なかのにっき
最新版はこちら。
突っ込みは各日付の BBS エントリのほか、
メール (nakano@st.seikei.ac.jp) や
フォーム
からどうぞ。
なおスパム除けのため、BBS 機能には
緩い認証を入れて
います。
検索エンジンから来た方は、エンジンの方のキャッシュを見るか、
下の簡易検索を試してみてください。
hns - 日記自動生成システム - Version 2.19.5
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Namazu for hns による簡易全文検索
詳しくは 詳細指定/ヘルプを参照して下さい
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#6
captured
じゃあノートのスキャンしてリクエストのあった基板を割って帰ろうか、
というところで 1 年生向けに動画を準備しておられた S 先生に捕まるなど(笑)。
持ち帰りで家で作業したら回線が混んでてナニだったりとか。どうもお疲れさまでした。
#5
授業準備
主に特論 II のノート作り。20:30 くらいに終了。
しかしあれだな、授業の準備としては Zoom 形式の方が遥かに楽だったんだな…
#4
jvss 講演会 WebEx ミーティング
15:00-16:30。そのあとちょっと調べもの。
#3
買い物対応
ガスは総額が大きくても依頼にしなくてよかったのか。
#2
清水研輪講
10:30-12:00。おもしろい。
ぱっと見て紐解くのはむつかしいｗ
#5
懇親会場
来週の井上先生との合同ゼミ分は予約。もうひとつの方は人数確認。
木曜からである。やばいな。
固体物性は部屋がでかいので移動をお願いした。
#3
出張後始末
出張報告を助成課へ。あとは議事録。
出した。
#2
シュルズ先生ご着任
助教のモハメッド シュルズ ミヤ (Md. Shuruz Mian) 先生を本日お迎えした。
今日午前はどうせオリエンテーションだろう…と高を括っていたら明日だったそうで
すみませんでした。うう。
PC 環境の設定をして助成課へご案内、その後学科の先生方にご挨拶。
学生さんとのミーティングにも早速参加していただいた。
スゲー頼もしい。
#1
VP 訪問
dual HPPMS のあれこれについてご相談。
戻って外してあったシュルツゲージ二本を宅配便で送付。
ルータで出る（うちの EdgeRouter 4 でも出ている）
host 10.0.0.4/if2 ignores redirects for 70.35.xxx.xxx to 10.0.0.1.
というカーネルメッセージの理由と対策。
Here's what happens. On your router box, all routes use the same
interface eth0, so when it receives a packet for another destination
than the box itself, it sends an "ICMP Redirect" message to the source
IP address meaning "hey, there is a more direct route to destination
70.35.x.x using gateway 80.223.64.1 instead of me. Please update your
routing table".
Happily, the 1.0.0.4 host ignores the "ICMP Redirect" messages. One
reason is I think that's a default behaviour of Windows NT. Another
reason is that host has probably no direct route to the proposed gateway
address. Anyway, if it didn't ignore the "ICMP Redirect", it would
probably lose connectivity with internet hosts because of its private
address.
