なかのにっき
最新版はこちら。
突っ込みは各日付の BBS エントリのほか、
メール (nakano@st.seikei.ac.jp) や
フォーム
からどうぞ。
なおスパム除けのため、BBS 機能には
緩い認証を入れて
います。
検索エンジンから来た方は、エンジンの方のキャッシュを見るか、
下の簡易検索を試してみてください。
hns - 日記自動生成システム - Version 2.19.5
真空蒸着の resume をあげる。~/text/TAIKEN 以下。
#2
[labo] 注文→フルウチ化学
ターゲット。50mmφx3t を Cux2, Agx1, Mox1。
サニメント手袋エンボス M, L 各 5 箱。
#1
夏を感じる今日この頃
東向きの部屋で寝ているもんだから、
朝の直射日光で嫌でも目が覚めてしまう...
ということで 7:30 起床。
＠
体調:
悪い。寝冷え？ノド痛い。
明日の体験教室の予備実験。
＠
1st batch:
9:40 開始.
MgF2 thickness → 250, 280, 310, 340 nm
＠
2nd batch:
13:20 開始.
MgF2 thickness → 265, 295, 325, 355 nm。
なんか皆同じ色に見えるけど大丈夫かな...
＠
3rd batch:
16:50 開始.
途中膜厚計の水晶振動子が FAIL になり(T-T)、やり直し。
Ag 18nm + ホゴ用 MgF2 20nm。うーむ、やはり 2nd batch の
色がみな同じに見える(^^; 分光計で測ってみるか...
＠
終了操作:
20:30-。疲れた。
＠
分光計測定:
やはり 2nd batch の分は正しく膜厚が出てないように見える。
直後の水晶振動子の死にが関係してるのかなあ。ちきしょ。
#4
[paper] JAP 88(3) 1 Aug. 2000
AC プラズマディスプレイで、ガスを変えたときの真空紫外領域の emission を測定。
測定したのは Xe の atomic emission @ 147nm と dimer state からの continuum。
buffer gas には He-Ne mixture を使い、He や Xe の content dependency など。
Ne が多くなると dimer state からの発光が強く、逆だと atomic が強いとか。
同時に IR 領域の測定も行い、反応経路についても考察している。
WNx 膜の反応性スパッタ。XRD, XPS, TEM (planar & cross-sec.),
応力測定,etc, etc. 目的は半導体の拡散バリア層らしい。
(W,Ti)/SiN/Si(100) の上に 0.1〜2.5 nm の金を蒸着、応力解析。
XRD の d-sin^2φ 測定、curvature からの測定、
incidence angle を変えて (でも scattering vector は不変な)
d-sin^2ψ 測定をして、strain の depth profile を測る試みが面白い。
Si の Ar/O2 ECR プラズマによる oxidation。
ほぼ拡散律速であるとか、基板に positive bias をかけると
酸化速度が向上するので、oxygen の negative ion がきいているんだろう、とか。
朝からものすごく暑くなりそうな予感がするが、
ちゃんとお客さんは来るのかな？
＠
来ました (11:00):
7 人。
＠
終わった (16:30):
疲れた(^^;。次は明日の準備をしないと...
かっこいいなあ。乗換えようかなあ。
#3
user@surf.ap.seikei.ac.jp
しばらく前から届かなくなっていたらしい。
大学の上流の DNS サーバが変更されたせい?
surf.ap.seikei.ac.jp を A では引けるのだが、MX ではエラーになる。
この状態ではメールは届かなくなるのだろうか?
まあ MX を向けてもらえばいいのだろうけど、このへんよくわかってないな > 自分
% nslookup
Default Server: localhost
Address: 127.0.0.1
> server sugw.seikei.ac.jp
Default Server: sugw.seikei.ac.jp
Address: 133.220.253.2
> set q=a
> surf.ap.seikei.ac.jp
Server: sugw.seikei.ac.jp
Address: 133.220.253.2
Non-authoritative answer:
Name: surf.ap.seikei.ac.jp
Address: 133.220.91.111
> set q=ns
> ap.seikei.ac.jp
Server: sugw.seikei.ac.jp
Address: 133.220.253.2
*** sugw.seikei.ac.jp can't find ap.seikei.ac.jp: Non-existent host/domain
> set q=mx
> surf.ap.seikei.ac.jp
Server: sugw.seikei.ac.jp
Address: 133.220.253.2
*** sugw.seikei.ac.jp can't find surf.ap.seikei.ac.jp: Non-existent host/domain
>
＠
あー:
これ
もそのせいか...
