なかのにっき
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突っ込みは各日付の BBS エントリのほか、
メール (nakano@st.seikei.ac.jp) や
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hns - 日記自動生成システム - Version 2.19.5
原付。昼間は暖かいなあ。
#2
よつばとひめくり
今年はここか。
星くんが来てくれたのでベーキング準備。
uhvsp 復活、apt-get 中。
15:30 から弱めのパワーでベーク開始。
うーん、下手すると 1E-1 Pa 台までジャンプするような大きな圧力変動。
どうもリークちうよりは残留物っぽい気がするが…まあ明日分圧計でチェックか。
#4
google calendar
3 月分の入力データが消えているような…
あ、復活した。
査読結果が戻る。Fig.2 にピークの assign を追加せよ、
ということだけだったので、ズババと直してとり急ぎファイルを編集部へメール。
書類は土曜日に持参ということで。
#6
[dept] 大学 Web ページ用データ
提出。ほんとは ReaD のデータも更新せねばなんねんやろがのお。
揃ったので今年度の分を追加。
#8
[paper] 今日拾った論文 (JAP 100(8))
これで 4 ヶ月遅れ。3 月中にあと 1 ヶ月は詰めたいところ。
CCP RF プラズマ中のダストの運動に関する 1D モデル。
particle の charge の transition なども考慮に入れ、振幅や trapping のサイズ依存性など。
ただ、シース電流は Maxwellian を仮定してる式だから、そのへんがどうか。
emissive probe で RF プラズマの dc ポテンシャルを測ったという話。
erosion track の上で 20V くらいのポテンシャル低下が見られ、
これは electron confinement の結果であろうと。
プローブ (といってもサイズは数10〜100um の領域) でマイクロ波をパルス照射し、
試料両端に発生する電位差を見て、局所的な吸収とか電気・熱伝導度を画像化しようという装置らしい。
実験はすでにされていて、熱吸収とか諸々を考察したモデルを作ったのが今回のお話。
Al-Al2O3 (23nm)-Au での breakdown させ、
その後の Ohmic(?) なとこの I-V を見てる話。
最初は空間制限的な電流 (I∝V^2)、
その後 negative resistance な領域、さらにいくと I∝V^n で、
n=3.2@100K, 2.25@300K とか。絶縁領域の不純物準位と絡めた議論。
ちゃんと読んでおきたい気がする…ので、とりあえず印刷して仲田くんの机に置いてみたり(笑)
半導体ナノ結晶の Eg の計算。Penn モデルつーのには
誘電関数が入ってるので単純な量子閉じ込めよりはちょっと難しいけど、
4 年生の人が頑張って理解するのにちょうど良いくらいの話かな。
AlN 単結晶の vapor からの成長について、熱力学的な考察をした話。
薄膜の場合とはちょと違うけど、参考になるやも。
n-Si 使った不揮発メモリの電圧差の幅について、
従来ナノ粒子の配置がランダムとしていた議論に対し、
実際の (CVD の) 生成プロセスを考えると、適当な ordering を持つはず、
だから幅も変わるはず、というお話。実験と良く合うと言ってるが、
従来よりどのくらい改善されたのかはよくワカラン。
原付。ひさびさに松屋。しかし胃にもたれた。
車。VP 経由で。
修理の済んだ RP を積んで大学へ。
構内、ちょうど下校時の小学生の集団の中を通ることになってしまい、
もの凄く気を使って運転した。
表面吸着のあたり。
冷えたので分圧計。H2O が一番大きい。
特にリークという感じではないなあ。うーむ。
ということで全圧計を交換。ちゃんと引けてるっぽい。
こんどこの真空計テストして、駄目なら修理しないとなあ。むー。
program のテーブル化。
成果
。xhtml なので css バリバリになってしまうのがナニ。
#6
ばんめし
M の 3 人と五日市街道西方面のムンタージ。
4 人で各種カレーを share。
あまり辛くなかったけど、それぞれ味が出ていて大変美味かった。
ナンとサフランライスも良し。
なんか夕食後体温が上昇しているような…
#7
[paper] 今日拾った論文 (RSI 77(10))