で対策は
To disable sending "ICMP redirect" on eth0 :
echo 0 > /proc/sys/net/ipv4/conf/all/send_redirects
echo 0 > /proc/sys/net/ipv4/conf/eth0/send_redirects
or :
sysctl -w net/ipv4/conf/all/send_redirects=0
sysctl -w net/ipv4/conf/eth0/send_redirects=0
であると。怖いのでまだやってないけど。まあ無害ぽいから放置でもいいかな。
なんだけど、今日は授業も会議もないので自重して自宅に籠もる方向で。
原稿をちょっと書けるといいんだが。
#3
講義準備
無機材料合成の。
#2
部屋片付け
さすがに酷かったので論理的なところまでなんとか。
午前にクリーニング。これも出張中のチョンボだが、
ジャケットに刺した万年筆のキャップが外れてしまい、
裏地にでかい染みを作ってしまった。落ちるかな…
グッタリしていたが授業の準備。
大家さんと相談、UHVSP を TiO2 用に再生する方向で。
各種物色、MFC と CFO フランジを依頼かなー。
あと NW16 のストレートバルブがいる。
#2
原稿・資料・部屋整理
依頼の資料、依頼の原稿、書かねばならん論文、
あと金曜に面談があるので部屋のお片付け。
授業の下調べもぼちぼち。要するに集中していない（苦笑）。
おくった。すみません。
去年のやつだけど TL で見かけたので。
うちの学科でも割とよく揉める (苦笑)
まあ polite な方に合わせれば問題ないのは確か。
車。遠近両用は怖かったので従来タイプで。
あれとかこれとかから引っぱってきていろいろミックスして
25 分のストーリーを作る。帰宅して調整。おおむねいいかな。
関根くん来研。まあナニでアレでひとしきり怒り、
その後は調整。明日はレポートを書いてもらう方向で。
馬橋くんから報告。
トリガ用の TTL シグナルの電圧が低い。
とりあえずオシロの画面撮って吉川さんにメール。
例の件に関連してアドバイスをいただく。大変ありがたい。
実験 II 関連でいろいろ。うーむ難しい。
#3
遠近両用メガネ
先月末
に作ったやつ。自転車で取りにいった。
ほんとうは IVC 前にできてたんだけど。
近くが素晴らしく見易くなった。
しかし着けてると酔うな…
boss にお土産お渡しして帰朝報告ほか。
出張報告、お土産、ボーディングパスを事務の樋口さんへ。
会議参加報告は主任の原先生の判子がいるのだけど、
今日ご不在とのことで山本さんに預っていただいて明後日伺う方向で。
ついでに応物の出張届。
夜になって Britun さんからメールもらったので資料送付など。
ああんこの話はやく paper にしないと。
車。やや混み。しかしすっかり涼しくなった。
#2
[book] プログラミングの心理学 25周年記念版
ワインバーグおじさんの古典。
前半は楽しく読みすすめていて、
このひとの著作でいつも体験するように、
自分の意識していなかった側面からの眺めを楽しんでいたのだが、
今日読んだ 9 章以降は、かなり翻訳が残念な出来。
木村先生の本ということで買ったのだが。
やはり amazon のレビューも
辛め
であった。
(同名の書籍が 2 冊あることを指摘いただきました。自分の購入したのは
こちら
の方です。でもやっぱり後半の文章が無意味に難しい印象はあります。)
後半は原文を想像しつつ読んだ。ちと残念。
やはり午前に子供を連れ出したら同じくグッタリ疲れて動けず。
午後は読書しつつ寝落ちを何回か。晩に秋刀魚。今年も美味しい。
情報リテラシーとは、情報に関するメタな知識であると。
んでそういう判断は個人では不可能で、
「集合知」の構成メンバーになる必要がある、と。
読んだ。盛り上がって参りました。
奥さんの土曜出勤の日程はどうやら変更がないようで。
娘と留守番。グッタリ疲れた。加えて腰痛が顕在化。うう。
VP の結果を受けて予算消化について。あと物質生命物理について、
新学期以降の卒研スケジュールについて。
車で往復。ターゲット受け取り、ターボの見積もり、SP の図面。ふむ。
#5
セミナー資料
編集して送信。
ack があったので web のブツは消した。
#4
ブース整理
逃避は続く。応用物理をどうしようかと思っていたら、
こちら
から vol.72 (2003) 以降は pdf が見られることがわかった (会員のみ)。
ありがたい。
ということで 2003〜09 までは廃棄。だいぶ本棚が空いた。
11/5 が真空で休講にせねばならんので、
12/11 日を補講にしようと思っていたのだが、
センター入試の説明会があるな。
ということでご担当の先生に伺ってみる (お仕事増やしてすみません…)。
ということで 11 日に補講するなら 4 限以降。
原口さんに見積をいただいていたので、起票願を準備。
提出した。
というか、PC 以外のブツは到着後に切る方向らしい。
