なかのにっき
最新版はこちら。
突っ込みは各日付の BBS エントリのほか、
メール (nakano@st.seikei.ac.jp) や
フォーム
からどうぞ。
なおスパム除けのため、BBS 機能には
緩い認証を入れて
います。
検索エンジンから来た方は、エンジンの方のキャッシュを見るか、
下の簡易検索を試してみてください。
hns - 日記自動生成システム - Version 2.19.5
sid の flashplugin-nonfree を久々に upgrade したら 9 が入った。
自宅の tp600x は esd なのだが、
こちら
のやりかたで音も出るようになった。
で早速 youtube で
ムーディー勝山
やら
leva's Polka
やらを開いてみたり。わはは。
原付。晴れ。なんかそろろ花粉が飛んできそうな雰囲気。
一件いただいたコメントを反映させて送信。
例によって一括送信スクリプトを走らせるときにはビビる。
結構 450 (Greylisting) な MTA がいるなあ。
無事全員に送られた模様。
風邪・用件などの人を除いて 5 名で 15:00〜17:00。
#5
[paper] Google Reader で拾った論文 (PSST 16(1))
review。swarm 実験から、
プラズマモデリングにとって重要となる各種断面積を求める手法や手順、
またそのデータについて。
磁場中の電子挙動を流体モデルで扱う手法に関するレビュー。
モデリングの例として、
ECR プラズマ、Hall thruster、Galathea trap というのを使ったプラズマ源など。
特に大きな額が必要となる故障などもなかったので、額が余っているらしい。
PC のリプレース (古い一体型の 8 台のうち半分くらい) をしたらどうですか、
と提案してみる。Dell か HP の安いやつ…と思ったのだが、
Dell ってもう Vista モデルしかないの？
#7
[paper] 今日拾った論文 (JAP 100(6))
レーザー吸収のドップラー幅でガス温度を求める場合、標準的なモデルに従うと
Voigt 関数のうちの gauss 成分の幅は吸収が飽和しようと一定のはず
(Lorentz 成分の幅は大きくなるけど)、
だけど実際に測ってみると飽和するあたりから増加している、
それは飽和吸収を与えるレーザー強度が原子の速度に依存し、
それは周波数がずれたところでは大きいはずだから、という議論。
Xe→Mo でのスパッタ粒子の放出角分布、エネルギー分布、っすぱった率測定。
plasma immersion style で energy/mass analyzer 使ってるので、
ちょっと解析が本当に大丈夫なのかなあ、という気もするけれど。
エネルギーが小さいときはかなりの蝶ネジ、
TRIDYN の計算結果と一致する、と言っているけれど。
基板に RF バイアスをかけた場合、実際のイオンエネルギーが
基板のインピーダンスによってどう影響されるか、という話。
陽極化成で作った PS に Ag を蒸着して、PL に Ag-Si ボンド由来の発光があるのでは、
という話。EDS, XPS。しかしこれはどうかなあ。
セルフバイアスがかかってる c-Si(001) への O2 プラズマによるダメージを
分光エリプソで測定、適切な IEDF をもとに TRIDYN で行った計算と比べている。
16 pages 79 refs の力作。ちゃんと読む時間が取れれば読んでみたい気もするけれど。
薄片化した SiO2 に数10MeV の Au+ やら I+ やらを通過させ、
透過後の歪み場を TEM で見た話。
暗視野像だと結構な長さの透過痕が見えている。
超高エネルギーのイオンのそれが電子集団に渡されて起こる現象は
Coulomb explosion と言うのだそうな。
原付。今日は寒いなあ。
原付。VP 経由。
VP を出て大学に向かう途中、連雀通りのサンドラッグの駐車場に右折して入るところでズルっとコントロールが効かなくなってこけた。
前輪のエア抜け。携帯の EZ navi で調べて五日市街道のバイク屋さんへ。
パンクではなく、圧が減ってたところにカーブによる横方向の力がかかったので、
チューブレスタイヤとリムの繋ぎ目から一気に漏れたんでしょう、とのこと。
ちゃんと 2 ヶ月に一回くらいはタイヤ圧を確認しないとね、と言われ大変恐縮する。
今後毎月 1 日はタイヤ圧チェックの日、ということで。
しかし今回も対向車がちゃんと止まってくれて本当に助かったし
(もちろん車間は確認していたけど)、
高速のカーブで制御不能になっていたらと思うとゾッとする。
皆さまもお気をつけください。
プラズマの話。やはり数式を使わない範囲だとグダグダ感が…
大橋さんと話し、RP は修理後 6 ヶ月は保証があるそうなので、
進めていただくようお願いする。
#4
[issp] accepted ほか
ちょいちょいメールが来るので対応。
15:00〜17:00。そろそろ固まった人は固まってきたな。
#6
[paper] 今日拾った論文 (RSI 77(9), PRL 97(13), APL 89(13))
PRL は (ちょっと threshold 上げたけど) no hit。
多価イオンの mass・charge の同定を同時にするためのシステム。
複数の原子が混ざっている可能性があるので、q/m で分けるだけではなく、
当該イオンをターゲットに当てて出てくる電子数を記録しているのがミソ。
XRD 試料用のランプヒータ。4 方向から 150W のハロゲンランプ (と反射ミラー)
で集光するかたちで 2000K。空気中なので使っている TC は B 型 (白金ロジウム)。
van der Pauw 試料に抵抗の不均一性がある場合の考察。
低い方がやばく、高い方はあまり効かないよ、ということらしい。
laser ablation でつけた Ge 膜の雰囲気圧力 (He, 0.1〜10 Torr) とできた膜の porosity について。prume plasma front の TOF OES 測定、
んで kinetic energy の推定、SEM 観察・XRR によるporosity 測定。
まあ圧力が高いと porous になるという (スパッタなどでは) 良くある結果。
PS 層の電気抵抗について、法線方向・接線方向の抵抗をうまいこと測った話。
PS 表面に電極を二つ、裏面の Si 基板にも 1 つ電極をつけ、
こいつを Guard にすると、基板を通らない相関だけの電流を測れる、というわけ。
で、室温付近では抵抗が 6 桁も変化し、数100℃にするとほぼ同じになる。
手法も結果もすごく面白い。
ALD で尽けた HfO2 をアニール (〜1000℃) するとき、