16th Topical Conference on High-Temperature Plasma Diagnostics の proc が後半に。各種 X 線計測法とかトムソン散乱とか。
PC, PMMA に Au を付けた試料に biaxial stress を繰り返し印加し、
信頼性評価をしようという話。ヒートサイクルのテストが ISO 9022-2 にあるのだそうで、
それの代替も狙っているとのこと。
SEM 観察、表面が荒れてから crack 発生に至る破壊モードが全ての試料で見られたとのこと。
issp, vsj-con, dept 関係でメールしたり刷ったりファイルを配置したり。
つーことでまたやることになりました。
講師紹介割引の用紙があるので、ご希望の方はこっそりご連絡ください。
車。花粉の時期には車で通いたくなるよなあ。
#1
[paper] Google Reader で拾った論文 (PRB75, PSST16)
拾っただけ。
水素飽和した Si 表面をレーザーパルス照射で加熱し、
脱離してできる dangling bond を STM で見て、密度とか separation とかから
拡散の議論をした話。
He+Ar 130Pa に 14uF コンデンサ (1.8kV 充電) を使ったパルスプラズマ。
アーク領域。
OES 測定から Te, ne を見積ったり、ヘアピンプローブに MW 入れた密度測定とか。
駒場生産研にて 10:30 から。
通常業務、自分の速報原稿のチョンボを指摘いただいて大変恐縮する。
続いて特集のネタ出し…だったのだけど、13:10 くらいに失礼させていただく。
シティバンクの支店へ。預金額の 1/4 ずつ米ドルとユーロへ分散する方向で。
メモメモ。
- /etc/fstabで、該当partitionにusrquotaって書く
- 該当パーティションをremountする
- quotacheck -aucと叩く。
- 時間がかかるので、ジャイロボールの投げ方を研究する。
- quotacheckが終わると、aquota.userというファイルができてる。
- edquota -u hogeと叩いて、block数を指定する。
- quotaonを叩く
これだけ。
ちなみに、repquotaで状態がわかる。
同一の設定を他のユーザでも使うなら、edquota -p hoge other_user とする。
NFSサーバ側でrpc.quotadが動かせ。
原付。もう手袋なしで乗れるな。
#2
UHVSP
ちと山本真空の全圧計に合わせてプログラムを改変、
16:30 から (星くんの推奨値にて) ベーク開始。
翌 2:30 まで。ちょっと圧力の上がりが遅いのと、
切ったあとに急降下しないのが嫌らしいが。
まあ明日。
edited & revised, notice sent.
コメントを反映させてメール、郵送準備。
#5
[receipt] amazon.co.jp 945 円
ポイント 1,500 円を使った。考えてみるとアホだな。
む、出るのか。
#1
IVC 申込
とりあえず 2300 chars の abstract を書いて boss と飯村くんに送信。
#2
[labo] 床磨き＆ワックスがけ
うちのフロアは今日だった。まあゆっくり出てくるか。
来たら綺麗になっていた。
原付。うむ疲れた。
昼にヨロヨロと起きて原付。強風で小枝がバラバラと落ちている。
財布の中身が 1000 円を切っていたので(笑)、郵便局でお金を下ろす。
5E-4 Pa、分圧を見るにやはり H2O が高く、
どうもバーチャルリークくさいなあ。
星くんと各所に He をかけてみたが、QIG-066 の LEAK モードには反応せず。
とりあえずもう一度焼いてみる方向で。
やっぱり、温度が一定になった後も圧力が上がり続けるのがキモチ悪い。
今日は適当なところまでを星くんにお願いし、
明日 (人が付いている状態で) ちょっと長く焼いてみる方向で。
修正したりメールしたり fax したり。
このへんの連絡がスムースにいくようにしたいものだが。
やはり wiki とかか？
#7
IVC17 申込
見直して submitted。
受理メールは +misc/4498。
#8
某新依頼
微妙に逃げた(^_^;。
いや、結局負荷は他のひとのところに行くだけなのだが (すみません)。
n→∞のとき、
(-1)^2n
(マイナス1の2n乗)
はどうなるのか。
n が整数だっつー留保がなければ極限値は不定だと思うけどなあ。
(3/6 追記)
なんで (-1)^(ab) を単純に ((-1)^a)^b にできんかというと、
a が 1/m (m 整数) の場合は累乗根になるので、
複素関数の範疇では多価関数になるからか。
しかしこのへん数IIIでやるんかな。