というのを平野さんと擦り合わせ。
古屋さんに確認、印を押した小島先生がそのまま提出してくださっていたとのこと。
ありがとうございます。
#3
帰宅してメールチェック
大変ありがたいメールをいただく。ほんとうに頑張らなければ。
そして大変おめでたい話のメールもいただく。いやびっくりした。
メッセに移動。13:00 から入って特別記念講演を聴講、
座長やって夕方まで聞いて直帰。最近移動距離が多いなあ。
会場を巡ったのち、石原さんとランデブーして SP 部会講演の打合せ。
その後自分の件の相談にも乗っていただく。ありがたや。
#4
今日の実践ビジネス英語
school board (米) 教育委員会
canvass (選挙区を) 遊説して回る / 詳細に調べる、聞いて回る
full steam ahead 全面的な激励、全速前進
deploy (軍隊を) 展開させる、配置する
abduction 誘拐、拉致
craft 制作する、作る
lawmaker 議員、立法者
grade school (米) 小学校 (=elementary school)
fend off 〜を回避する
#3
今日の徹底トレーニング英会話
聞いた。
#2
スパッタ本
諸連絡にてメールを数本。さて自分の原稿。
一応最後の 2 本書けて脱稿した。やれやれ。
今晩見直して明日持参かな。
#1
今日の入門ビジネス英語
go with 〜に同調する、〜を支持する
convince 〜を納得させる
slippage 低下
give it the old college try (力量不足かもしれないが) 最善を尽くす
- VP へフォアライントラップの件ほか諸々
- U-phi に書籍注文
17:30〜19:30。ひさびさ。
#7
ノート PC 物色
今回の大木さんには自分の ThinkPad X31 を持っていってもらったのだが、
そういう用途用のノートを 1 台買ったら、と boss から言われる。
ppt 専用マシンすな。
例によって IRC で聞いてみたら、武藤さんに
VAIO U
はどうすか、と勧めていただく。
非常に良さげだが、VISTA モデルはちょっとまだ辛い。
というか XP の新規ノートなんてもう世の中にはないのか？
高城さんにも聞いてみた。法人モデルだとそれなりにあるらしい。
というところか。ヨドバシあたりに見に行ってみますか。
どっちにしても感圧パッドか。
まあ自分では多分使わないだろうけど。
OC の合間にリハーサルを 2 度、16:15 頃羽田へ出発していった。
頑張ってください。
#5
[paper] 今日拾った論文 (JAP 101(8))
OC の空き時間にぼちぼち。しかし拾い過ぎて読むのが大変になった。
ICPS2006
の Plenary/Invited talk の proceedings が載っている。
こっちはやっぱ QD 系の話が多いようで。
プラスチックによるパターンを形成後、
電流を変えて porosity を変えた PS を作成、熱酸化させた waveguide の損失の計測。
546nm で 2.4db/cm、1550nm で 0.6db/cm とか。
可視域では volume の散乱損失が、IR では surface のが、
それぞれ dominant であると。どのくらい smooth なのができてるんだろ。
Bogaerts 先生たちの。レーザーアブレーションプラズマで生じたイオンの TOF による
速度分布測定と、あと放出角度分布の測定。
電通大を含む international なコラボ。
誘電体表面における沿面放電を
2D のセルオートマトンネットワークでモデル化したもの。
放電発展のフラクタル性とかも意識されている。
スパッタエッチング速度の圧力依存性について、
0.1〜10 mTorr の範囲での実験結果を
redeposition で考察したもの。
出たやつが適当な MFP で散乱して戻るという collisional layer model
というモデルでうまいこと評価できた、という話。
これもちょっと考えてみたい話ではあるな。
インドのグループ。アルミナの RF 反応性スパッタで、power を 100W const とし、
放電電圧・ターゲットのセルフバイアス・電子温度・Al・AlO の OES を、
酸素流量を変えながら (どうやら排気速度 fix らしい) 測った話。
AlO 分子なんて見えるのか。
AlO emission のみピークを持つが、それ以外は基本的に O2 flow↑
に対して減少傾向。
同グループによる Generalized Keller-Simons
を Al, Si, V, Cr, Ge, Ta, W の sputter-deporate の pressure 依存性と比較した話。パラメータフィッィングでターゲット・基板各温度など。
Thermalization cross section が出てるから、これもちょっと扱ってみたいところ。
重いやつの high power 時の測定はモデルと合わないらしく、
