なかのにっき
最新版はこちら。
突っ込みは各日付の BBS エントリのほか、
メール (nakano@st.seikei.ac.jp) や
フォーム
からどうぞ。
なおスパム除けのため、BBS 機能には
緩い認証を入れて
います。
検索エンジンから来た方は、エンジンの方のキャッシュを見るか、
下の簡易検索を試してみてください。
hns - 日記自動生成システム - Version 2.19.5
#1
9 月セミナー要旨
sent。4 月のを大阪でリバイバル、という話だったような気がするのだが、
先方指定の仮題を見るに昨年 9 月の内容を期待されてるのかしらん。
雨が止まないので予約。野洲の駅前。一応前日から取った。gmail の Starred メール。
ほぼ止んだので原付。
電卓機能の改版らしい。全く使っていないのでスルーで良いかな。
#5
家 Windows の NAV
SystemWorks 2005 のまま NAV ライセンスのみ延長。
キーは秘密日記へ。
原付。物情実験打ち上げの食材を買いに、農工大南のいなげやに寄る。
したら安藤さんとバッタリして苦笑したり。
#7
野中さん来研
真空協会でお世話になっている産総研の野中さん
*1
が工藤先生肝煎りの SIMS 会議に
出席されていたとのことで来研してくださった。
1h ほど諸々お話。
*1: 本当だったら「先生」とお呼びすべき偉い方なのだが、
そうするとこっちも「中野先生」と呼ばれて大層恐縮してしまうので。
まあいつものように単なる飲み会。23:00 くらいまで。
ちょっと参加が少なくて寂しかったかなあ。
〜26:00。酔い覚まし。
原付。霧雨で結構濡れてしまった。
原付。ちょっと晴れ間。
#3
[dept] 試験監督 (2 限 英語演習 I)
native の Cordy 先生。25 名 80 分。
50 分遅刻してきて「受けられませんか」といってきた学生がいたが、
さすがに駄目
*1
。大分粘られたけど、
こっちの判断で助けてあげるわけにもいかないので。
というか(以下略
*1: 規則では 20 分まで認めることになっている。
#4
ブース整理
作業。明日の体験教室であんまり汚い状態を見せるのもナニだし、
早めに伝票を出しておこう
、というのもあって。
＠
謎メモ:
作業中発掘された
2006-05-23
付のレポート用紙に
65,000
↓ 15%〜20% 広告
というメモ。意味がわからない。
#5
kuttukiBBS
ユーザ名が「中野」、パスワードが「武雄」(それぞれローマ字の小文字)
という BasicAuth を食わせて仮復旧してみました。
余分なお手数をおかけしてすみませんが、
もしコメントしてやっても良いという方はひとつ宜しくお願いします。
Ar 10sccm で 50W 点火、1Pa の条件を作っておいて N2 を 4sccm 追加。
こんどの FC には弁が付いてるからこの辺の操作が凄く便利だ。
プレスパッタ 15min、depo 10min。
新しい Si を HF 処理、リークして基板入れ替え、
リーク用のバルブを VLV へ変更、22:00 から排気。
TiN 試料は取り出しから 40min で esca のイントロへ。
ベーキング準備を 24:00 から、ヒータ加熱を 24:30 に開始。
さてさて。
帰り際に esca 部屋に寄って試料を測定室へ。25:50。
原付。松屋でグルメドハッシュ…しかし各要素の温度調整がダメなせいで美味しくない。
原付。ねむい。
10:45 に講堂へ学生を迎えに行き、昼食を挟んで 16:00 に終了。
高一の女子が 4 名、高二の女子が 1 名ということで、
「数列や三角関数はまだ習ってません」という状況のため、
Excel、液体窒素のハンドリングなど「体験」に徹するかたち。
フィルタはお土産に持って帰っていただいた。
どうも焼いた割には H2O が高いなあ、と思っていたら、
体験教室終了の時点で -3 Pa 台に。
ガンの水冷配管のところから漏れた模様。窒素をフローさせて確認。
もちろん加熱時に配管へ圧がかからないような手当はしているので、
多分熱履歴に負けたんだろう。うーんまいったなー。
＠
ESCA 測定:
昨日着けたやつの測定。O の trace が無いわけでもなさげ。
考えてみたら昨日から H2O が少量リークしていた可能性もあるわけか…
ESCA 測定の待ち時間に採点 done。
火曜日は ISSP の meeting なのでポストへ差しておく。
実験のレポート関係 / issp / vsj-ed / 上記リークの件などなど、
たくさん書いた。やれやれ。
