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密度の求め方を説明します。

モンテカルロシミュレーションによって、数万の粒子の追跡を行い、壁面への粒子の付着数と、空間に設置した領域を通過した時間Tp とを求めます。

一方、実際に製膜実験を行い、成膜速度を求めます。この成膜速度と、シミュレーションでその位置に到達した粒子の個数とを比較すると、シミュレーションでの粒子数が対応する、実験での実時間Ts を求めることができます。

Tp を Ts で割ってあげると、ある瞬間にその領域の内部にある粒子の個数を求めることができ、これを領域の体積で割れば密度が得られます。