これは thermalization が測定範囲では起こってないのではないか…と言ってるが、
これはどうかな。希薄化の効果あたりか？
標記薄膜の斜め入射真空蒸着。IR 材料らしい。SEM, AFM。
後者から "surface area" を決定して projected area との比を取ったり
(つっても resolution 依存だから意味あるんか？)、RMS の入射角依存性を取ったり
power spectrum を取ったり。0 度入射だと 1nm くらいの RMS というのに、
むしろちょっと驚いた。
China のグループ。基板ないし膜が高温でクリープ可能な状況のとき、
残留応力がどのように解放されるかに関する解析的なモデル。
京大と中国 Zhejiang U のグループ。AZO を atmospheric mist CVD と反応性 DC スパッタで作り、
XRD, Van der Pauw、UV-vis spectroscopy。
Al at.% が 3〜4% あたりで電荷密度はピークを持ち、
電荷密度が大きくなると Burnstein-Moss チックにバンドギャップが拡大、
途中で 5.4E19 cm^-3 あたりで gap が小さくなるところは
metal transition、その後再び増加するが rate が遅くなるので、
それは多体効果による gap の renormalization と BM の重畳なのでは、
という議論をしている。
SiO2 の環境型 SEM 観察。電子照射で C-H を作って親水・疎水を制御、XPS や AFM
で評価したのち、ESEM で見たもの。照射・非照射の stripe パターンを作ると
楕円の水滴ができるので、その curvature と contact angle の相関を取って
line tension の値を求めたりとか。
水溶液から成長させた ZnO 結晶に 1MeV・4E16cm^-2 の電子を当て、
Thermally Stimulated Current Spectroscopy というのを見た話。
TDS みたいな感じで電流を測ってるのだが、
deep trap が計測できるのだそうで。準位の定量とその起源の考察など。
#4
[dept] オープンキャンパス
研究室見学担当。泥縄で部屋の段ボールを片付けたり。
3 グループ回ってきて 16:40 頃無事終了。
少しでも受けてくれる人が増えるといいけど。
原付。暑い。花粉も？
Cardio をバンド付きで。
原付。
補完。
先月末
に来たやつ。箱から出して試運転。0.5 MPa より上がらんな。初期不良かしら。
漏れてるかどうかを確認。22:00 の時点で 0.5 MPa で電源停止。
23:45 でも 0.5 MPa。とするとピストンのガスケットあたりが漏れてるっぽい。
大喜に要連絡やな。まあ他のと併せて明日か。
19 日の大阪行きは大丈夫なんだろうか。
#4
[dept] オープンキャンパス準備
ポスター刷り。うへ、真空展から使ってきたポスターの
図6のキャプションがコピペのままだった…
ということでリークしたままなので前倒しでバラトロンを
飯村くんの装置へ移設。エタノールテストは OK。
蓋を開けたときに干渉するかどうかが微妙。
原付。降ってきた。
原付。やっぱりウィンドブレーカー必須。
原付。早くもウインドブレーカー着用。
- 学校: Win PC に iPod を刺して、iPod オプションを「手動で管理」に切替え、 iPod の中に入っている曲を iTunes から鳴らしている。
- 自宅: やはり Win PC に iPod を刺して「自動的に更新」に切替え、 ripping やら sync やらをしている。
…という生活を送っている。
ところが最近 iTunes5 にしてから、
学校の iTunes で鳴らして再生回数のカウントが increment した曲は、
自宅での sync 時に HDD 側のファイルで上書きされ、
増えた再生回数がキャンセルされてしまう…ということが起こるようになった。
で、さらに不思議なことには、一度自宅の iTunes で再生した曲に関しては、
上記のキャンセルは起こらなくなるようだ。
また PC に刺さずに iPod 単体で再生した曲についても、
上書きキャンセルは起こらない
(ただしその後学校の iTunes で再生すると、やはり上書きキャンセルが起こる)。
まあ気にしなければそれですむんだが、
再生回数ってそれなりに楽しい情報なのでなんとかしたいなあ。
一応
フィードバック
に送ってみた。直るといいな。
#6
web abuse
nttkyo326136.tkyo.nt.ftth.ppp.infoweb.ne.jp (58.1.132.136)
から 20 分ほどで日記を中心に 1000 over fetch。
User agent が "Mozilla/4.0 (compatible; MSIE 6.0; Windows 98)"
ということで、いつものやつ臭いな。
全信協避けのルール