#7
[lbc] 18 年度引き落とし準備
90 分ほどの作業。いつもナニだが追い込まれるまでやらんのお。
振替依頼書を整理、データ入力、送付封緘。明日出せば OK。
ふにふに。
原付。小降りだがウインドブレーカーのみで突破。
原付。二度寝したがギリギリ間に合う時間にガバっと起きた。
雨がまだ降っていなくて助かった。
＠
2 限: 信号処理工学:
小口先生の。座席指定という戦略のせいか、小口先生の人格的迫力のせいか、
実に粛々と進行した。
＠
3 限: テクニカルコミュニケーション I:
物生 2 年の課目。60 分のところ、40 分で全員提出終了。
＠
5 限: 社会学の方法:
今年度から 5 限は 16:30 開始になっていたのを知らなかった。げげん。
試験は 60 分で終了。大教室・中途退出は監督が席へ回って受け取り、
というシステムにしてしまったので、もの凄くたくさん歩いた。つかれた。
行き掛けに出す暇がなかったので、2 限後昼食をローソンに買いにいき EX パックの封筒を購入、事務室の郵便ボックスに入れて終了。
提出。
海外出張の助成依頼
には、航空運賃の見積が必要。
坂本さんが帰ってきたら、どこから取ったか聞いてみようかな。
#6
[dept] 物生実験レポート回収
2〜3 限が監督のため、昼の余裕がなかったので飯村くんに作業を依頼。
板村さんも現場にいてくださったらしい。ありがたや。
こないだ accept された MgO 論文の解説。
日本語レジュメを作るのもナニなのでそこは手抜き。
#8
VP 電話
大橋さんに昨日のリークの件電話、
一度ガンを外して持ち帰っていただくことに。
水曜日に定例の勉強会をやるようなら、その足で一緒に、ということになった。
#9
[VP] 勉強会準備
「こんど指数・対数の話をしましょう」と言ってたのだが、
明日は身動きできないのでいまのうちに準備。
成果
。Acrobat が update 以降腐って動かないため .doc ファイルにて。
本意ではないのだが…ていうか早くなんとかせんとなぁ。
15,500 Hz だった。ちょっとショック。
原付。降られず。
疲れたので鰻。昨日が土用つーことで 30% オフになってた。
赤坂直行。todo は 1st circular の内容の web 化、
Rossnagel さんのメールアドレスを大崎先生にお知らせすること
(done)、
(できれば) FS の invited 候補を考えること。
こちらでも日記の存在がバレた模様 (いや別に隠してないけど)。
銀座線〜井の頭線で吉祥寺まで。
懇親会のあと、ちろっと大学へ。
#3
[dept] 新旧スタッフ学科懇親会
飯田先生の叙勲のお祝いを兼ねるかたちで葡萄屋、18:00〜20:30 くらい。
葡萄屋は久々だったがやっぱり美味しかった。
宮本先生に、後期の院のプラズマの講義を聴講させていただく旨ご挨拶 :-)
他に OB の先生は、河田先生、松本先生。皆さんお変わりなくお元気そうでした。
#4
応物申込
参加＋予稿集、+misc/4174。
#5
[VP] 勉強会準備
今日昼不在だったので、ブックセンターで対数グラフを星くんに買ってもらった。
すんません。
明日は全員参加とのことで
昨日つくったレジュメ
を送付。自分で眺めていたらいくつかミスがあったので修正した。
5 月の研究会の講演が解説記事として到着。
査読者の推薦を、部会幹事の方にお願いしてみるメール。
#7
MyAVS
membership directory 閲覧に利用。便利。
login/pass を忘れていたので変更、秘密日記に。
バス電車歩き。蒸し暑い。
国分寺せい家でラーメン。良く食うな。
自宅に着いたら PC が熱暴走していた(笑)
原付。VP 経由。昼から晴れて暑くなった。
ちょいと三陽に寄って某所へ麩まんじゅうの発送。
ということで指数・対数の話。
微分方程式とかその辺には踏みこめなかったが。
#4
[labo] UHVSP ガンリーク
ということで塩谷さんに来研いただき、ガンを外して持ち帰ってもらった。
#6
スパッタで黒色膜
フォーム
から以下のようなメッセージ (抜粋) をいただきました。
DCマグネトロンで黒色膜が成膜できる方法があれば、是非ともご伝授頂きたい。
RF電源を用意しDLC膜にしてしまえば早い話でしょうが、DC電源で何とか出来ないものかと。
個人的な経験としては、アルミのスパッタで水蒸気が混ざると
*1
、陽極酸化で得られるような黒色の膜ができることがありました。
うまいこと条件を選ぶと、ある程度使える黒い膜が得られるかもしれません。