TiN の capping layer があると homogeneous かつ leak の少ない膜ができる、
という報告。理由はあまり。
高温の GLAD で Al whisker が育つという京大鈴木先生の話。
AVS でもお話しされていた内容。
1/12 には更新されていたようなのだが、うまいこと五月雨が拾ってくれてなかった。なんでだろ。
前回
に引き続き大変おもしろい (結論は大人の事情のせいか、ややぼやかされているけど)。
そもそも、高校の学習指導要領で定められた「必修科目」は、履修を義務づけられたものであって、必ずしも単位の修得までを求められたものではない。
なんてのはもう目から鱗すぎる。
武蔵野市立図書館で所蔵してるようなので予約。
電子予約ができるとは知らなかった。すばらしい。
パスワードは秘密日記へ。
星くんが着々と作業を進めてくれ、電気・水道まわりまで完成。
来週卒研が終わったらベーキングまでいけると良いね、という感じで。
原付。おっかなびっくり帰る。
直ったと頭ではわかっているのだが。
宅配で起き、洗濯をして出発。
原付。ボルヴィックの 1.5 リットル 12 本入りケースを運搬。
駐輪場からが重い。
今日も 15:00 から。断続的に 18:00 まで。
ちらほら。まあしょうがない。
#4
[paper] Google Reader で拾った論文 (JPD 40(4))
とりあえず拾っただけー。
E は電場、N は中性粒子数。E/N を reduced electric field というそうな。ふーん。
neon を対象に、そのような E/N 中で Boltzman 方程式から EDF を計算し、
各 cross section から生成消滅・radiation を計算し…というのを self-consistent
に解き、実験で求めた OES と対応付けて E/N を求める話。
東工大の赤塚先生がやられていた (いる) お話に近いのかしらん。
電子ビーム蒸着で Si 上につけた Ta, Mo, Pd, Al 膜の AFM 観察と応力測定。
grain size も AFM で測定。まだ測っただけー、な話かな。
VO2 を flow rate やら基板温度やらガス圧力やらを変えて作った話。
XPS, XRD, SEM。しかし肝心の透過率の温度依存性には、
それほど remarkable な結果は出ていないような。
40 台突入の祝いをしていただく。
予約だったのですぐ入れたが、店の前には結構な行列が。
魚介系の天麩羅が大変美味。しかし天麩羅屋に行くと毎度そうなのだが、
やたら腹いっぱいになった。うー。
吉祥寺まではバス、新宿行き帰り、国分寺から歩き。
国分寺まで歩き、電車バス。
花粉が飛んできているかなあ。
ちょっと遅刻したが 15:00 過ぎから。
20:00 に帰る〜と宣言したら、
みな 19:00 前からワラワラと持ってきて、
結局 20:05 まで。
これは凄い。
個人的には、これは (負×負=正などと同じく)
公理に近いところで理解しなければならない問題だと思っている。
そういう公理論を初学者に教えるのが大変難しいことも
(昔家庭教師をやった経験などから) わかっているのだけど。
あ、
翻訳だった
のか。にしても労作であることには変わりないけど。
#4
買う物メモ
#5
[paper] 今日拾った論文 (PRB 74(9-12))
昨日の JPD も補完。
-20〜20GPa での AlN の構造相転移の DFT 計算。
最終的な温度−圧力相図によると、zinc blend は基本的になく、
高圧になると wurtzite→rocksalt で、低温ほど高圧を必要とする
(500℃だと 16 GPa くらい)。
まあ膜応力がここまで大きくなることはないだろうけど。
Pb の各結晶面における表面 energy, step energy
の DFT 計算。Pb には実験例があるのだそうで (refs 3&4)。
まあ拾ってみただけ。ab initio DFT。構造と吸着エネルギー。
shadowing があるときの mound 構造の形成を、
roughness growth の scaling と絡めて議論した話。
プラズマ CVD の SiN と スパッタした Si を AFM で見て波長と相関長を求めていたり。
Ni と ZrO2(111) 界面 (incoherent) の結合に寄与するエネルギーを第一原理計算したもの。
Ag/MgO とか Cu/MgO とか、coherent, semi-coherent の例もあるが、
incoherent だとどうか、という motivation とのこと。
原子間の相互位置によって結合の様式・エネルギーはいろいろ、
よって壊れ方や強度も強く依存、という、
実験的にはどうすればいいのかやや困ってしまう結論。
元論文
と
authors' reply
。
熱酸化膜の厚さ成長の時間に対する依存性が 1/2 乗であるつーのをどう説明するか、
という話。元論文の仮定では、薄い領域で酸化速度が速いと、酸素分圧への依存性が linear より弱いのを説明できないが、というあたりの議論みたい。
原付。うおお寒い。
#7
ばんめし
ホワイトシチューの材料を買って帰ったのだが、
家の冷蔵庫に牛乳がなかった。水で代替。無念。
読了。感想は 5 巻 (3 月末刊行予定) まで読んでから。
原付。
部屋に寄らずに会場へ直行、10:40〜17:25 くらいまで。
なんか昼食で難民になっている人が多かった。
明日は昼御飯を買ってくる方が良さそう。
ふにふにと編集したり svn ci / svn up したりメールを投げたり。
18:00 から。さて明日はどうなりますかねー。
#6
買う物メモ
味醂、ごまドレッシング、牛乳、ブルーレット詰め替え用。
以上買うた。
原付。つーかーれーたー。
原付。晴れ。
馬場研は 11:50-12:10。先生方からの質問の厳しさのレベルによって受け答えが上手くいった人といかなかった人がいたけれど、
皆しっかりできていたのではないかと。
17:30 終了。お疲れさまでした。
#3
査読依頼
ちょっと知識が充分でないので、
別の方 (大先生で恐縮なのだが) を推薦するかたちで辞退させていただく。
研究室で 18:45〜22:00。ピザを頼みすぎてまた腹いっぱいに。
皆と吉祥寺まで歩き、電車、国分寺から歩き。
結局セルモーターの交換とあいなった模様。
昨日明細と請求がポストに入っていたので、行き掛けに寄ってお支払い。
sunny。国分寺まで歩き、電車、吉祥寺から歩き。
真空排気・ガス導入系まで頑張りましょう、ということで。
例によって作業はほとんど星くんにやっていただくかたちにて。
18:30 に main/intro 両 pump を start。大変お疲れさまでした。
