なかのにっき

リリースされた。

＠ 1 限 物理情報演習第 II:

今日は 65%。9:30 から。

Ar ボンベのバリアブルリークバルブがフルクローズになっていなかったようで、 いつもの調子で 1 回転〜としていたら MC の圧力を 10^-4 Torr まで上げてしまい、インターロックを落としてビビる。 閉めてポンプその他再起動、10^-9 Torr まで通常のペースで下がったので、 特に問題は無さそうだ。

佐藤君に基板エッチングをまかせて試験監督の続き。

Cu に続いて In depo。最初 cv で上げたらまた成膜速度の振動が出たので、 cc でやってみたら安定した。なんでだろうか。

13:40 から加熱前 depth profile。あとはおまかせ。

17:00 まで測定。 In/Mo がいつもに比べてだいぶ高い。 Mo のシグナルが小さいのかな。

うーん、加熱後の depth profile を見ても、 要するにやたら In が多いような。

10:30 に測定終了。最後 X 線源の循環水の都合で 30 分待機する必要があるのを忘れてた...

12:10〜12:50。 予想通り時間を間違えていた学生がおり、 明日も部屋をあけることに。やれやれ。

首から左肩にかけて。やばいな、いつもの風邪の予兆のような気がする。
ちょっと寝たら少し良くなった。しかし暫く試験監督があるし、気をつけないと。

所用で東京に出てきた、とのことで寄ってくれた。 いろいろ興味深い話 (特に内容を秘す) を聞く。

i1124 を渡し、 加熱制御電源の仕様 (0〜500℃、0〜500W、2 段分のオープンラック) について話す。見積りを出してくれるということに。 メモリも今日明日入荷とのこと。

ステージ昇降が変だ、という報告を受けて見に行く。 ステージはよくある、ステッピングモーター+ボールねじによる昇降。 通常はソフトウェアの up/down ボタンを押すと動き、離すと止まる。 ところが down ボタンを押すと、 down 方向に本来とは違う遅い回転をし、 ボタンを離しても止まらない、という症状。 ソフトウェア的には停止できない。EIU の電源 off/on と、 Windows ごとのリセットが必要。

ちとばらしてみたが、特におかしなところは見当たらない。 どうもこれは上側のリミットセンサが入ったときの挙動らしい。 上げすぎてボールねじが固く嵌まってしまい、 モーターの回転がギヤの空回りで伝わっていなかったので、 あらゆる動かなくなったのだろう。 手動でネジを下げ、リミットセンサを解除したら無事に復旧した。 (その辺の写真)

明らかにソフトウェアのバグなんだけど、 いまうちにあるハードウェアは古いので ソフトウェアも古いバージョンのしか使えないし、 以前別件で Quesant に聞いたときソースコード残ってないって言ってたから *1 運用でカバーするしかないだろうなあ。 「あまり上まで上げるな」ということで。

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XPS 終了手順の待ち時間を利用して訳出。 これで mirrordir は一通り揃った。

日記的記録として。