porus な金属酸化物はだいたい黒くなるので、
圧力を高くしてやるとうまくいくかも。
あと、もちろん用途によりますが、
黒クロムめっきなどの方がお手軽に着けられるのでは、という気もします。
#7
[vsj] 真空関係連合講演会
秋の大阪の。ひとまず申し込むだけ申し込んでおく。auto reply は +vsj/70。
#8
[paper] 今日拾った論文 (JAP 99(7), APL 88(15), PRL 96(14))
GaN の低温反応性スパッタ。
基板温度 (〜400℃)、全圧 (0.1〜10 Pa)、窒素流量比、
ターゲットバイアス(〜1500V) をパラメータとし、
deporate、構造 (by TEM & AFM)、組成 (酸素の incorporation)、光学特性 (BG、Urbach tail energy、RI) などを系統的に調べた話。
DP 排気で背圧 3×10^-4 Pa ってのはやっぱり高いのかも。
まあちゃんと読むべき論文かな。コレクションに入れといてちょーだい > 星くん
In リッチな n 型表面層があると、どうも CIS 太陽電池の効率がいい、
それは ordered vacancy compound があるせいでは…というのを受けて、
標記化合物の単結晶を育てて吸収係数 (と工学バンドギャップ) の温度依存性を
10-300K で見た話。BG の温度依存性は phonon の絡んだ Einstein モデル、
Paessler モデルのいずれでも fit 可能、
ここから electron-phonon coupling の強さが評価でき、
mobility が出せる、ということらしい。
RF magnetron で作った InN の断面に絞ったレーザー当てて PL を取り、
基板面に向かうと blueshift した、という話。AlN のバッファ層の効果、
温度の効果。
しかしここのグループは相変わらず作り方の詳細がイマイチちゃんと書いてないんだよなあ。
SiO2 表面上を OH 基で就職、MPTMS を ALD チックに単分子成長させてから Au を着けると超平坦 (〜RMS 2Å over 1um^2) な膜ができる、という話。
MPTMS のトップには Si があるので、それと強く bonding しているから、という見解らしい。
CIS、CuGaSe2 の組成を違えて MOVPE 成長させた試料の表面を SEM/EDX や X 線蛍光分光で調べた話。Cu poor になると {112} facet の出た面になる、
つまり組成変化が表面エネルギーの変化の原因である…ということらしい。
東北大川崎先生のところ。高温アニールの p 型 ZnO で、Hall 易動度が 5000 cm^2/Vs @ 100K、440 @ 300K の由。すごいな。
MC と実験で、sputter、CVD のような条件化での shadowing が
表面成長のスケール性に及ぼす影響について調べた話。
これはちゃんと読んでおく必要がありそうだなあ。
常磁性共鳴で MgO 上に着けた Au の結合状態を調べた話。
STM 像をもとに EASYSPIN というパッケージで
EPR のシミュレーション、超微細結合定数の (自由原子からの) 減少は
charge transfer ではなく、むしろ covalent なかたちに軌道が変化するからだとか。
へえ。
とりまとめ役の坪村先生へ提出する、担当分叩き台。
初稿を boss に作っていただいたので、追加して return。
23:00〜24:30。
先にお願いした査読者は辞退された由事務局から連絡があり、
過去の記録・記憶と google 様を頼りに新査読者を選んで事務局へ連絡。
昨日お願いした件
は快諾いただく。ありがたや。
#12
[paper] 今日拾った論文 2 (Wear 260(7-8))
abstract 見ただけ。
鉄の sliding wear を湿度を変えて測った話。
high humidity だと delamination が起こるとのことで、
なんか中間層ができるんでは、というまあもっともらしい話。
#1
[issp] invited 関連
謝罪メール。英語で書くのは (日本語でもそうだけど) 大変気が重かった。
原付。まだ夜は涼しい。
#3
家無線 LAN
どうも内蔵バッテリーが切れたようで、
停電後には時刻を保存しなくなったし、
電波がいまいち弱かったりと色々都合が悪くなってきた。
あと家の Linux 端末として使っている TP600X で PCMCIA 関係の認識が 2.6 系カーネルで刺さっている模様。いっぺんちゃんと upgrade しないとだめか。