ただ Ar のラインが漏れてるっぽいなあ (^_^;。まあこれは明日。
ちょっとした問題があったが収束したので、
出揃った論文を対象にプログラム編成の議論。
自分は横から口出しするだけなので大変申し訳ない。
#5
[paper] Google Reader で拾った論文 (PRB 75) と記事 (Physics Today 60(2))
2/8 に補足。
poly, amorphous Si へ、15〜30 keV の Si イオンをインプラし、
nano calorimetry で energy release、構造を TEM, raman などで見た話。
しかし酷い悪文で参った。
弾性膜を 3 角格子の mesh でモデル化、stress による剥離を計算した話。
剥離パターンの成長に関するあたりが興味深い。
sheet の座屈、破れなどを幾何学的な側面から概説した話。
一般相対論が出てくるとは思わなんだ。
書評。一般向けの本だけど、web のアルゴリズムを教える大学の授業にちょうど良いくらいだよ、とのこと。
表面エネルギー、接触角、毛管現象。
#6
[paper] 今日拾った論文 (Vacuum 81(3))
まあいずれも取り寄せまではしなくても良いかと。
IPVD Ar→Cu の OES 測定。
ゲージ較正用の MC シミュレーションと実測結果の比較。
少し落ち着いたので再開。ちんたら f400 を 2 本、その前後と合間にダラダラと walk で計 1h。しかし疲れた。
b.p. 142/90, hr 90。
プール経由で直帰。寒い。
sid のマシンで動かしていたのだが、今日 apt-get upgrade したら
/usr/lib/ruby/1.8/htree/template.rb:410:in `eval': undefined method `[]' for #<Presen:0xb6d64028> (NoMethodError)
from (eval):1:in `empty_binding'
from /usr/lib/ruby/1.8/htree/template.rb:301:in `call'
from /usr/lib/ruby/1.8/htree/template.rb:301:in `expand_template'
from /usr/bin/samidare:1643:in `generate_output'
from /usr/bin/samidare:1881:in `main'
from /usr/bin/samidare:1609:in `open_status'
from /usr/bin/samidare:1525:in `open_lock'
from /usr/bin/samidare:1524:in `open'
from /usr/bin/samidare:1524:in `open_lock'
from /usr/bin/samidare:1508:in `times'
from /usr/bin/samidare:1508:in `open_lock'
from /usr/bin/samidare:1602:in `open_status'
from /usr/bin/samidare:1794:in `main'
from /usr/bin/samidare:1920
で動かなくなった。
こちら
のお話と同根かしらん？
sarge マシンではちゃんと動いた。ふむー。
原付。本屋〜郵便局〜武蔵野市民図書館と経由。今日も大変良い天気。
#2
[debian] samba vulnerability
ちょうど研究室に誰もいなくなっていたので upgrade。
難しい。
#4
[paper] 今日拾った論文 (PRL 97(14)), APL 89(14))
Anders 先生が著者に入っている論文。
アーク蒸着での Ar+, Ar2+, Ar3+ のエネルギー分布を Pfeiffer のアレで測った話。
Langmuir probe でプラズマ電位を測り、その分は引いてある。
従来の TOF の結果 (価数が違っても速度は同じ) と異なり、
多価になるほどエネルギーも大きい。
これは多価になると高速のテールが長くなっているので、
ピークと average が linear な関係にないからでは、という議論。
しかし多価イオンに対してエネルギーを与える機構ってなんだろ？
Si にポリスチレンをスピンコートして Ar 中で 1h 1270℃ 熱処理して、
さらに RCA 洗浄をして試料作製。XPS で SiC が見えていて、
XRD だと 3C-SiC だよ、PL で blue に光るよつー話。
excitation スペクトルも取っていて、360nm にピーク。
界面準位が光ってるんでは、と言っている。
glancing incidence の X 線小角散乱で、
Si 上の Ge island 形成を 500〜600 ℃あたりで見た話。
SK の wetting llayer が island 形成によって薄くなるとか、
高温だと interdiffusion が見え、応力緩和に効いてるっぽいとか。
PRL のタイトルを眺めていてふと疑問に思って検索してみた話。
なお、ラチェットに関する説明はファインマンの教科書『ファインマン物理学』 （日本語版、II 巻 21 章） に収録されている[1]。
ですか。
Ar ラインの check。減圧弁を閉じた状態で FC を open にして引いてみると、
最終的に定常状態で 1.3 sccm ほどの flow になっている。
加圧→Snoop では見付からず。
減圧弁のボンベ側を抜いてみることにする。
17:26 で 15MPa から。
うむわかった、フローコントローラ (SFC-280E)
の入口のパーティクルフィルタのようだ。
リーク穴？にエタノールを差したらズガっと流量が増えた。
さてマニュアルどこやったっけ…
あった。しかしフィルタはマニュアルには書いてないな。
VP が付けてくれたんやろか。明日聞くか。
accept list を parse する .pl を書いた。あとはデータが fix したとこで明日。
#8
[VP] 勉強会準備
真空技術士試験向け、表面のあたりを簡単にまとめ。
たまたま自分の上半身が写っている最近の写真
*1
を見た。すっかり膨張している。誰だこれは。
…うう、痩せよう orz
原付。
結構暖かい？
原付。勉強会は中止になったが VP 経由、書店経由。
#2
[labo] フローコントローラ
大橋さんに電話、行き掛けに寄せていただいて構造を伺う。
FC からは VCR オス、それを両側で受ける両メスのナット(？)が
入って Swagelok の変換コネクタ、というところらしい。