に tkyo.nt.ftth.ppp.infoweb.ne.jp を加え、さらに iptables でも DROP。
#5
AVS Receipt
飯村くん、仲田くん。
今回のは帯電もあまりなく、ちゃんと Si っぽい。
14:00〜18:30 終了 (予定)。
原付。晴れたが気温はやはりそれほど高くない。
成蹊気象観測所
によると、今朝の最低気温は 17.1℃だったそうな。
原付。久々の夜明け。
二本目の論文、一所懸命英語添削をした挙句、
解析に重大な問題を見付けてしまい、
結局 major revision にしてしまった (＝今回の採録には間に合わない)。
どっと疲労。
原付。
うーん、いま給料振込シティバンクにしてるんで潰れるとめんどいな。
もちろん件の「ハイリスク商品」のようなものには手を出していないけど。
#5
[labo] SPIP 購入書類
到着、確認してみたら見積書の宛先が別の会社になっている(笑)。
入れ替わっちゃったんだろうなあ。メールした。
We report cavity ring-down spectroscopy measurements of the gas-phase number density of titanium and molybdenum sputtered by argon ions. A neodymium: yttrium?aluminum-garnet pumped optical parametric oscillator laser system is used to probe optical absorption features of titanium and molybdenum in the 375-400 nm region. For an 18 mA ion beam current, and 750 eV ions, we find that the spatially averaged number density of sputtered atoms is 6.4±0.6×10^8 and 5.1±0.5×10^8 cm^-3, for titanium and molybdenum, respectively. The measured number densities exhibit the expected linear behavior versus beam current, and are in reasonable agreement with values found from a simple sputtering model. Our current configuration yields number density detection limits of ~9×10^6 and ~7×10^5 cm^-3, for titanium and molybdenum, respectively. The technique may ultimately provide a means to measure sputter erosion rates, which are of particular importance for the electric propulsion field.
まあほとんど今日のレジュメと同じ内容で良いわけだが。
無事送信された模様。
午前レジュメとかの手直し、会場準備、13:00〜17:15 まで。やれやれ。
自転車 av. 19.3 km/h。
#7
今日の英語リスニング入門
wither しぼむ、しなびる
noggin 頭 (口語)
Let bygones be bygones. 「過去のことは水に流せ」
spring up ぱっと現れる
lumbar 腰、腰椎
lambago 腰痛
昨日水冷して作ったやつ。おお全然違うな。こりゃおもしろい。
って中心と 20mm 位置とだとまた随分違うな。中央はプラズマの発光部が当たっているのが原因か？昨日の 10Pa 150℃でのドメインもそのせい？
あと、今日は EIU の蓋をしなかったら発振は出なかった。
こんなバッドノウハウはいやだ…
実験の待ち時間を利用し、
3 章を演習をやりつつ読んでみた。
確かになんとなくポリモルフィズムがわかった気になった。
これはいいかも。
#4
[labo] MgO 製膜実験準備
低抵抗 n-Si (111) を 7.5x7.5 mm^2 に cut。
ダイヤモンドペンがスッと入るときとザリザリに入るときの違い
*1
は、やはり力加減の問題なのだろうか。
*1: ちなみに当然だが前者のほうが綺麗に割れる。
取り出したら昨日の試料は膜面まで到達しているヒビが基板に入っている。
測定には問題なさそう。熱膨張だろうが、締め付けすぎ？
今日は RT, 10Pa, T-S 60mm, 60min ということで。
むにに。
はまった (笑)。wget して dpkg でぶち込む。
＠
DSA-382-2:
出たようなのでふたたびあちこち巡って upgrade。
日差しに負けて原付。
行きがけにクロマティ 7 を get.
