者の多重所属を許すように変更。
ということでその部分に関する javascript ベースの validation check
は無くなってしまったが、まあええやろ。
form ページの xhtml 化に一番時間を食った。なんかアホっぽい作業だな。
xhtml にすると form に name が使えなくなるので、
getElementById() を使う
ように書換えないといけないのにちょい嵌まり。
あと <input type="text" の幅がブラウザごとにマチマチもいいところで大変参る。
Safari だときったねえ外見になってしまうのだが、もうあきらめた。
以上、10 日分です。
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中野武雄 (NAKANO, Takeo) <nakano@st.seikei.ac.jp>
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