んで VCR のところで緩んだのではないですか、というところ。
交換用ガスケットをもらう。
確定したので昨日のスクリプトを expand して作成。
食わせるデータの編集と合わせて 2h くらいでできた。
(invited) を入れるのを忘れててこっそり改版。
あいかわらず詰めが甘い。
#4
[receipt] 紀伊国屋 BC 1,702 円
配管のところは、結局増し締めで止まった模様。
一応 He でリークテスト、-13 A 台だったので大丈夫と思うが。
ベーキングの配線をまたしても星くんにやってもらう。
あとは熱電対の配線とリークバルブの周囲くらいか。お疲れさまでした。
星くんの作業を横目でみつつ黙々と編集。まだ先は長いが。
ボンベの固定作業中の星くんを置いてプールへ。酷いな(^_^;
f400x2 をちょっと真面目に泳ぎ、あとは歩いて計 55min。
まだ腕の筋力で律速されている。
終了ギリギリだったので血圧は測定せず。
原付でプールから直帰。雨に降られた。
バスタオルを巻き付けて家まで。
10:30-12:50＠駒場生産研。ちょっと空模様が怪しかったので今日は電車。
特許の絡みは、企業の部会員の方々から (対象著者に対する)
厳しいご意見をいただき、とても参考になった。
大学のいい加減さ (^_^; とは、やはり大変温度差がある。
早く終わったので大学に寄っても良かったのだが、
水泳の後遺症の倦怠感もあいまって、日和ることにして直帰。
引きこもり。日がなダラダラしていた。
読了。
読了。一ヶ月おきだと、人物名が誰やらわからなくなってきた。
朝日の記事
によれば：
パスワードなどを入力しないと閲覧できない教職員専用のサイトが、自由に見られることに気付いた。調べたところ、管理者の教員が同月２日、トラブルで停止したサーバーを復旧させた際、閲覧を制限するシステムを稼働させていなかったという。
凄くありがちだ。やばいな。というか web に載せてはいかんつーことだろうなあ。
原付。昨日に引き続き凄く良い天気。
#2
入試関連某作業
13:00〜16:30。
晩ご飯のお弁当もいただく。ほかの作業が予定より早く進行して弁当が余ってしまったようで、
「中野さん、お弁当もうひとついらない？」
『(減量を決意したばかりだし) いや、一個でいいっす』
「えーなんでー？」
いやなんでと言われてもな(^_^;
access/accommodation を編集。
#4
[paper] Phys. Rev. Focus 9 Feb. 2007
In their experiment designed to get better electric field data, Gerrit Kroesen of the Eindhoven University of Technology in the Netherlands and his colleagues studied plasma creation between two broad electrodes separated by a few millimeters in a low-pressure xenon gas. During the microsecond-long transit of the ionization front, they shined brief pulses from two lasers into the gap. The first pulse made gas atoms emit fluorescent light, as electrons were excited to higher levels and fell back. The second laser pulse pushed already excited electrons to a still higher level, one whose energy depended upon the electric field.
というあたりがミソ。ほー。
メモ。
f400x3 の合間を walk で埋めて 55min。
今日もギリギリで計測はせず。
原付。そんな寒くない。
妹のお勧め。ピザがパリパリでウマイ、らしい。
原付。今朝はちょっと寒い。
#2
入試業務
15:30 に恙無く終了。お疲れさまでした。
#3
TODO
明日を休みにしたければ今日やっておくべきこと。
-
issp web page を完成させる
まだ完成じゃないけど、明日を休みにして良いくらいは働いただろう(笑)
-
jk の返事 (すっぽかしてしまった)
-
am のサンプル確認→返信
-
卒研生に連絡
…とりあえず蕎麦でも食ってくるか。
#4
Cheap Trick
なんだか初期の
作
品
群
が
remaster されてるみたいだけど、なんかあったんやろか。
#5
セミナー内容
sent。申し訳ありませんでした。
某フォルダを web に載っけて関係者へメール。
#8
[vsj] 総目次テキスト化
サンプルを見て一点追加要望と共に返信。
主として table とその css をチマチマチマチマと編集。
あまり生産的な作業とは言えんなあ。
原付。なんか小雨が。
ということでお休み。しかしなんで今日に限って雨になるかな。
#2
ドライブ (のようなもの)
車で買い物に行ったら、また本屋の駐車場でセルが回らなくなって大変焦る。
一度 JAF に電話するところまで行ったのだが、
40 分と言われて切ったあとに再トライしたら回ったので、そちらはキャンセル。
オルタネータは大丈夫、セルモータも交換した、ということだったので、
単に充電が足りなかったのだろうか。
ということで急遽多摩湖まで往復。天気が良ければねえ。
2h くらいで帰ってきた。
帰って試したら機嫌良くかかるようになっていたけど。
#3
[book] 『どぜうの丸かじり』東海林さだお 文春文庫
帰ってきて読了。田崎真也の解説がちょっと面白い。
#4
ばんめし
キムチ鍋。おじやにするかどうかを悩み中。
…我慢した(笑)
読了。やっぱりこの話は完結しないような気がしてきたよ。
原付。いい天気じゃねえかよちくしょうめ (風は強いけど)。
それはそうと、今日から花粉マスクを装着。
#2
[paper] Google Reader で拾った論文 (PRB 75)
Rutile の (110) は 1000K で 1x1 から Ti リッチな 1x2 への相転移をするそうだが、
その構造を決めた話。絶縁性の問題とかはないのかなあと思ったら、
やっぱり当てっ放しだと画質劣化するので位置をずらしつつ…などということをしてるらしい。
4d 遷移族の窒化物 (zinc-blende 型) でまだできてないやつ (YN, ZrN, NbN, MoN, TcN, RuN, RhN, PdN, AgN) の格子定数、bulk modulus、バンド構造や DOS などを ab initio で計算したもの。
