なかのにっき

7:00 発、南武線回りで 8:20 くらいに尾山台着。 ドトールで軽く食べて 8:50 くらいに会場へ。

飯村くん、星くんが既に来ていたのでそのままショートプレゼンを聞く。

途中ちらっと抜けて 6.3 酸化物のポスターを覗く。 青学大石原さんの酸化物ターゲットスパッタ中の酸素エネルギー分析、 東工大応セラ研辻さんの SiOx PLD、 京大化研菅さんの STO への電子ドープによる青色発光など。

飯村くんの発表は、緊張して「えー」が多発したことを除けば、 わかりやすく時間にも収まっていて良かったと思う。

セッション終了後伴野先生、中部大中村先生とちょっとお話、 昼ご飯は飯村くん・星くんと学食で。 展示会を回って DC のスパッタ電源をちろっと物色。 関西電子というメーカーのがよさそうだったけど。 Weiley の即売会では Optics and Spectroscopy at Surfaces and Interfaces が良さげだった。 でも今見たら会場価格より amazon の方が安いな。

13:00〜15:00 がポスター。 慶大真壁研の Cu セルフスパッタの simulation、 東工大戸田研辻さんの MgO エネルギーサイクル、 中部大中村先生のところの西戸さんのところのイオン化 depo によるガスバリア膜、 富山県立大中川さんの ECR による TiO2 作製、 伴野先生の表面波プラズマによる Electron ablation、 長崎大松田先生の RF 支援スパッタによる AZO 作製、 東北大松本さんの pulse 大気圧プラズマによる Si CVD、 成蹊大 :-) 斎藤研のガラス基板の大気圧プラズマ処理…などなどを聞く。 齋藤先生とは少々長話、接触角測定とかタリステップとか、 電気炉の自作についてとか。

ポスター終了の時点で会場発。