なかのにっき
最新版はこちら。
突っ込みは各日付の BBS エントリのほか、
メール (nakano@st.seikei.ac.jp) や
フォーム
からどうぞ。
なおスパム除けのため、BBS 機能には
緩い認証を入れて
います。
検索エンジンから来た方は、エンジンの方のキャッシュを見るか、
下の簡易検索を試してみてください。
hns - 日記自動生成システム - Version 2.19.5
sid の flashplugin-nonfree を久々に upgrade したら 9 が入った。
自宅の tp600x は esd なのだが、
こちら
のやりかたで音も出るようになった。
で早速 youtube で
ムーディー勝山
やら
leva's Polka
やらを開いてみたり。わはは。
原付。晴れ。なんかそろろ花粉が飛んできそうな雰囲気。
一件いただいたコメントを反映させて送信。
例によって一括送信スクリプトを走らせるときにはビビる。
結構 450 (Greylisting) な MTA がいるなあ。
無事全員に送られた模様。
風邪・用件などの人を除いて 5 名で 15:00〜17:00。
#5
[paper] Google Reader で拾った論文 (PSST 16(1))
review。swarm 実験から、
プラズマモデリングにとって重要となる各種断面積を求める手法や手順、
またそのデータについて。
磁場中の電子挙動を流体モデルで扱う手法に関するレビュー。
モデリングの例として、
ECR プラズマ、Hall thruster、Galathea trap というのを使ったプラズマ源など。
特に大きな額が必要となる故障などもなかったので、額が余っているらしい。
PC のリプレース (古い一体型の 8 台のうち半分くらい) をしたらどうですか、
と提案してみる。Dell か HP の安いやつ…と思ったのだが、
Dell ってもう Vista モデルしかないの？
#7
[paper] 今日拾った論文 (JAP 100(6))
レーザー吸収のドップラー幅でガス温度を求める場合、標準的なモデルに従うと
Voigt 関数のうちの gauss 成分の幅は吸収が飽和しようと一定のはず
(Lorentz 成分の幅は大きくなるけど)、
だけど実際に測ってみると飽和するあたりから増加している、
それは飽和吸収を与えるレーザー強度が原子の速度に依存し、
それは周波数がずれたところでは大きいはずだから、という議論。
Xe→Mo でのスパッタ粒子の放出角分布、エネルギー分布、っすぱった率測定。
plasma immersion style で energy/mass analyzer 使ってるので、
ちょっと解析が本当に大丈夫なのかなあ、という気もするけれど。
エネルギーが小さいときはかなりの蝶ネジ、
TRIDYN の計算結果と一致する、と言っているけれど。
基板に RF バイアスをかけた場合、実際のイオンエネルギーが
基板のインピーダンスによってどう影響されるか、という話。
陽極化成で作った PS に Ag を蒸着して、PL に Ag-Si ボンド由来の発光があるのでは、
という話。EDS, XPS。しかしこれはどうかなあ。
セルフバイアスがかかってる c-Si(001) への O2 プラズマによるダメージを
分光エリプソで測定、適切な IEDF をもとに TRIDYN で行った計算と比べている。
16 pages 79 refs の力作。ちゃんと読む時間が取れれば読んでみたい気もするけれど。
薄片化した SiO2 に数10MeV の Au+ やら I+ やらを通過させ、
透過後の歪み場を TEM で見た話。
暗視野像だと結構な長さの透過痕が見えている。
超高エネルギーのイオンのそれが電子集団に渡されて起こる現象は
Coulomb explosion と言うのだそうな。
原付。今日は寒いなあ。
原付。VP 経由。
VP を出て大学に向かう途中、連雀通りのサンドラッグの駐車場に右折して入るところでズルっとコントロールが効かなくなってこけた。
前輪のエア抜け。携帯の EZ navi で調べて五日市街道のバイク屋さんへ。
パンクではなく、圧が減ってたところにカーブによる横方向の力がかかったので、
チューブレスタイヤとリムの繋ぎ目から一気に漏れたんでしょう、とのこと。
ちゃんと 2 ヶ月に一回くらいはタイヤ圧を確認しないとね、と言われ大変恐縮する。
今後毎月 1 日はタイヤ圧チェックの日、ということで。
しかし今回も対向車がちゃんと止まってくれて本当に助かったし
(もちろん車間は確認していたけど)、
高速のカーブで制御不能になっていたらと思うとゾッとする。
皆さまもお気をつけください。
プラズマの話。やはり数式を使わない範囲だとグダグダ感が…
大橋さんと話し、RP は修理後 6 ヶ月は保証があるそうなので、
進めていただくようお願いする。
#4
[issp] accepted ほか
ちょいちょいメールが来るので対応。
15:00〜17:00。そろそろ固まった人は固まってきたな。
#6
[paper] 今日拾った論文 (RSI 77(9), PRL 97(13), APL 89(13))
PRL は (ちょっと threshold 上げたけど) no hit。
多価イオンの mass・charge の同定を同時にするためのシステム。
複数の原子が混ざっている可能性があるので、q/m で分けるだけではなく、
当該イオンをターゲットに当てて出てくる電子数を記録しているのがミソ。
