なかのにっき

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2001年08月31日(金) [n年日記]

#1 新手の SPAM?

From: trend1@pb4.so-net.ne.jp

『E-JOBサイドビジネス』登録を受け付けました。

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登録されたメールアドレス: nakano@apm.seikei.ac.jp
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登録日時:2001/08/31(FRI)00:15
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なお、この登録に心当たりのない方、また誤って登録された方は、
以下の記述をクリックしてください。登録が解除されます。
この時間には文書を編集していたから、 絶対にアクセスしていない自信があるのだが。

#2 もう秋?

半袖半スボンで原付で帰ったら冷えたらしく、くさめを連発。

ということで:

今日は長ズボンで登校してみた。

#3 [labo] 膜厚計コントローラ

きませんよ?

遅れ:

伝票処理をしてもらう ヤマト科学東京西営業所 (042-323-9600) の亀岡さんに電話して確認したら、 部品調達の遅れのため、 修理品到着も遅れて 9/4 になった由。 boss と小川君とにメールした。 修理品はアネルバより直送なので、遅れたのはヤマト科学のせいではないけど。

#4 [freshmeat] 8/30 分の新着メールから

#5 [labo] 旧スパッタ装置の放電不良

昨日から実験したり boss と相談したり。

状況:

まず以前のえぐれたターゲットに戻して放電実験。 100 W で 2x10^-3 Torr まで放電維持。

取出し、磁場測定。 エロージョントラックの bottom で動径方向の磁場成分を測定すると 0.3 kGauss、 ターゲット面の磁石直上が 0.73kG, 外縁部のヨークが 0.07kG。 新品のターゲットにすると動径方向成分の max が 0.22kG くらい。

磁石を計数実験室に持ち込んで電磁石に挟み、12A で再着磁。 新品での動径方向成分 max が 0.31kG に。 また磁石単独での磁場は、中心部 1.9kG、外縁部 2.2kG くらいに。

しかし放電させると 4x10^-1 ですら時間経過とともに放電が消える。 5x10^-1 では 100W で放電維持、電圧は 2h30min 程で 836->630V に。 しかしこの状態で 4x10^-1 にすると消えた。

対策:

ターゲットの作製法に何らかの変更がなかったか、 フルウチに聞いてみる。

マグネトロンを再設計。 6〜8 月に大川君がためたデータとは同時に利用できなくなるので、 そのへん学会発表や修論に向けてどう擦り合わせるか。 まあ古いのも共存できるので、とりあえず古いターゲットで 蒸着実験を続けていくことも可能ではある。

というわけで:

9/3 10:30 に VP 大橋さんに会うようアポイントを取る。 このマグネトロンの他にも、新装置の膜厚モニタのこと、 新装置のガンのターゲット交換作業の簡略化について相談予定。

#6 [thesis] 要旨

日本語版の結論の部分 (今後の課題を除く) の TeX ファイルの 日本語部分が 2500 字ほど。背景とかを追加すれば 4000 字になりますかね。 MS Word で編集開始。

明日いっぱいくらいで仕上げて boss にメールで送り、 そのコメントを受けて日曜日〜月曜日くらいで吉田先生に fax の予定。 提出は金曜日で OK そうだな。

#7 [exercise] 今日のプール記録

w150, f400, w125, b400, w100, f400, w100, b400, w100
bp139/81, hr 111
やっと 400m を 4 本泳げるようになったな。

#8 SINET 不調

プチプチ。

#9 [DDTS] 今日の checkin

gtkpool, linuxconf, alsaplayer-alsa, inventor-dev, wdiff
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以上、1 日分です。
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中野武雄 (NAKANO, Takeo) <nakano@st.seikei.ac.jp> Since 1999-10-07
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