発生。やっちまったか？
原付。今日は曇ってそれほど暑くない。
三鷹 3hawks で Buffalo の無線 LAN ホストを購入。
2.5 ページほどを 2h くらいで。
#7
コンプレッサ
以前に買ったところは値上がりしていたので、他の業者さん (3 箇所)
に見積依頼の fax。
#8
[vsj] 夏季大学テキスト
着。松風苑には電車で行くか車で行くか迷うところだ。
2.4 カーネルで起動して有線で繋いで dist-upgrade 中。
あー、どうやら 2.6 カーネルで pcmcia がうまく
drive できてなかったっつーことだけらしい。
原因探索もダルいので、もう 2.4 で使い続けることにする。xorg は上がった。
ということで
shadow.po の update を振っていただいたので、教えてもらった
current
を持ってきてふにふにと作業。
どうも
前に送った
やつが cvs tree には反映されてないみたいなのがナニだけど。
とりあえず武藤さんに教えていただいた msgmerge を使い、
mule-ucs と gettext-el を入れて作業。fuzzy は resolved。
usage の訳が多くて面倒くさいな(苦笑)。
ソースみないとわからなそうなのもいくつか。まあ残りは週末にやるかな。
作業中のやつは
ここ
に置いときます。なんか来週頭には 4.0.18 が出るそうだけど。
#11
[paper] 今日拾った論文 (JJAP p2 45(12-16) JJAP p1(45(3B,4B)))
part2 は weekly になって、一月単位でまとめられることになった模様。
part1 も 4 月から
にしたし、これもまあ日和って 4 月分からということで
(既に 3 ヶ月以上経ってるけど (^_^;)。
part1 の各月 B は Special Issue になったのか。3B は STM/STS の特集号、
4B はこれ SSDM の proceeding なのかな？
200〜500 ℃で原子状水素 (1×10^-6 Torr の水素を 1700℃ の W filament で crack したもの) に晒すと、N polar な表面では In ドロップレットが発生するが、
In polar な膜では生じないのだとか。
南先生。いわゆる RF-DC。水素添加の影響についても。
SiO2 matrix に In を doping しておくと nano-Si の PL 強度が強くなる、という話。
0.46 at.% で max になるとのこと。マルチターゲットからの co-sputter、
N2 雰囲気中 1150℃で 30min アニール。PL の Lifetime はドーピングとともに短かくなる。
#12
[paper] 今日拾った論文 2 (APL 88(16), PRL 96(15), TSF 508(1-2))
TSF は
ICSI-4
の prceeding 号。
SOI 上の Si ベースの pn 接合。その上に SiO2 の cap layer を付け、
Ag islands を撒いたり ZnSe 層を付けて表面プラズモン条件の matching を
取ったりすると出力が enhance される、ということのようで。
でも実用にはなるんかなあ。
(7/28 追記) 7/24 の日刊工業に、同様の構造の Si LED が載ってた。
channel を薄くして擬似的に 2D 構造とすることで、
膜厚方向に量子化させて indirect を direct にしようということらしい。
なるほど。
前に飯村くんが輪講でかけてくれたやつかな。
Aachen Univ, Uppsala Univ のグループの共著で oxynitrides deposition。
N を混ぜるとむしろ O による hysteresis が緩和される、という話。
スパッタした AlN で、ピエゾ特性に効くのは 0002 の鋭さではなく、
むしろ他の面が混ざっていないかどうかだ、という話。
pulse DC @300℃ on Si(100)、高圧 RF on Si 酸化膜 & Pt/Si(100) 基板。
成績が良かったのは酸化膜上のやつ、というところがおもろいな。
porous Si を bio センサーに使えるかどうかを定量的に考察した話。
屈折率変化による cavity の reflectance minimum の移動ですね。
電気化学のノリで Pt 膜を electryte に付け、counter electrode に電圧かけると