#16
今日のビジネス英会話
diversified 多様な、変化に富んだ
utterly 徹底的に
devastating 破滅的な、破壊的な
get the chop 首になる、解雇される
eke out やりくりする
quadragenarian 40歳代の人
quinquagenarian 50歳代の人
sexagenerian 60歳代の人
septuagenarian 70歳代の人
octogenarian 80歳代の人
nonagenarian 90歳代の人
centenarian 100 歳以上の人
＠
keywords:
cut the mustart 期待にこたえる、成功する
＠
proverb:
Nobody holds a good opinion of a man who has a low opinion of himself.
--Anthony Trollope (1815-82)
section 5 の 8 ページを処理。一晩寝かして明日投げよう。
涼しくなったので熱玉しょうゆうどん。
田中くんに copy してもらって返却。
molecular lines の章は迷ったけど、大変そうだったので omit。
明日から甲南大学にて
(プログラム)
。小川君の修論の成果を発表するのだが、小川君に逃げられて(^^;、
boss が日帰りで行くことになったらしい。
9/24 がもうガイダンスか。早い。
名簿をもらったので、1・2 回目の担当表、名札などを
~/data/02exp1/ 以下に準備。
今回のチューターは江成くんと岩間さんとのこと。
#9
[labo] 江成君中間発表リハ
一回目。
#8
[dept] シグマ光機カタログ
青柳さんにレンタル。
近先生より。~/data/02exp3/Exp3_sch02.doc
再び振動ドリルの音が。たまらん。
#5
VMware 3.2
上げてみるか。
うーん、i1124 でフルスクリーンにすると死ぬな。
telnet login して vmware だけ殺せば復旧はするのだが。
加熱ホルダ、カメラ移動ステージ、膜厚計つきホルダ、を依頼。
膜厚計ホルダは、電極の問題で suspend していたそうな。
ちっこいのが見つかったら先方に連絡すること。
あと、次行くときに D 論を 2 部持っていくこと。
まさに出かけようと思った瞬間にズガッと降ってきた。
しばし上がり框でボーゼンとする。
#2
9/14 のビジネス英会話
crack down on 〜を厳しく取り締まる
scrutinize 細かく調べる、吟味する
eyeful [n] 目を見張らせる光景
plead guilty (刑事被告人が) 有罪を認める
allegedly 申し立てられた、真偽の疑わしい
payee (小切手などの) 受取人 [opp. payer]
treasurer 財務担当官、財務部長
institute [v] (制度・法制などを) 制定する、もうける
thwart 阻む、くじく
小中学校の少人数教育といい、要は銭金の問題か？
#1
[JM] shadow 4.0.3
いーかげんに片付けようと決心。
とりあえず section 1 をやった。
引き続き section 3 の 2 ページ。
#6
今日のラジヲ英会話
audience 聴衆 [a large audience のように単数で使う]
all-embracing すべてを受け入れる
improvisational 即興的な [まあインプロビゼーションですけども]
homer ホームラン
#5
[LDP] 9/17 の update
#4
[book] The Visual Display of Quantitative Information
到着したのでざざっと眺めてみた。
グラフを見てるだけでも楽しいのだが、
"Maximize the data-ink ratio" とか
「モアレ塗りは使うな」とかは即物的に役に立つし、
線の太さ・細さのメリハリ、
好ましいキャプションの付け方などなど、
なかなか気付きにくいアドバイスも多い。
紹介してくれた高林さんに感謝。
#3
[labo] 修士中間発表リハーサル
上記のインストールテストをしつつ 14:00〜17:00。
一人順調、一人まあまあ、一人は結論がまだ、一人は実験がまだ。
まあなんだかんだで中間発表は乗り越えられるとは思うが。
#2
Win2K + Vine インストール
研究室の Win95 → Win2k 移行の第一歩として。
参考にしたのは
こちら。
パーティションは
/dev/hda1 Win2k (6G)
/dev/hda2 /boot (128M)
/dev/hda5 / (残り)
/dev/hda6 swap (512M)
という感じで。
＠
Win2k のインストール:
普通に。サービスパックとかをバチバチあてる。
＠
Vine のインストール:
普通に text でやったら lilo が MBR に書きこんでしまったので、
lilo -u /dev/hda
でいっぺん書き戻す。
その後 /etc/lilo.conf の boot= 行を
boot=/dev/hda2
に変えて lilo。
＠
NT ローダへの linux 登録:
Linux で
dd if=/dev/hda2 of=bootsect.lnx bs=512 count=1
mcopy bootsect.lnx a:
して NT で起動。コマンドプロンプトを立ち上げ、
copy a:\bootsect.lnx c:\
attrib -S -H c:\boot.ini
notepad c:\boot.ini
として
*1
、末尾に
C:\BOOTSECT.LNX="Vine Linux"
