なかのにっき
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hns - 日記自動生成システム - Version 2.19.5
帰り際に Al 膜・pSi 試料をイントロへ。
原付。寒いのにも少しは慣れた。
原付。相変わらず寒い。小雨で合羽を着たらズボンを引っかけて破いてしまった。
今日を入れてあと二回。
18:40 頃終わり。
#5
[receipt] 紀伊国屋 BC 2,174 円
#6
[paper] 今日拾った論文 (PRL 97(3), APL 89(3), JJAP p2 (29-32))
いわゆる tapping mode AFM の振幅・位相の距離依存性を積分公式にまとめた話。
L-J の場合についてグラフも。でもこれちゃんと新規性あるんだろうか。
色素を分散させた PMMA 膜をガラス上に付け、膜厚を変えながら
放射強度の角度依存性を測定した話。
双極放射に干渉を入れた式で fitting、比較的良い一致。
curvature から stress を、XRR で膜厚変化を測り、
膜の Poisson 比を決定しましょう、という話。
対象は low-K の SiOC と PAE (polyarylene ehter?)。
タイトル通りの試料。熱酸化膜の厚さを 110〜330nm で変え、
7E16 cm^-2 の 50keV Si をインプラ、N2 中 1100℃ で 1h、
5%H2-95%N2 中 500℃ で 30min のアニール。
405nm/488nm で励起、PL の膜厚依存性。
強度をモデル計算と比較まあやっぱ干渉がキモみたいだけど。
FEM/FIM の W tip をうまいこと酸化させると数 V で (!) 開口角 2°以下の (!)
電子ビームが extract される、という express letter。
どうも AM からもらったメディアは一部読めなくなっていたようで、
migrate に取っておいたバックアップから。
mkisofs -r -v -J -o fuga.iso fuga
でイメージをつくり、OSX に ftp で転送して焼いてるところ。さて。
うまく焼けたようだ。封緘。
#9
[dept] HRC パンフ写真
坪村先生から「なんか見栄えのするカッコいい装置ないですか〜」
という query があり、こないだ入った (まだ稼動させてない)
UHVSP (intro 付き) を押してみる。
なぜか被写体にもなったり。むー。
赤を入れていただいたので再編集。
#11
[labo] Al スパッタ→MgO 準備
二回目。菅原くんと。
その後ふっ酸エッチングを経て Al スパッタ・MgO スパッタ両装置へ基板導入して
今日はおしまい。ターボが 3 台回って五月蝿えのなんの。
invited/manufacturer が少々変動。
submission 予定の方はよろしくですー。
明後日の準備を全くしていないことに気付いた…
飯村くんが掃除のおばさんから「別に降ろさなくてもいいのよ、
というか 1F と 5F では担当者が違うから…」と言われたらしい。
うーん、やはり指揮系統のはっきりしている方を信じるべきだったか。
以上、1 日分です。
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中野武雄 (NAKANO, Takeo) <nakano@st.seikei.ac.jp>
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