Si/SiO2 向けの MD 計算用多体ポテンシャル。Tersoff と Yasukawa のポテンシャルを拡張したものだそうで。
この話題見るの久々だなあ。
この系の quasi-5x5 インコメ構造で、Si の数を STM で勘定したもの。
nucleation の理解に重要、というのはまさにその通りだ。
depo した量と各構造の面積比から、表面シリサイド層は 0.96 ML の Si と 0.9 ML の Cu からなる、という結論。
いわゆる diffuse scattering の計算。
distorted wave Born approximation という手法を適用して計算した話。
Debye-Waller とか Nevot-Croce とかの、correlation length に依存する因子を使わなくても良くなる、のだそうで。
準結晶の 5 回対称表面での Ag の nucleation (の温度依存性) を STM で勘定した話。
300K までは温度に依存せず、trap site によって決定している、
それ以上のころでは flux 依存性を調べ、レート方程式から
Ag のトラップエネルギーを導出したり。
分子の spin-flip 励起は光では起きないが、Si ナノ結晶を介在させると起きる、
という話。具体的にはポーラス Si にアントラセンを吸着させた系での
PL とその decay の測定。
多方向からビーム入射させたときのスパッタ表面のパターン形成とか不安定性とか。
理論の話。
CVD で作った Si ナノ結晶表面を大気放置したり HF 酸化膜除去したりて、
PL と FTIR を見た話。赤外の方はボンド同定が table になってて参考になりそう。
#3
[dept] 学生実験室の new PC
到着した HP の 2 台を入れてきた。
再編はまた次の機会に。半日作業だろうなあ。
#4
真空解説記事
別刷着。伝票は平野さんへ。
今月はちょっとヤバめの穴が多いとのこと。
#6
[labo] φ114ICF ビューポート用防着板
前のφ70ICF用のやつはマツナミにカバーガラスを切ってもらったんだった。
特注なので 500 枚ロットで、ということだったような記憶。
さすがにそこまでの枚数はいらないので、いつものように
精研硝子
へ見積依頼。φ56, 1〜2t、パイレックス、というところで。
#7
[paper] 今日拾った論文 (PRL 97(15), APL 89(15), JAP 100(7))
透過電顕の回折パターンから Ge の融解・固化を見たもの。bulk の melting point を中心に 470℃の hysteresis。
界面エネルギー (Ge liquid-SiO2, Ge solid-SiO2) の違い、
相転移速度などによってちゃんと説明できる、という結論。
CVD。Si は 47at.%、窒素中で 3h 1100℃。
a-Si と SiO2 だとコントラストが出にくいが、
EELS を electron tomography (ref18) というのを組み合わせると
良い 3D 図が見えるで、という話。ちょっと凄い。
丸じゃなくて捩れたかたちになっているという主張。
JAXA、武蔵工大、Spring-8、東北大、のグループ。
Si の各種化合物の 1s と 2p の chemical shift の差が
誘電率と相関しとるで、という話。
HPPMS, Wuttig 先生のとこ。I∝V^q の係数 q と、deporate の関係について。
電流が大きくなりすぎるとターゲット前の rarefaction (OES で観察)
によってインピーダンスが大きくなる、
また self-sputtering が起こりだす…などによって deporate が伸びなくなる、
という話。
Godyak 先生たちのグループ。
有磁場の RF 放電 (マグネトロンではない) のモデリング。
大変そうだ。
CIGS 試料におけるグレイン間 void を TEM 観察して結晶方位との相関を調べた話。
生成機構としては、平衡条件としても、あるいは void の diffusion-coalesence
のいずれでもありうる、ということらしい。
でまあ {112} 面群がやっぱりエネルギーが低いと。
facet の出方見ててもそうだし、と言っている。
数 nm の Si 酸化膜上への Ag の pulsed arc depo。
adhesion が弱いのをどう改善するか、という目的意識で行われた話らしい。
UPS で valence band と Si 2p を見て、あと表面を AFM で。
バイアスかけた方が一様に nucleation して早く合体し、
smooth な膜になると。
SiO2 と Al に RF 200W, 18W を Ar 0.5 Pa で着け、
211nm 励起の PL と XPS を見た話。
as-depo で 3〜4 eV の PL ピークが。Al2O3 でコートされるからって言ってるけど、
本当かね。
スクリーンショットが欲しいなあ。
いちいちダウンロードして試す根性はちょっと…
目の前をバスが通過していったため歩き電車歩き。
ハンガーノックになり、国分寺あかぎでモツ煮定食。
バスで武蔵小金井、電車歩き。金融機関巡り。
＠
小金井:
昨年いったん売却した REIT を確定申告しなければならないのだが
*1
、購入額がわからなくなっていたので、
日興の小金井支店で証明書を発行してもらう。
ついでに一般口座に転がっている文教堂のもお願い。
＠
吉祥寺:
LBC の請求伝票 3 件の振込。と自分の通帳の記帳。
*1: と言っても損益通算でまだマイナスなので課税額はゼロ(笑)
#3
[paper] 今日拾った論文 (JJAP p1 45(10A, 10B), p2 (42-45))
あれ、p2 の 42-45 は Nov issues なのか。ずれた。
NTT 物性科学基礎研の影島さん。
Si の熱酸化における O の酸化層透過と界面反応の活性化エネルギーが、
計算では低く出るのは O solubility が (実験では) 温度依存性を示さないから。
んでその理由として
O の "trap" があって dissolving energy を非常に低くしているから、
という仮説を提案している話。
NiO 膜を反応性スパッタで作り、酸素流量と
電気化学的性質・エレクトロクロミックの性質との相関を調べた話。
TCO として F doped SnO2 の膜に、total 30sccm, 1.5 Pa, RF 60W, T-S 5cm で