ハブは自前の内部向け DNS を見てるからな。
どっかで狂ったんだろう。
終わらん。 3h ほど墜落睡眠してしまう(^^;。
#2
面談準備
久々に修羅場った...
しかもコピー機が紙詰まりするし (T-T)
早朝 5:00 に紙詰まりするコピー機には死んで欲しいね!
とりあえず日本語の resume や業績リスト、別刷をお渡しする。
好意的に見てくださりそう、かな？
せっかく本郷まで出かけたので、書籍部に寄って以下を購入。
- 「ゴム弾性 復刻版」久保亮五, 裳華房
- 「物質の電磁気学 岩波基礎物理シリーズ4」中山正敏, 岩波書店
渋谷東急ハンズを経由し、ロータリーの排気周りの配管部品を買う。
吉祥寺富士そばで遅い昼食。
ソバを食いながら携帯でひたすら話し続ける男が隣にいて非常にむかつく
*1
。4:40 成蹊着。
#6
実験レポート採点
最終回分 18 通を片付けてしまうつもりだったが、
見ているうちにイライラしてきて
気分がササクレ立ってきたため、
「この状態で採点するのはフェアではない」
といいわけをつけて退散。
#1
[LDP] 7/25 の updates
linux-users ML より。
このページはネットワーク文化人類学の新しい分野である 「ほげ学」のページです。
「ほげ学」とは、日本国内において秘かな流行語となりつつある言葉「ほげ」 について論じたり、さらに
は「ほげ」の多用によって発生した病気「ほげ症候群」 について研究する学問である。
#3
user@surf.ap.seikei.ac.jp (2)
大学名前鯖での bind の update によって解決したとのこと。
今までのバージョンは hole とか大丈夫だったんだろうか...
linux-users ML より。
Memtest86 is thorough, stand alone memory test for x86 architecture
computers. BIOS based memory tests are only a quick check and often
miss many of the failures that are detected by Memtest86.
#5
Kondara-users.ja
ちょっと質問したくなって
*1
、再 subscribe。
＠
さっそく回答をいただく:
複数台の PC に kondara 入れるときのパッケージセレクションの自動化
*2
ついて質問したところ、
$ rpm -qa --queryformat='%{name}\n'
とすれば、
バージョンを含まないパッケージ名のリストが取れる、との回答をいただく。
これを
mph-get
の入力に食わせればいけそうな感じ。ありがたや。
*1: なんて利己主義な(^^;
*2: Debian での dpkg --get-selectios, dpkg --set-selections みたいな内容。
#6
[paper] APL 76(22-24) 29 May, 5,12 June 2000
＠
APL 76(22) pp.3194 (2000):
steel 工具上の coating 材目的の TiN, CrN の酸化耐性を
分光エリプソで評価した論文。膜は反応性スパッタで Si 上に体積、
空気中で 673〜923K に加熱し、oxide layer thickness を評価、
活性化エネルギーや拡散係数などをを導出。
＠
APL 76(22) pp.3206 (2000):
amorphous C/Si のスパッタ膜 (10〜70nm) に残留した Ar の XPS
スペクトルのピークシフトから残留応力を決定しようという論文。
stress の入った膜では Ar の自由エネルギーが (応力)x(atomic volume)
で変化するから、ピークシフトがストレスに対応するのだ、そうな。
うむむ、そうなんか。結果は curvature や blistering からの測定値と
結構合っている...