#10
[paper] 今日拾った論文 (PRB 74(13-16))
明日読む。
TMR で MgO に disorder があるときの議論。
界面の intermixing により、実験で得られる TMR の MgO 厚依存性が飽和する特性を説明できる、としている。
Cu 微結晶へのレーザーパルスなどの衝撃波生成によって spallation が起こる現象を
MD で解析した話。shock loading と結晶配向の関係による依存性とか。
韓国 KRISS, KAIST のグループ。
Si を kaufman ion 源 (750eV) で叩き、酸素分圧を 10E-5〜10E-4 くらいのところで
SiOx 膜を成長させ、基板温度を変えて膜の酸素組成を XPS で見た話。
結果ハ吸着・拡散参加の式で説明できるとしている。
水素飽和させた Si(100) を 70, 200, 1000 eV の Ar+ で叩き、
表面にできるアモルファス層を SHG で評価した話。
アモ層表面・界面のシグナルが拾えて、
前者は XeF2 に晒すと消えるとのことで。
原付。引き続き強風。東小金井北口エフエフで晩飯。
#1
[book] 風は山河より 3・4
ちまちま読んでいたのだが、本日風呂にて読了。
あとは今月刊の 5 巻を残すのみ。
作者信玄が嫌いみたいなのは、やっぱり三河の人だから？
原付。交通ルールを (無知によって) 守らない車に数台出会い参る。
停止線を越えて交差点の中に入ったら、対面信号が赤になろうがさっさと脱出しないとだめだろ。
蓋を外して QIG を取る。うーむ。今回はイントロの GV を外して焼いてみる方向で。
11:00 より。待機しつつ論文読み。
指摘を受け、表に罫線の追加。
14:50〜16:20 くらい。
#6
[paper] 今日拾った論文 (TSF 515(3), PRL 97(18), APL 89(18))
TSF は ICMCTF2006 の proceedings。
MgO(001) 上に UHV スパッタで 100nm 厚のエピ Cu 膜が育ったという話。
基板温度 40-100℃。200 ℃にすると多結晶になってしまうそうな。
XRR で評価した表面ラフネスは低温になるほど小さいらしい。
TiO2 の光活性が solid-solid 界面に起因するという主張が最近あったらしく、
mixed phase な TiO2 膜 (たぶん rutile と anatase?) を反応性スパッタで
作るべく条件探索して頑張った、という話。UV でのアセトアルデヒド分解の
成績は、商用の標準 (Degussa P25) よりずっと優れていた、らしい。
PDP セルの新構造の提案。bus 電極を多層にして dielectric に埋め込んだかたち。
なんで多層にしたのかとかの設計ポリシーはあまり書いていあにようで
良く解らないが…。"reference cell" に対して電圧は 10% ほど増加、
電流は半分くらい、輝度は コンパラ〜20% 増くらい。
MgO (111) 基板上へのデポ。UHV チャンバーで、
seed 層は 0.4 Pa 850℃、AIN 層は 1.33 Pa 300℃。N2 流量はわからん。
詳細は ref 11 らしい。4.9K での CL、AlN を付けた bilayre だと
248nm と 350nm に強いピーク、まあバンドギャップとほぼ対応しそう、
とするとこれまでの報告としては一番大きい、とのこと。
#7
[paper] 今日拾った論文 2 (JVSTA 24(6))
UHVSP の圧力が下がってこないので。
豊田工大、川崎重工、名大のグループ。EBEP プラズマ (1E-3〜1 Pa のガスを電子衝撃でプラズマ化したもの) によって SKD61 スチールを窒化させ、硬化させたもの。
UV 吸収による密度評価も。
プラズマエッチングの計算フレームワーク。基本的には分子流の領域でのみ考えている模様。
各種基板 (310 SUS、Invar, Fecralloy) に W を 0.3 Pa (@675K) で付け、
石英管で 725〜1175K で焼いて応力を XRD で評価した話。
えと、reactive なのか？
加熱後の変化から、熱応力とか基板の塑性変形とかを絡めて議論をしているが、
正直あまりピンとこない。
名大佐々木先生のところ、Gao さんが First。YBCO の Cu 密度を LIF で測り、時間と共に変化する (減る)
のでその理由は、という話。酸素を混ぜると変化が抑制される。
ターゲット表面の変化のせいでは、ということ。圧力は 300mTorr くらい。