Pt 膜自体の抵抗が変わる、という実験。
まあ charge が足りなくなって〜ということでしょうが。
Si(100) 2x1 表面からの Si 2p の微細構造の理論計算。
構造パラメータと energy shift には相関があるから、
光電子分光と計算とを組み合わせると構造解析にもつながるよ、
と言ってるけど。
原付。やや気温が上がっているのを感じる。
#2
家無線 LAN
ターミナル交換。うむ。
原付。曇り気温高。ねむい。
＠
1 限 物性論:
boss の。60 分の試験の割に問題量が多くヘビーだったので、皆最後まで残っていた。
#5
[receipt] 紀伊国屋 BC 2,583 円
#6
購読中止
アスキーと Unix Magazine の定期購読を止め。
レポートの採点表が集まったので、いつものようにふにふに集計して送信。
しかし K 君の平均 9.58 点 (10 点満点中) というのはスゲエな。
うっかり集計スクリプトの出力
(Shift JIS 混じり) をリダイレクトせずに端末に流したら、
Suddenly the Dungeon collapses!! - You die...
というメッセージで screen が死んだ。驚いた。
いきなりネタをバラすと
問: 「ソフトウェア開発」が「モノ作り」でないなら、何なのだ？
答: 「設計」である。
であると。卓見。
取りそびれた人がいるということで、昼ちょっと実験室を開け。
ついでに空調の切れた部屋でファンを盛大に回していた
sc1420 な apserv を部屋に戻って halt。
#10
[paper] 今日拾った論文 (JMR 21(5), APL 88(17))
JMR は特になし。やっぱり mechanical な側面を扱った話が多いな。
CIS の MBE 成長の in-situ 放射光 XRD。
カルコパイライトはサイコロを 2 段重ねたような直方体をしていて、
長軸方向にサイコロ自体が伸びている構造をしているのだが、
そのサイコロ unit の構造 ("CuAl") が metastable として存在し、
伸び軸の方向に歪みがあるのでは、という話。
もし "CuAl" 構造が最終的な膜に残っていたら、solar cell performance
にも影響するのでは、といっている。
豊田中研。窒化亜鉛を酸化して p 型 ZnO を作ろうという試み。
反応性 RF スパッタで Zn3N2 を作り、(おそらく大気圧の) 酸素フロー中で
500〜800℃ のアニールを 60min。Transparent。contact は Ohmic を Au,
Schottky を Al で。んで p 型の Schottky バリアダイオードになったで、つーことらしい。
あと DLOS, XRD, SIMS。本当だったら凄い。
ガラス上にスパッタでつけた 75nm の Ag 膜に、
FIB で系 7.55um (幅 140nm) の円周状スリット (8 の字にふたつ)
を切っておき、裏から波長可変レーザーで照らして NSOM で表面プラズモンを見た話。
綺麗な干渉像。波長を決め、k-E の分散関係が (諸々考慮に入れても)
文献値とは大分違うよ、ということらしい。
UHV スパッタで普通に Si 上に 20um の Cu 膜を付け、
peel して dog-bone にして強度測定。bulk の三倍くらい。
この理由として高密度の twin を考え、
HRTEM で観察、{111} で 成長方向に垂直 (…って GB じゃないの？)、
5nm 間隔くらいのがあるでーということのようで。
16:00〜18:00。
寝ている最中に神田先生が院試監督の件で来室、
ボーっとした頭で受け答えしていたら 1 限の監督になってしまった。
さらに日記へメモの途中、コピペをミスってエントリをやたら増やしてしまった。
というわけで 9/8。
#13
[paper] 今日拾った論文 2 (PRB 73(13-16), PRL 96(16))
Ga ion を diamond 表面に当てたときの SEE の減少を見た話。
energy は 1〜30keV、ion fluence は 〜7×10^11 /cm^2 のと、
ぐっと減らして 2×10^10 のと。
charge up とか、それによる band bending あたりの話を真面目に取り扱っている。
accept 前だったら MgO の paper にも入れておきたいところだったな
(って校訂作業中にはこの論文もう出ていたわけだが…)。