400nm の 膜をつけ、XRD で結晶、Cyclic voltammetry、色変化観察。
O2 流量を増やすと grain が小さくなって EC のときの界面容量が増える、
という結果。
RF 反応性スパッタでガラス上に AlN 着けて AFM と specular の反射率、
diffuse の反射率、透過率の膜厚依存性の測定。誘電関数を一定として、
粗さを考慮した FDTD 計算と比較。
吸収は表面近傍で起こるので粗い方が、つーことらしい。
ただ実験の分光スペクトルを再現できているかというと、やや疑問。
自分らの。まあ一応(笑)
photocatalysis を睨んだ話。Auger 装置の内部で EISEE の測定。
電子をあて続けると TiO2 表面のコンタミがなくなるとか
semiconducting になるとか。
Al 入り MgO のγ と AC-PDP の performance。水分による degradation がないから〜ということらしい。電子放出特性は同じだけど
sputter resistance に優れるとか。ってこれ仲田くんが輪講にかけてくれたやつだったっけか？
こっから 10B。Plasma Processing の special issue。
畠山先生のところ。お馴染のダブルメッシュフィルタで ECR 領域から
エネルギーの制御された N+, N2+ を取り出そうという話。
C60 に attach させるときに critical に効くとのことで。
L-probe, OES, Energy analyzer などの結果。
Ar, Ar/O2, Ar/CH4 などで Al を PMS、absorption で密度を見た話。
電源は MDX 500 って書いてあるけど、これパルスモードあるの？
Density の Power, Pressure deps. 温度も。
平均電力を同じにした運転だと、pulse モードの方が 5〜6 倍の密度に。
これは普通言われてるのとは逆なような？
しかしもうダイオードレーザーで Doppler 幅よりずっと狭いスペクトルが出せるのか。
すごいなあ。
スパッタ放出された Mg の LIF によるモニタリング。
SEM による erosion profile との対応、
Mahalanobis-Taguchi system と呼ばれる (らしい)
電流・電力・発光強度を用いた評価法の妥当性検証など。
SiO2 デポの MD-MC simulation。
動径分布関数とか組成とか配位数とか密度とか。
ふむ。
＠
VHF 大気圧プラズマによる amorphous Si の低温結晶化の話:
埼玉大のグループ
はラマンで観察。プラズマで舐める速度依存性より、
再結晶化は viscous flow で起こる、すなわち solid phase recrystallization
であるとの結論。
阪大のグループ
は RHEED/SEM で観察。atomic H が関与してるかも〜とか温度が〜とか。
さらにベーキンブに向けての作業。
13 日に灯けといた BA ゲージは 3E-7 Pa になってた。ほんとかよ。
いや違え、バルブが閉まってたからだった。
とりあえず仮の VLV 配管、各ポートをメタルへ、
あと熱電対の取り付けまでを星くんにやってもらう。来週にはベークできそうだ。
＠
発注:
昨日 query を出した viewport 用の防着ガラスを精研硝子へ (+misc/4470)。
その用途ならこいつでいいでしょう、ということでテンパックスというガラスを勧めていただいたのでそれで。
VLV に Swage と PT の接続をする三方継手を VP へ (+vp/130)。
イントロのとこのリークバルブ類も追加 (+vp/131)。
学園創始者の中村春二先生の忌日。今年もまんじゅうを頂く。
f400x3 を 7min walkx4 で挟んで 1h。
bp 136/78, hr, 99。
終了後銀華山でメシ。このパターンもひさびさ。
#7
[issp] Author's Guide
プールを挟んで編集。はぁはぁ。
こんど聞いてみるかなあ。
原付。マスクしなかったら花粉の諸症状がきつい。
寒いのに。
どうも朝食以降腹に膨満感があるなあと思いつつ昼寝したら、
夕方起きたときに激しい下痢、ますます悪化して 1h おきに。
経口水分がすぐに出てしまう感じで脱水症状チックに。
不意打ちだったので全く用意がなく、
ビオフェルミンを投入した以外は
ひたすらチビチビ水を飲みつつ朝まで我慢。
休日診療の医者を探す根性もなく、
いなげやまで原付でヨロヨロと出かけてヨーグルトを大量購入、摂取。
1h おきが 3h おきに改善したが、便の状態は変わらず。
ISSP の幹事会に病欠のメール。
このまま医者に行かずに放置したらきっと死ぬなあ…などとぼんやり考える。
若松医院へ。例によって腸炎だろう、水分は茶でとれ、
繊維質を避けよ、とのことで。
昼食に赤いきつね。異常に味を濃く感じる。他はヨーグルトと黒糖かすてら。
便は徐々に回復傾向だが、どうも胃のあたりに痛みというか気持ち悪さが。
研究室各位に暫く休む旨メール。
体重計に乗ったら -5kg。おお。
6:00 にヨーグルトとかすてらと投薬、
13:00 にやっと少しまともなものを食べる気力が出て、
クタクタに煮た袋ラーメン＋投薬。下痢は止まった？
晩はおじや。
そろそろ出ていかないと色々シャレにならないのだが、
風呂に入って洗濯をしたら、本気で立ち眩みがして
その場にしゃがみ込んだまま動けなくなったのでもう一日休み。
あたりまえだがえらい体力が落ちている。
ようやく床上げ。原付にて。もうだいぶ春っぽいのお。
明日公開というメールを著者の皆さんには送ってあるので作業。
- program ページ準備
- 著者に出すメールの準備
- 日本語ページの準備
というところまでで 6h くらいか。はぁはぁ。
体力がなくて作業が続かねえ。
#3
下痢止め
今回処方してもらったのは
フェロベリンA
であった。してみると原因は流感じゃなくて
土曜の朝に食った某セ○フーのポテトサラダあたりなのか…？
あとあれか、
胃がむかつく
のはやっぱり副作用か。
#4
[paper] Google Reader で拾った論文 (PSST, PRB)
まだ読めないが。→26 日に読んだ。
基板への RF バイアスで ion energy を制御するとき、
波形を任意に制御できれば良いよね、という背景のもと、
波形のフィードバック制御を行っている話。基本波は 500kHz くらい。
リニアなやつでなく、Vin(n+1) = Vin(n) (Videal/Vout(n))^1/2
という制御が (パルス状の三角波では) 成績が良かった、との結果。
R 面サファイア上に成長させた 200 配向の VO2 で、