power を 16 min おきに 10W ずつ 30〜70 W へ上げていってもどんどん減っている。
ふーん。
パキスタンのグループ。
なんかこの dense plasma focus っての見たことあるな。
Ti の oxynitride。
0.45 Pa、3inφ Ti に 450W 25kHz の pulse スパッタ。
組成は ERDA。base が -4 Pa 台のわりには FN2/(FN2+FO2) が 1 になると
ちゃんと O は無くなってるけど。deporate が速いから？
Raman, 透過スペクトル、UV 活性など。
これも佐々木先生のところ、Nafarizal さんが First。 Ti の話。
Trench にバイアスかけて引き込んだとき、
bottom coverage が高圧の方がええで、という結果。
#8
テレホンカード
ちょっと私用の電話をかける必要があって、
やっと 2 度数だけ残っていたテレカを使い切った。
でもまだ 70 度数のが残っているのだった。
これもう財布の中に入ってから 5 年以上経っていそうだけど、
いつまで残っているだろうか。
どうやら圧力も落ち着いたので帰宅。原付。
今晩は冷える。
原付。引き続き寒い。
未明にまた圧力が上昇傾向に。
…どうも RP の油漏れが原因のような気がしてきた。
いちど切って、こないだ直ってきたやつと付け替える方向で。
1h 冷まして QIG チェック、ううやっぱまたガンからのリークか。
これもう溶接とかに替えてもらわないとだめだなぁ。
はあ、がっくり。日曜からやってきが作業がパーか。
どっと疲れた。
一応 RP の交換はしておいた。
いまのやつの油漏れの問題も報告しておくほうが良いかな。
一応動作中と区別するため、下にキッチンペーパー置いて放置。
柴田(雄)くんの最終リハ。まあ大丈夫でしょう。
#5
[paper] 今日は拾わなかった (PRL 97(19), APL 89(19))
両方とも当たらず。気分がダウンだから？
原付。引き続き寒め。
国分寺から四谷〜市ヶ谷〜豊洲から歩いて 9:30 ちょい過ぎに会場入り。
午前の前半は燃料電池のお話。電気化学絡みの話は馴染みがない分難しい…
11:00 から雄介くんを含め 4 件のドライプロセスの話。
雄介くんの発表は very good であった。
質問で詳しい人の突っ込んだ話が出たのでちょいとヘルプ。
終わったところで別れて会場離脱。
そういえば参加費を立て替えてあげるのを忘れてた。
豊洲〜月島〜赤羽橋から歩き、東京タワーのフードコートで昼飯をかっ込んで会場へ。ちょうど 13:00。 5 件聞き、それぞれ講演者の皆さんに原稿依頼の打診含めご挨拶。
今日の講演はスパッタプロパーな話が揃って、どれも大変面白かった。
その他休憩時間・終了後などに金原先生と打ち合わせ、
井上先生にご相談、草野先生・大工原さんにお伺いなどなど。
神谷町から四谷、吉祥寺からバスで。
今日は内海さんの歓送会を兼ねた学科の懇親会があったのだが、
(特に金原先生との打ち合せに) もっと時間が取られるかと思って欠席にしてしまっていた。
結果から言うとちょっと遅刻するくらいで間に合う時間だった。しくったな。
途中から参加するのも幹事の坪村先生にご迷惑かと思い自粛。
メールをチェック、
MgO 用に発注してた電源と USB I/O を仲田くんが受け取ってくれていた。
週末はこれで遊ぶか。
バス電車バス。さすがに疲れた。
全体の草稿が完成
とのことで、とりあえずダウンロードした。
本になったらどうせ買うけど。
原付。VP 経由。
#3
[VP] 勉強会＋打合せ
2-2, 2-3。
表面とは言ってもまだ気体分子運動論のところ。
久々なので時間をかける。
終了後大橋さんと
リークの件
を打ち合わせ。とりあえずはエラストマーで凌ぐ方向で。
というかメタルガスケットを潰すにはネジが柔過ぎだったということか。
適当なタイミングでヘッドを変更して欲しい、という要望を伝えておく。
戻って RP をチェック、油漏れはないので、
やっぱり動作中だけ漏れるみたいだなあ。
これは来週火曜日に持ち込み。
む、すると月曜に車で来る必要があるのか。
明日午前に来て臨時駐車場使用許可を貰わないとだめか。
#4
『薄膜の基本技術』講習会
昨年のスライドが金原先生から。とりあえず ~/text/vsj2007/TFL/ へ。
まあ 10 問くらいを捻り出す方向で。
あと 3 万円。
289 円やら 3,286 円やら 2 円やらの領収書をどうするか。
#6
絶縁破壊計測システム
とりあえず VisualStudio.net のメディアを借り出し。
#7
メールの山
うがー。
処理終わり。もう何通送ったか数えたくもないや。