＠
APL 76(23) pp.3370 (2000):
laser ablation plasma のシミュレーション。
mass (==density), momentum, energy の保存則をつかった FEM。
FVWM 35ps, peak fluence 150J/cm^2 相当の laser shot で、
10^20 cm^-3 程度のイオン・電子が生成されるとの結果。
target からの距離 z、時間 t に対して contour plot。
＠
APL 76(23) pp.3475 (2000):
20 種類程度の metal にからの secondary electron emission を、
primary が 10keV の電子の場合と 3keV の Ar+ の場合について測定、
Work function に対する依存性を見ている。
イオン励起の場合は Φ↑→σ↓だが、
電子励起の場合は逆になっている。
電子の場合は kinetic な効果と potential 的な効果があるのでモゴモゴ...
といろいろ議論しているが、決定打は出ていない。面白いね。
＠
APL 76(23) pp.3543 (2000):
GaAs 上に InGaAs の quantum dot 構造を作り、断面 TEM で見たりフォトルミを見たり。
GaAs の As 面 c(4x4) に 1.75ML Ga→2.5ML In で In droplet を作り、
さらに 50ML の Ga で InGa droplet, Ga droplet な面を作る。
最後に As4 を供給するとwet のない、70nm 程度の
QD structure ができるとのこと。
＠
APL 76(24) pp.3561 (2000):
JRCAT-ATP の報告。
Si(001)-2x1 構造の NO による oxynitridation の SREM
*3
による観察。
＠
APL 76(24) pp.3644 (2000):
光梃子 AFM の反射光位置決めを array detector で行う試み。
その際の各 segment の gain をどうとるのが一番 S/N が良くなるか、
を考えたところ、中心位置での各 array cell からの強度を Pi、
微小位置変化による各 cell の変化を ΔPi として、
gain gi は gi \approx ΔPi/Pi とするのがいいとのこと。
...って、ΔPi = α Δx みたいに置いてあげないと
AFM 的な意味は無いような気がするのだが...
Mo は better than 99.95% で、価格が 12000 円になっちゃうけどいいか、
との query がフルウチから来たので、OK と返事する。担当は高瀬さん。
行こうと思ったら吉祥寺近辺は大雨だったので中止。
使い捨てコンタクトレンズを 1 ペア無駄にしてしまう(;_;)
#10
[paper] PRL 84(23,24) 5,12 June 2000
ということで更に積んであった雑誌に手を出す。
＠
PRL 84(23) pp.5347 (2000):
Si 結晶を劈開で壊すとき、面方位と劈開方向に対する
破壊エネルギーの依存性を計算したお話。
解放されるエネルギーは、 (110) で 1.73J/m^2、(111) で 1.44J/m^2 とか。
破壊応力は 50〜60 GPa 程度。
＠
PRL 84(23) pp.5371 (2000):
fcc metal の (111) 面に metal を epitaxial 成長させる時の
adatom 間の intaraction の話。 DFT で計算すると、
adatom 間の距離がある程度大きくなると、ring 状に
repulsive な energy 領域ができて、その大きさは
diffsion barrier と comparable な値になる、との結果。
これを使って MC すると nucleation density が減ることになる。
＠
PRL 84(23) pp.5415 (2000):
Fe/MgO 膜のバルクハウゼン雑音を MO Kerr 効果で見た話。
いろいろな膜厚で実験し、
magnetization の jump が起る確率は、ΔM の -1.1 乗に比例する、
と言う universal な結果。
＠
PRL 84(24) pp.5644 (2000):
metal particle (Ag) の surface plasmon の decay time の新しい決定法。
蒸着後、metal の蒸発が起こる程度の laser pulse を何回かあて、
吸収スペクトルの diff の幅から最初の peak broadning を外挿し、
decay time を計算するというもの。 Ag 7.5nm の particle で、
4.8fs という値を得ている。
#1
[LDP] 7/25 の updates (2)
#2
[LDP] 7/26 の updates
#3
[labo] 新スパッタ装置立ち上げ