photo induced な ΔR とその time transition を測定した話。
C 面サファイア (twin 多し)、シリカでの結果も (あまり出なかったらしい)。
O vacancy、lattice disorder が悪影響を及ぼすとのことで。
これもほんとは今日が申請の締切だったんだけど(泣)。
*1
とりあえず業績のところを update…したところで限界に達ス。
原付。花粉も飛んでるな。
奥村先生
によれば e-Tax よりお勧めらしい。
断続的に雨のためバス電車バス。若松医院で 6 日分の薬をもらう。
#3
眼の誕生
武蔵野市立図書館で借りて 4 章までは読んでたんだけど、
期限が来た
*1
ので昨日の帰り際に夜間ポストに返却。
おもしろかったけど、物理っぽい光学を議論していたところには、
ややツッコみどころがなくもがな。また借りよう。
*1: さすがに体調不良の間に読めるほど柔らかい内容でもなく。
#4
[labo] 特別研究費申請関係
パルス電源を物色してみる。
あたりが引っかかったので、
一部に電話して聞いてみた。
1kV-1kW, 50kHz モデルで、
まあざっくり 100〜150 万といったところみたい。
作文して boss へ。うーんちょっとピンボケではあるのお。
提出。はぁはぁ。
う、前回分の報告書も出さねばなんねんのか。うげげ。
つーことで大きめの更新。リビジョン 51。
その後チマチマ直してリビジョン
54
55 まで。
メール発射。直前にアホな大バグに気付いて冷汗。もう大丈夫だろうなオイ (ドキドキ)。
むむ Sender アドレスに返信が。Reply-To 指定しとくべきだった。
exhibit 関係。到着順でなく alphabetical order にせんならんようなので
perl script 書き。~/bin/isspexhibit で日本語英語全部生成するようにした。
もうちっと苦労するかと思ったが意外と簡単にできたな。
VLV 回り。大橋さんに fax + mail。
伝票分の見積も到着したので、年度予算の finish をせねば。
バス電車、国分寺からタクシー。
運転手さんとの車中の会話は今回の病気の自慢。
メモメモ。
しかしフラーレンとかナノチューブとかってのはやっぱり有機になるのかなあ。
#2
NITTU 宅配サービス
ペリカンはどうにも再配達依頼の自動受付電話がトロいので web を申し込んでみることに。
「キーワード」は秘密日記へ。
issp2007.org に使ってみた。
linkchecker index.html
ってやるだけ。直感的で大変よろしい。
#4
ゼロックスカップ
後半だけ見た。久々にチンチンにやられるレッズを見たな。
4 点目の起点になった遠藤のルーレットは素晴らしかった。
車で出てみた。やっぱりエンジンがかかりにくい。
- 家から出てすぐ止めた店でかかりにくい
- 時間を置いて数回トライすると (最後には) かかる
- 10km くらい走った後は、止めても普通にかかる
というのは何が原因か？
ちなみにかからなくなったのは小金井大勝軒。
やっとこのへんのものが普通に食えるようになった。うまかった。
yoosee さんのとこ
で紹介されてたブログの
とあるエントリ
*1
を見ていて、
［注記 この辞典がいいのは、第一に、いかにも英語の先生という感じの作文的訳文が多い類書と異なり、きちんとした通りのいい日本語が使われていること、そして第二に、書き言葉で使われることが多いのか、話し言葉で使われることが多いのか、また、いずれかだとして、その出現頻度（例えば頻出最上位2000単語内）はどうかまで示されていることです。第二点のおかげで、英和辞典なのに、書く時に頼りになるというメリットがあります。例えば、Sales fell significantly? substantially? と迷った際、この辞典を引けば、どちらもW3と表示してあるので、書き言葉の最頻出単語3000語内に入っているおり、互角だから、どちらを使っても通りがいいと安心できます］
というあたりで大変欲しくなる
(ちなみに今はこのへんは google に頼っている)。
おお、出たのつい最近 (2/7) なのね。しかしさすがにまだ紙版しかないのか。むー。
まあ安いし買っちまうかなあ。
*1: まあ confirm と verify は理系の頻出語なので本筋はあたり前の内容だったが。
調子に乗ってたらまた腹具合が悪くなったので今週末も連休、
うどんとか粥とかで自重。
掃除、室内干しのためのロープ増設、洗濯。
やっと年賀状も db につけて始末した。つかれた。
#2
[book] ローマ人の物語 15
やっとこさ読了。明日が返却期限だから、まるっと一ヶ月借りっぱなしだったのか。
次の人に悪いことしたな。
正直この巻は面白くない。巻末で著者も書いていたが、
ローマの衰亡期 (11巻以降) については「理由」ではなく「事実」を
淡々と記述するのに終始しているからだろう。
単体の文章についても引っかかるところが多くなったような気がしたのは、
自分が変化したのか著者が変化したのか。
まあ 15 巻完結お疲れさまでした、というところ。
原付。超立体マスクは今年から鼻のところにワイヤーが入った。
書いて boss に見せて提出。
その足で図書館で本返却、ブックセンターで雑誌 get。
#3
[receipt] 紀伊国屋 BC 2,583 円
#4
[paper] Google Reader で拾った論文 (JPD40)
こないだ拾ったやつ
も補完。
eb コデポ+酸素プラズマ支援の Nb2O5/SiO2 な Rugate フィルタ。
作製時の in-situ モニタリング→制御。
開始直後のとこを再構築するあたりがキモの模様。
#5
[paper] 今日拾った論文 (PRL 97(16), APL 89(16), Vacuum 81(4), JMR 21(9,10))
APL は週刊誌なのに 100 本以上。
つーか各論文を読んでても、
どうも acceptance の threshold が下がってる気がするのだが。
まあ status のある雑誌だから投稿が殺到するのはしょーがないんだろうけど。
ライデン大のグループ。
問題意識はナノ研の一連の話と似ている。
韓国 KAIST のグループ。
Ar CCP で周波数を 9, 13.56, 27.12 MHz と変えて (電力は一定)
ラングミュアプローブ測定。ne, EEPF。
周波数が大きいと Te 大、collisional heating が聞くからでしょうという議論。
ZnO の RF スパッタ。sol-gel ZnO 上の方が、ガラスに直接よりも c 軸配向が良くなったと。
チェコのグループ。
ポリイミドの RF スパッタ。自己スパッタモードでも付いたらしいが。