結局今日他になんもでけへんかった…
1.5M ADSL は
こちら
によれば 1,250 円/月 (税別・以下同様)なのに、
なんで自分への請求は 2000 円/月なのか、と聞いてみた結果教えてもらった。
このページには書いてないけど、nifty フォンなしの (スペシャルでない)
フレッツ・ADSL 契約が2000 円/月なのだそうな。
というわけでスペシャルにすると今より月額で 750 円安くなる
*1
。のでさっくりと変更。
アクセスポイントからのダイヤルアップで課金されるが、
まあ最近はどこのホテルにもネット接続はあるしな。
IP 電話は実質放置で問題ないらしい。
しかしそもそも nifty フォン有りの方が無しよりも料金が安い
(しかもフォンは全然使わなくても OK)
つーのは価格体系として納得できん。
いつから (実質) 過払いしてたんだろうかのお。
こちら
によれば 2004 年かららしい。
すると 750×39×1.05=3万円以上か。nifty め。
同じような人
は全国に山ほどいそうな気がするな。
*1: IP 電話番号の登録料が 7 円/月かかるけど。
#9
引き取り手募集
えっと、両方とも改訂後の版を買ってしまったので自分には不要なのですが、
それぞれお世話になった良本だし高い本だったし、捨てるにはちょっと忍びないので。
自分のわがまま(?)なので送料もこちら持ちで送ります。希望者はご連絡ください。
ということで 2 冊とも引取り先が決まりました。ありがとうございました。
原付。ちょっと降った。
原付。また暖かくなったな。花粉もかなり。
駐輪場から管財課に直行して月曜の駐車場利用申請。
メモ。LaTeX で「内側の list の \topsep が 0 に設定されてしまう」問題。
#4
[labo] 絶縁破壊計測システム
とりあえず常用のデスクトップに Visual Studio .net のインストール。VB だけ。
続いてサービスパック。時間がかかる。
Windows Update 経由での ServicePack3 は 0x652 とかいうエラーで失敗。
ふむ。とりあえず放置。
続いて動作のときに使うであろう HP nx6120 にも。
しかしこのデスクトップは測定ファイルだらけでひでえことになってるな。
#6
[paper] 今日拾った論文 (JAP 100(9)
名大のグループ、
アネルバのイオン付着マススペでシリカエッチング用の大気圧プラズマを見た話。
ちょっと酸素を足したり H2O を足したりするとエッチレートが急上昇するそうで、
質量分析によると HF が生成されてるからではないか、とのこと。
液晶の下地に用いるポリイミドをラビングして異方性を持たせ、
プレチルト角との相関をエネルギー的に議論した話。
滝沢研で昔こういうお話をやってたような。
CIGS の分光エリプソ測定から誘電関数のパラメータを決めた
元論文
に対して、極小がそのまま各パラメータを与えるわけではないよ、
という指摘をしたもの。
産総研の仁木先生たちのグループ。
MBE 成長中に 9E-3 Pa 程度の H2O 蒸気を入れると、
PL では Se vacancy 由来の deep donor-acceptor ペアによる
発光が見えなくなった、ということらしい。
実験的には H2O の導入ってどうやるんだろ。
なかなか純度・制度良く入れるのって難しそうな気がするけど…
CuCl ターゲットから rf スパッタで膜を作るとき、
基板バイアスによって組成制御ができたという話。
負バイアスをかけると Cu リッチに。
CL を取ると、ピークの幅自体は Cl リッチな膜が小さいが、
強度はあまり高くなく、やっぱり stoichiometric なのが良い、
という結論 (という割には強度のグラフがないけど)。
SiO2 中 Si の不揮発性メモリ応用に絡めて、
アニーリングした sub oxide や nc Si/SiO2 を
XPS で見た話。ちゃんと読んでないけど、
結論は界面よりも Si のナノサイズそのものが電荷保持に効いてる、
ということらしいが。
#7
食場向上委員会
いつものすず音で今回は 10 名、相変らず美味しい。
19:00〜23:15 くらい。あっという間の 4h であった。
駅までバス、外口さんと電車で国分寺まで、自分はあとは歩き。
以上、10 日分です。
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中野武雄 (NAKANO, Takeo) <nakano@st.seikei.ac.jp>
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