いろいろ立て込みが片づいたので久々に再開。
まずはロータリーポンプ周りの
接
続
から。
真空計はまだつないでない状態だが、
試しに RP についで TP まわしてみたら、10min で oLI,
どっかリークしてるっぽい。やっぱ真空計つながんと駄目か(^^;
久々だったので抑え目に:
free 800, breast 400, walk 500。
歩いてるお姉ちゃんがいっぱいいたなあ。流行ってるんだろうか？
終了時の血圧 131/82。
早川さんに教えてもらう。現時点での eepro100 用ドライバとしては
一番安定しているとのこと。
最近朝日新聞社から発行された「そうだ、村上さんに聞いてみよう」のネタページ。
うう、リアルタイムで見たかったなあ。
#3
[LDP] 7/27 の update
やはり一個緩んでたフランジがあった。
多分業者がテストのときに真空計をつないでたとこだろう(^^;
無事 TP まわる (start→800 rpm まで 5'45")。
QIG つけたんで、明日見てみよう。
その他関連して注文する部品の図面を書く。 ~/figure/candy/ 以下:
- TC ゲージコントローラ用のパネル (TCG-panel.c7)
- アース分配用のターミナル (Earth-Terminal.c7)
- チャンバーの固定用治具 (Sputter-bottombar.c7)
#1
[LDP] 7/28 の updates
＠
@12:30:
TP 2.4x10^-6 Torr. ふむ。
昨日の図面の件 3 つ
と
ICF 70 用銅ガスケットx20, O リングx30,
Quick Coupling NW25 用センタリング & クランプ各10,
アネルバのゲージポート&リークバルブ付きフィードスルー+穴あけ加工x1。
- ASUSTek CUSL2,
- Intel Pentium III 733 FC-PGA
- IBM DTLA-307030 (30G, ATA66, 7200rpm)
- ケース
- memory PC133 128M
- RIVA TNT 16M 程度のものをおまかせ
- FDD おまかせ
アース分配用ターミナルキャンセルの件を併せてメール。
#5
[labo] 問合わせ→北東京バルブ・フィッティング
寺本さん。SS-4BK バルブの底面にある #10-32UNF タップ用の固定ネジを
入手できないかどうか聞く。返事は折り返し電話orFAX で。
＠
発注:
返事来て、規格品があるとのこと。以下を注文
- ユニファイネジ (188-4B-K16)x10本
- ユニファイネジ (188-4B-K27)x10本
- Swagelok ポート・コネクター (SS-401-PC)x5個
#6
試験監督
全部終わった。まあ月曜に予備はあるが。
#7
ということで
今日は飲み。職場関係じゃないけど。
大学・大学院の同期と新宿で。
みないろいろ大変そうだったが、やはり人生は楽しい。
この内容で OK、8 月末くらいまでで一通り書けるか、とのお返事。ありがたや。
しかしこれでもう 8 月はなにもできなくなることが決定。
+sys/multicast.plm がミソだったのですね.
ブランチの作業で、とりあえず完成のつもり。
ML で休眠宣言。
と言いつつ手を出しちまいそうな予感はするが(^^;
html での valid な色指定。
のサポートページにも、512/256 色のカラーチャートがある。
まずは英訳作業に入る準備。
とりあえず日本語版のサマリはブランチとして分枝。
ブランチ名 jasummary_20000731。メイントランクの日本文は全部コメント化。
とかいいながら DDR3 を 200kcal ほど踊る。大汗。
#4
土用丑の日
ウナギを食す。
平均 77kg を割る位になってきた。
1ヶ月で 3kg か。いいペースかも :-)
#2
low battery mode 宣言
JF と webmasters の方でもしてみる。
これで引き返せなくなったともいうな...
yama のホームディレクトリの内容が
ふっ飛んでいた (何故?) のでテープから
7/30 00:00:00 のものを restore。
結構時間かかるな。
#4
[labo] 発注 (サンプルホルダ) → VP
図面は ~/figure/candy/Sputter-sampleholder.c7
ちなみに固定の向きはこう (
全体図
拡大図
)。
吉田先生からのご指摘により、全体の構造をちょい pack,
chapter 1〜4 にまとめなおし。んで chap 2 の後半 1/3 の分を英語にする。
正味 180 行くらい英作文。疲れた... ってまだまだあるんだなあこれが。
以上、11 日分です。
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中野武雄 (NAKANO, Takeo) <nakano@st.seikei.ac.jp>
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