Si(100) を 1keV の Ar+ で (incidence angle 12°) で 240uA/cm^2 で 10 分、
定常状態に達するまで。温度を 300〜550K で変えて拡散の具合を変えて構造を AFM 観察。
低温の方が残る dot のサイズが大きい。
連続体モデルで議論。
adatom, advacancy の hopping 的表面拡散による表面形態 (特に空間波数)
の発展について。離散的アプローチ。しかし難しい。
フタロシアニンの蒸着による表面形態の発展を AFM で観察、
スケーリング解析したもの。
α_loc が介在するいわゆる anomolous な発展を見せる。
島密度が変化せず、そのまま柱のように上方に成長するとして解釈できるとのこと。
磁場中の金属流体は流れの速度に比例した Lorentz 力を受けるが、
その反作用として磁石に及ぶ力を計測して速度を求めましょ、という話。
電磁気のネタ話としておもろそう。
こっちも dist-upgrade、カーネルも久々に更新。
madwifi-source / madwifi-tools がパッケージになっていたので、
README.Debian に従って作業。
linux-source-2.6.17 を展開したディレクトリに 2.6.11 の config を .config としてコピーし、
make-kpkg --revision x31.1 --rootcmd fakeroot --added-modules madwifi kernel_image modules
を実行。
kernel の package は無事できたが、
madwifi の deb は --rootcmd を理解しないというようなメッセージが出たので、
sudo make-kpkg --added-modules madwifi modules
を再度行ったら作成された。dpkg -i でインストール、再起動したら無事認識。
確かに google のヒット数参照は、英作文のときに結構便利だったりする。
楽天の検索結果の安い方から一画面目。
このへんの値段のでも性能的には充分っぽいなあ。
#3
[paper] 今日拾った論文 (RSI 77(4))
これで一応 4 月中に来た alert mail の分は消化。
JVST は丸々残ってるけど…
電子の TOF。ガス向けの XPS 用。凄いな。
エミッシブプローブで Child-Langmuir シースのシースエッジを決定する方法。
axisymmetric OES。Abel/Radon 変換ではなく、
モデル決めといての力技の積分変換。
ま、これは拾っただけ。UHV 仕様の低温 STM。温度ドリフト 2mK/h。
Liq.N2 冷却 LED の junction temperature を計測する LabView システム。
95% 信頼区間が±2K。
原付。へろへろー。気温は低い。
15:30。わはは。
日が出ていたのでちょっと布団干し、
洗濯、風呂掃除、部屋の掃除、
車で出て 2 週間前にクリーニングに出した毛布受けとり…はまだできてなかった。むー。
買い物して帰宅。
#7
[book] 鋼の錬金術師 14
なんだ別人か。
結局 1-5 と再読。あほだ。
さてエレニア記にかかるか、それとも 3 冊揃う 9 月を待ってからの方がいいか。
お譲りします。
全部完結してます。美本ではありませんが、
それほど不愉快な状態でもないと思います。
- エアマスター 1-28
- クロマティ高校 1-18+入学案内
- 課長バカ一代 1-7
- まほろまてぃっく 1-8
- Heaven? 1-6
- えの素 1-9
条件は中野と 1hop の知り合いであること。
直接お会いしてなくても構いません。
基本的に先着順で〆切は金曜日、
買い手がつかなければ来週末に売りに行きます。
対価は要求しません。もしよろしければ何ぞ近場の名物でも送っていただければ、
ということで。
どうも肩の周囲が強張っている。最近体調不良やらで泳いでなかったからか。
原付。晴れ。あまり気温も高くなく爽やか。
やっとか。
オンラインアーカイブ化。素晴らしい。
#5
[paper] 今日拾った論文 (JJAP p1 45(5A), JJAP p2 45(17-19))
うへ no hit。
#6
[paper] 今日拾った論文 2 (JVST A 24(1), B 24(1)
vol.24 見るのは今年初か。いかんのー。