XRD 試料用のランプヒータ。4 方向から 150W のハロゲンランプ (と反射ミラー)
で集光するかたちで 2000K。空気中なので使っている TC は B 型 (白金ロジウム)。
van der Pauw 試料に抵抗の不均一性がある場合の考察。
低い方がやばく、高い方はあまり効かないよ、ということらしい。
laser ablation でつけた Ge 膜の雰囲気圧力 (He, 0.1〜10 Torr) とできた膜の porosity について。prume plasma front の TOF OES 測定、
んで kinetic energy の推定、SEM 観察・XRR によるporosity 測定。
まあ圧力が高いと porous になるという (スパッタなどでは) 良くある結果。
PS 層の電気抵抗について、法線方向・接線方向の抵抗をうまいこと測った話。
PS 表面に電極を二つ、裏面の Si 基板にも 1 つ電極をつけ、
こいつを Guard にすると、基板を通らない相関だけの電流を測れる、というわけ。
で、室温付近では抵抗が 6 桁も変化し、数100℃にするとほぼ同じになる。
手法も結果もすごく面白い。
ALD で尽けた HfO2 をアニール (〜1000℃) するとき、
TiN の capping layer があると homogeneous かつ leak の少ない膜ができる、
という報告。理由はあまり。
高温の GLAD で Al whisker が育つという京大鈴木先生の話。
AVS でもお話しされていた内容。
1/12 には更新されていたようなのだが、うまいこと五月雨が拾ってくれてなかった。なんでだろ。
前回
に引き続き大変おもしろい (結論は大人の事情のせいか、ややぼやかされているけど)。
そもそも、高校の学習指導要領で定められた「必修科目」は、履修を義務づけられたものであって、必ずしも単位の修得までを求められたものではない。
なんてのはもう目から鱗すぎる。
武蔵野市立図書館で所蔵してるようなので予約。
電子予約ができるとは知らなかった。すばらしい。
パスワードは秘密日記へ。
星くんが着々と作業を進めてくれ、電気・水道まわりまで完成。
来週卒研が終わったらベーキングまでいけると良いね、という感じで。
原付。おっかなびっくり帰る。
直ったと頭ではわかっているのだが。
宅配で起き、洗濯をして出発。
原付。ボルヴィックの 1.5 リットル 12 本入りケースを運搬。
駐輪場からが重い。
今日も 15:00 から。断続的に 18:00 まで。
ちらほら。まあしょうがない。
#4
[paper] Google Reader で拾った論文 (JPD 40(4))
とりあえず拾っただけー。
E は電場、N は中性粒子数。E/N を reduced electric field というそうな。ふーん。
neon を対象に、そのような E/N 中で Boltzman 方程式から EDF を計算し、
各 cross section から生成消滅・radiation を計算し…というのを self-consistent
に解き、実験で求めた OES と対応付けて E/N を求める話。
東工大の赤塚先生がやられていた (いる) お話に近いのかしらん。
電子ビーム蒸着で Si 上につけた Ta, Mo, Pd, Al 膜の AFM 観察と応力測定。
grain size も AFM で測定。まだ測っただけー、な話かな。
VO2 を flow rate やら基板温度やらガス圧力やらを変えて作った話。
XPS, XRD, SEM。しかし肝心の透過率の温度依存性には、
それほど remarkable な結果は出ていないような。
40 台突入の祝いをしていただく。
予約だったのですぐ入れたが、店の前には結構な行列が。
魚介系の天麩羅が大変美味。しかし天麩羅屋に行くと毎度そうなのだが、
やたら腹いっぱいになった。うー。
吉祥寺まではバス、新宿行き帰り、国分寺から歩き。
国分寺まで歩き、電車バス。
花粉が飛んできているかなあ。
ちょっと遅刻したが 15:00 過ぎから。
20:00 に帰る〜と宣言したら、
みな 19:00 前からワラワラと持ってきて、
結局 20:05 まで。
これは凄い。
個人的には、これは (負×負=正などと同じく)
公理に近いところで理解しなければならない問題だと思っている。
そういう公理論を初学者に教えるのが大変難しいことも
(昔家庭教師をやった経験などから) わかっているのだけど。
あ、
翻訳だった
のか。にしても労作であることには変わりないけど。
#4
買う物メモ
#5
[paper] 今日拾った論文 (PRB 74(9-12))
昨日の JPD も補完。
-20〜20GPa での AlN の構造相転移の DFT 計算。
最終的な温度−圧力相図によると、zinc blend は基本的になく、
高圧になると wurtzite→rocksalt で、低温ほど高圧を必要とする
(500℃だと 16 GPa くらい)。
まあ膜応力がここまで大きくなることはないだろうけど。
Pb の各結晶面における表面 energy, step energy
の DFT 計算。Pb には実験例があるのだそうで (refs 3&4)。
まあ拾ってみただけ。ab initio DFT。構造と吸着エネルギー。
shadowing があるときの mound 構造の形成を、
roughness growth の scaling と絡めて議論した話。
プラズマ CVD の SiN と スパッタした Si を AFM で見て波長と相関長を求めていたり。