Musil さん。DC-UBM。
ターゲットで混ぜたらしい。mechanical な方面。
締切は 3/2。今回は座長を仰せ付かったので、
割引などありますかーという図々しい query を事務局へ送ってみる。
む、表協の事前申込も 28 日までだったか。危なかった。
発送。この日記を見ててメールが届いてない人は、
中野まで連絡してくださいまし。
例年通り、成蹊桜まつり (4/1) の 15:00 くらいに研究室集合つーことで。
原付。おお寒い。
東小金井の富士ランチで晩飯。
#1
今日の TODO
-
職員証の写真 (3cm×4cm) 撮って提出
-
NC へ電話
-
CB へ電話
-
確定申告関係書類を大学に集積する
-
LBC の振替依頼書を郵送
-
表協の事前申込
原付。東小金井フォトリバースで写真撮影。
discount は無かった。わはは。
ということで申込。番号・パスワード等は秘密日記へ。
返信メールは +misc/4479,4480。
申込書を fax。
郵便局で参加費を振込。
録音した番組は本体で楽しむほか、用意されたUSBでPCへ転送可能。また、USBホスト機能を備えており、録音した番組を同社製ICレコーダーなどUSBホスト対応機器へPCなしで転送できる（対応する同社製ICレコーダーについては同社Webサイトに対応表が掲載されている）。PCとの接続時にはUSBマスストレージとして認識され、PCのHDD内にあるMP3とWMAを転送し、本製品で聞くこともできる。付属ケーブルを利用したダイレクトエンコーディングも行える。
これだ、という感じか？
歩きで人事課〜郵便局〜ブックセンター〜事務室。
今日は平野さんがお休みだった。伝票関係は明日か。
#7
確定申告関係
＠
関係書類:
発掘。また沈んでいた。
＠
申告書作り:
こちら
より。おー、これは確かにカンタンだ。
データは ss18.data、申告書は ss18.pdf、それぞれ ~/etc/Tax/ に保存。
雑所得の源泉徴収分だけ還付、というのは昨年の通り。
印刷してハンコ押した。明日の行き掛けに提出すっかな。
#8
[labo] パルス電子 松崎さん来研
こないだ query を出した
ところのひとつ。電通大に来たので寄っていいですか、
という電話があり、16:30〜17:00 くらい。
こちらの要望について、先方の実績についてもろもろ。
なんで俺がやるんじゃと思いつつ英作文。
#10
[paper] 今日拾った論文 (APL 89(17), PRL 97(17))
これも KAIST、
昨日拾ったの
と同じグループ。
9MHz, 13.56MHz, 19MHz 0.6A の場合の EEPF の pressure 依存性。
低圧で bi-Maxwellian になるので加熱機構の議論。
まあ確かに微妙に違うんだけどなんだかなあ。
TAMU の Kuo 先生。
TFT のゲート絶縁層のとこに SiNx/a-Si:H/SiNx のサンドイッチを使い、
a-Si 層の電荷蓄積でチャネルのコンダクタンスに on/off を実現できるという話。
原付。マスクをしていても花粉がきつい…
#2
今日の TODO
持ち越し分＋α
-
武蔵野税務署で確定申告書を出す
-
可能ならターボ発注して年度予算 fix、VP へ連絡。
-
揃ったら卒修論の abstract 編集掲載
原付。申告書出してきた。ガラすき…というか、
提出するとこには誰も並んでいなかった。
控えはデータがあるからいいやと思って印刷しなかったのだが、
受理の印を押してもらえるようなので、刷っておけばよかったな。
#4
[labo] MgO ミーティング
仲田くん、boss と ISSP に向けて、およびそれ以降についての議論を
13:30〜14:00 くらい。
菅原くんの測定のデータ補完、組成データを出しておこう、
石英基板で分光特性を取ってみよう、絶縁破壊測定は自動化しましょう、
というあたり。
＠
電源:
というわけで物色、
かなあ、という感じで。CC/CV sens について高城さんに相談のメール。
しかし安くなったよなこのへんの電源。
＠
制御:
うだうだ考えるより
こんなの
を買っちゃった方が簡単か？
高城さんから
Lifetron
という会社も教えていただく。ふむふむ。
#5
[receipt] 紀伊国屋 BC 7,088 円
- ロングマン英和辞典
- ロングマン現代英英辞典 4訂増補版
ということで買ってしまった。
あー、そうだ RP 買ってたんだっけ…やはりターボは今年度ではダメか。
ということで移動して各予算の残り埋め。パズルだ。
#7
[paper] 今日拾った論文 (JVSTA 24(5), JVSTB 24(5))
機械振動型の全圧計。粘性ではなく、振動ドライバで torsion balance の一部を隠すことで、圧力そのものを評価しようという原理らしい。
10^-4 Pa まで測定できた、とのこと。
GaAs をターゲットに、Ar+窒素 (全圧 1Pa) を導入して標記化合物混晶を作ろうとした話。b.p 5E-6Pa, gas purity は 5N。AFM, Raman, optical absorption による gap
の評価。
東北大のグループ。closed な YSZ 管の外側を真空にしておいて
内側に Pt ペースト塗布、真空側に置いたメッシュで extract、という構成。
YSZ を加熱して電圧かけると O- イオンが出てくるよ、という話。
absorption/desorption の rate 式で整理できるとか。
Kushner 先生らによる計算。Cu のホローカソード magnetron による IPVD の話。
ionization fluction、flux, density などなどの圧力依存性とか。
MOS のゲート金属をスパッタでつけ、欠陥密度と製膜条件の相関とか。
えっと、"the new sputtering technology" ってのが度々出てくるんだがこれなんだ？
違うやり方 (アーク方面でイオン化促進を意識してるみたいだが詳細不明)
でつけた TiN 膜の XRD やら SEM やらによる構造評価と Cl2 によるエッチング速度との相関。
うはー。
まあ天網恢恢(以下略)というところかのお。
なんだかんだで渉外係。とほほ。
原付。うおお寒い。
なんか無性に食いたくなって国分寺あかぎにてサバミソ定食。大変うまかった。
以上、28 日分です。
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中野武雄 (NAKANO, Takeo) <nakano@st.seikei.ac.jp>
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