B の後半は Ultra Shallow Doping に関する 8th Intl' workshop からの selected papers。もうこのへん普通に SPM の舞台になってるのね。あとはもちろん SIMS。
TiN の UBM depo と、hollow cathode による電子線投入を組み合わせて
イオン化を図った話。bp 5e-7 Torr, 全圧 30 mTorr、100sccm pure N2。
マグネトロンには DC 0.1A, target 径は 1.3 cm。小さいな。
基板温度 250℃、dc bias -100V。HC にかける 2kV の電圧の duty を
20〜50% に変えて (period は 5msec らしい) 作った膜を比較。
duty 増やすと 002 が立った、という話。組成は測ってないっぽい。
キヤノンのグループ+星先生。普通のスパッタの DC or RF+DC、
facing target の DC、の 3 通りで ITO を作って比較した話。
結果は主として電気特性、酸素組成と抵抗極小の話とか、
基板上の位置に対する依存性とか。まあ FT が均一性に優れる、という結果。
deporate も意外と遜色ない。
MgO の反応性スパッタ。独のグループ。
400×130 の dual magnetoron、power 4kW、65 kHz。
bp 3E-4 Pa、Ar 120 sccm、O2 11〜25sccm で全圧 0.4Pa。
Mg の OES によるフィードバック制御で transition mode を実現、
標準的な膜評価を一通り、ほぼ (111) 配向の膜、回折強度とγに正の相関。
有限要素法による耐摩耗多層膜の設計。Cr/CrN の多層膜で、von Mieses 応力とか横歪みが最小になる条件を GA やらで最適化して求めている…らしい。
基板も A2 steel と 2024-Al とで硬いのと柔らかいの。
FeN の RF 支援スパッタ。
1 turn coil、bp 1E-3 Pa、working pressure 0.1 Pa、
N2/Ar flow ratio=2.8〜16.7 Pa。
基本的に XRD のみ。RF なし→ありにすると、α相→γ相になる、と。
ちょっと諸々粗い気がする。
フォトニック結晶作製時の deep etching 向けマスクとして、
PECVD シリカの代わりに spin コート→ベークして作ったシリカ層を使いましょ、
という話。
#7
武蔵野市民プール
「水道設備故障のため数日間営業停止」だって。とほほ。
ここ
で調べられるようだ。
原付。涼しい。
原付。晴れだが気温はそれほどでも。
たつをさんのところ。
なんとなく「行動」に「実験」を代入してもにそのまま成立するような気がするな。
＠
予備:
お呼びかからず。ねむい。
＠
2 限 基礎化学:
1 年生の必修、172 名の試験。大変だった。
#4
ソファーベッド
日干し・ダニアース処理。
毛布とマットはドライクリーニングへ。8/5 出来とのこと。
編集部会の戻りに取りにいく感じか。
#5
[paper] 今日拾った論文 (JPD 39(15))
No.14 は RSS reader の expiration で取り逃した気もするがまあいい。
ICP プラズマのモデリングと実験比較。
各種反応定数が一覧になっていて便利かも。
O や Cl が混ざってくると、
EEPF はまあまあだけどラジカルや反応種の密度を overestimation してしまうとか。
窒素のマイクロ波プラズマ (1〜20 Torr) 中の原子密度を OES アクチノメトリーによって決めた話。
分子の振動温度を方程式に入れたのこと。
100keV Ar イオン照射前後での MgO の硬度変化の話。
塑性変形が重要になってくる 10mN くらいまでの load での測定。
イオン照射するとヒステリシスがほとんどなくなり、
これは欠陥導入によって plasticity が経ったから、という議論。
塩谷さんから電話、水曜午後に修理品を取付けにきてくださるとのこと。
114 の
IPD ガスケットの在庫確認
(あった) と He の用意をしておくこと > おれ
特集絡みと RFC への返信で数通。
眠いので帰宅。大勝軒で特製中華そば。
以上、11 日分です。
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中野武雄 (NAKANO, Takeo) <nakano@st.seikei.ac.jp>
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