の一行を追加。
attrib +S +H c:\boot.ini
して再起動すると、ブートメニューに Linux が出る。
＠
というか:
*1: 上記 HOWTO では -S -R だったが、-S -H でないと駄目だった。
昨晩と今朝に刺激物 (=カレー) を食ったらまた腹具合が悪化(笑)。
左肩も調子悪い。接骨院いかないとだめかなあ。
#6
[paper] JVST A18(4) July/August 2000
昨年の AVS 46th の proceedings。例年より薄くなっているような。
＠
JVST A18(4) pp.1119 (2000):
Ta, TaSix, TaBx のスパッタ蒸着報告。
リソグラフィの X 線吸収層にするらしい。
主に応力 (基板の反りで測定) と、その経時変化に付いて。
製膜時圧力・電力に対する応力の依存性など。
中間圧力で tensile が最大になっているところがある。
時間経過とともに、いずれも compressive に。
組成変化についてもちょい言及。
＠
JVST A18(4) pp.1202 (2000):
polycrystalline Cu の strength の計算。EM。
grain サイズのルートに反比例して強度が低下する結果。
結晶粒界面をみると、
dislocation は compressive 側で生じているが、これは
stacking fault のエネルギーが compressive 側の strain で急激に低下するからだ、
との議論。
＠
JVST A18(4) pp.1395 (2000):
Thomson 散乱を使って rf プラズマの電子密度・温度を測定する試み。
Nd YAG (532nm) を入れて側面から波長シフトに対する強度測定。
log signal vs (Δλ)^2 のグラフからは電子温度が出るらしい。
スロープは確かに大体直線になってはいる。
圧力・ガス組成 (Ar, Ar+O2) などに対する依存性。
密度の値は 〜10^11 cm^-3 と言っているが、絶対値の測定は難しそう。
＠
JVST A18(4) pp.1533 (2000):
Sweden のグループ。Ivan Petrov さんが Univ. of Illinois 所属で共著になってる。
ionization sputtering 指向の、DC pulsed sputtering
(50Hz, pulse width 50〜100um, pulse peak 〜1.2kV) だそう。
Langmuir probe, OES measurements.
OES を pulse 後の時間経過に対してとると、最初 Ar からの発光が強く、
後に metal (Cu) からの強度が上がる結果。
ターゲット近傍で、metal の発光が強い辺りの
electron density は 10^13 cm^-3 とか。
＠
JVST A18(4) pp.1546 (2000):
hollow-cathode 型の magnetron ソースを使った、
これも ionized deposition 指向の論文。
substrate 近傍のプラズマ密度を Langmuir probe で測って 10^11〜12 cm^-3、
Ti, TiN, Ta, TaN, Cu で trench filling をやって、
幅 0.25um、aspect ratio 5 くらいで 20〜40% くらいの bottom coverage。
＠
JVST A18(4) pp.1550 (2000):
IBM Microelectronics。
ダマシンの seed layer が ionized depo と
collimated depo とどっちがいいか調べた論文。
collimation の aspect ratio は 1。
bottom/sidewall coverage は IPVD が良く、かつ roughness も小さい。
electroplate した後の断面 SEM はあまり変わらないが、
電気的特性は IPVD の方が良く、これらは seed layer の
coverage を反映しているとのこと。
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JVST A18(4) pp.1584 (2000):
金沢工大 南先生のグループ。ZnO:Al スパッタ膜の
基板上での電気特性分布。基板温度 200℃、350℃、
DC/RF、 圧力依存性。まめだ(^^;
基本的には erosion track に対向する部分での劣化が、特に DC で大きくなっている。
oxygen によるダメージであろう、との議論。
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JVST A18(4) pp.1632 (2000):
Ag を DC/MF (mid frequency) スパッタでつけ、
625nm と 800nm でのエリプソと AFM 測定。ミラー利用。
ガス種 (Ar, Kr, Ne)、圧力、基板温度、電力密度、などを変化。
MF, 低温, 低圧力, 低電力, がいいとの結果。
ガス種はあまり反射には関係なし、らしい。
膜厚は 80 nm 近辺が一番反射率が高くなるとのこと。
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JVST A18(4) pp.1642 (2000):
PTFE の rf スパッタ。energy analyzer 付き SIMS での各種測定。
