なかのにっき

coaxCT に LP.m を組み込む。 フィルタのところを変えて結果を見てもらえるように指示。

q_rms256 のラッパを tiger:/usr/local/bin/rms として作る。

膜厚モニタを組み込んでベーキング 11:45〜13:15。13:45 に水流して 15:15 スタート予定。

1Pa 100W で 30 min プレスパッタして基板下げようと思ったら、 シャッターが引っかかって開かずに死。 作業前に田中君がシャッター閉まった状態でステージを降ろしてしまって 一度ひん曲がり、曲げ戻してもらったつもりがちゃんと直っていなかった。 うえーん。

とりあえず再度のひん曲げ覚悟で降ろして測ってみる。 距離によって 25〜9 Å/s くらい。なかなか良さそうだ。 一回の測定の間に XTAL の consumption は 2% 上がった。

じゃあ開けようか、と思ったらゲージのフィラメント入れっぱなしだった。 もうダメ。

17:00 に close。17:15 からベーク。

積分が負になるので悩んでいたのは、 その前にかかる係数も符号が反転するからであった。 ちうか定数変化法がすぐ浮かばんとは俺もだめだのお。

昨日切れた (これは寿命) シュルツゲージの交換。 自分は切るのヘタなので押しつける。 Si 基板を cut。 最初 8mm 角でいいかと思ったら、 穴のサイズがピッタリ 8mm だったので切断誤差で嵌まる基板多数。やれやれ。 気づいてからは 7.5mm で切ったけど、長手方向には 8 で切っちゃったから、 まだ入らんやつあるかもな...