invited らしい。review として重宝するかな。
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JVST A18(4) pp.1668 (2000):
rf スパッタで ITO 膜をつくる際の、
膜の性質の target-substrate distance 依存性。
圧力は oxygen 4x10^-4, + Ar で 4.8x10-3 Torr。
distance は 50〜100cm。
deporate, XRD, SEM, Transmittancem & band gap meas., resistivity。
離したほうが (110) が立って結晶性が良く、mobility 大きい。
赤外での透過率も大きい。
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JVST A18(4) pp.1709 (2000):
独 Fraunhofer institute。 MF/DC reactive magnetron sputter のプロセス制御。
Nb2O5。
分光エリプソの in situ 測定を OES と酸素分圧測定に加え、
酸素分圧・放電電圧/電力を制御。
どうもフィードバックの関係が明記されてなくてよくわからん。
depo rate と放電電力密度の比が一定になるように制御すると、
品質が良くなる、と言っているが。
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JVST A18(4) pp.1881 (2000):
fluorocarbon
(って言ってるけど PTFE?)
を Ar+ bombard して QMS、残りを XPS。
desorption する主としては CF4 が一番多いが、
Ar dose と共に相対的に減少、
XPS C1s では C-CFx のピークが相対的に強くなってくる。
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JVST A18(4) pp.1983 (2000):
C 膜のエネルギー可変イオンビーム蒸着。基板は Si。
蒸着前、300〜500eV の C- で叩き、150eV 程度の C で蒸着。
interface mixing を TEM 観察、 EELS で L エッジの立ち上がり観察。
wear test の結果は、蒸着前の energy が高いほうが良好な付着を示したとのこと。
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JVST A18(4) pp.2006 (2000):
ionized sputtering で poly-Si 膜 on glass substrate。
Ar/H2 で depo。 XRD, planar/cross SEM, Raman。grain size を中心に整理。
plasma は OES 観察、H2 flow rate に対する Si+ の発光強度依存性など。
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JVST A18(4) pp.2033 (2000):
Angle resolved ESCA。 lubricant 膜の two-tiered model と、
三角波 like な texture model に付いて、理論的(?) 考察。
yield と各 model のパラメータを図示。
上記の件もそうだが、 IMAP4 にして Win なクライアント (
WinBiff
) からもメールの読み書きができたらいいなあ、とか思ってみる。
mnews に IMAP パッチあてて deb にする技量があれば、だが。
いやしかし、結構 MH にも依存してるなあ... うーむ。
#4
[labo] AVS proceedings (4)
figure caption の件、今すぐ送れとの返事がきていた(^^;
メールで MsWord のファイルを送っても OK とのことだったので、
rtf で保存して winbiff から送ってみる。
#3
サッカー五輪代表
祝連勝、だが中田英と森岡を欠いてブラジルと決勝トーナメント進出争いかー。
#2
[JM] 今日の commit
fenv.3 をちょっとやってみる。
これいつの libc から使えるんだろうか。
む、2.1.3 には fenv.h はあるみたいだな。
info libc でもちゃんと書かれてる。
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ついでに:
__setfpucw.3 も最新版に追随。
#1
[linux] potato の gs-aladdin-vflib
どうも aip から落としてくる ps の下が欠けると思ってたら、
デフォルトは letter だったのね(^^;
フィルタで -sPAPERSIZE=a4 を指定して解決。
ついでに今まで /var/spool/lpd/lp に置いてあったフィルタを
/etc/lp を掘って移動 (gsfilter-ljet6)。 margins.ps もここに置く。
以上、20 日分です。
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中野武雄 (NAKANO, Takeo) <nakano@st.seikei.ac.jp>
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