Ni と ZrO2(111) 界面 (incoherent) の結合に寄与するエネルギーを第一原理計算したもの。
Ag/MgO とか Cu/MgO とか、coherent, semi-coherent の例もあるが、
incoherent だとどうか、という motivation とのこと。
原子間の相互位置によって結合の様式・エネルギーはいろいろ、
よって壊れ方や強度も強く依存、という、
実験的にはどうすればいいのかやや困ってしまう結論。
元論文
と
authors' reply
。
熱酸化膜の厚さ成長の時間に対する依存性が 1/2 乗であるつーのをどう説明するか、
という話。元論文の仮定では、薄い領域で酸化速度が速いと、酸素分圧への依存性が linear より弱いのを説明できないが、というあたりの議論みたい。
原付。うおお寒い。
#7
ばんめし
ホワイトシチューの材料を買って帰ったのだが、
家の冷蔵庫に牛乳がなかった。水で代替。無念。
読了。感想は 5 巻 (3 月末刊行予定) まで読んでから。
原付。
部屋に寄らずに会場へ直行、10:40〜17:25 くらいまで。
なんか昼食で難民になっている人が多かった。
明日は昼御飯を買ってくる方が良さそう。
ふにふにと編集したり svn ci / svn up したりメールを投げたり。
18:00 から。さて明日はどうなりますかねー。
#6
買う物メモ
味醂、ごまドレッシング、牛乳、ブルーレット詰め替え用。
以上買うた。
原付。つーかーれーたー。
原付。晴れ。
馬場研は 11:50-12:10。先生方からの質問の厳しさのレベルによって受け答えが上手くいった人といかなかった人がいたけれど、
皆しっかりできていたのではないかと。
17:30 終了。お疲れさまでした。
#3
査読依頼
ちょっと知識が充分でないので、
別の方 (大先生で恐縮なのだが) を推薦するかたちで辞退させていただく。
研究室で 18:45〜22:00。ピザを頼みすぎてまた腹いっぱいに。
皆と吉祥寺まで歩き、電車、国分寺から歩き。
結局セルモーターの交換とあいなった模様。
昨日明細と請求がポストに入っていたので、行き掛けに寄ってお支払い。
sunny。国分寺まで歩き、電車、吉祥寺から歩き。
真空排気・ガス導入系まで頑張りましょう、ということで。
例によって作業はほとんど星くんにやっていただくかたちにて。
18:30 に main/intro 両 pump を start。大変お疲れさまでした。
ただ Ar のラインが漏れてるっぽいなあ (^_^;。まあこれは明日。
ちょっとした問題があったが収束したので、
出揃った論文を対象にプログラム編成の議論。
自分は横から口出しするだけなので大変申し訳ない。
#5
[paper] Google Reader で拾った論文 (PRB 75) と記事 (Physics Today 60(2))
2/8 に補足。
poly, amorphous Si へ、15〜30 keV の Si イオンをインプラし、
nano calorimetry で energy release、構造を TEM, raman などで見た話。
しかし酷い悪文で参った。
弾性膜を 3 角格子の mesh でモデル化、stress による剥離を計算した話。
剥離パターンの成長に関するあたりが興味深い。
sheet の座屈、破れなどを幾何学的な側面から概説した話。
一般相対論が出てくるとは思わなんだ。
書評。一般向けの本だけど、web のアルゴリズムを教える大学の授業にちょうど良いくらいだよ、とのこと。
表面エネルギー、接触角、毛管現象。
#6
[paper] 今日拾った論文 (Vacuum 81(3))
まあいずれも取り寄せまではしなくても良いかと。
IPVD Ar→Cu の OES 測定。
ゲージ較正用の MC シミュレーションと実測結果の比較。
少し落ち着いたので再開。ちんたら f400 を 2 本、その前後と合間にダラダラと walk で計 1h。しかし疲れた。
b.p. 142/90, hr 90。
プール経由で直帰。寒い。
sid のマシンで動かしていたのだが、今日 apt-get upgrade したら
/usr/lib/ruby/1.8/htree/template.rb:410:in `eval': undefined method `[]' for #<Presen:0xb6d64028> (NoMethodError)
from (eval):1:in `empty_binding'
from /usr/lib/ruby/1.8/htree/template.rb:301:in `call'
from /usr/lib/ruby/1.8/htree/template.rb:301:in `expand_template'
from /usr/bin/samidare:1643:in `generate_output'
from /usr/bin/samidare:1881:in `main'
from /usr/bin/samidare:1609:in `open_status'
from /usr/bin/samidare:1525:in `open_lock'
from /usr/bin/samidare:1524:in `open'
from /usr/bin/samidare:1524:in `open_lock'
from /usr/bin/samidare:1508:in `times'
from /usr/bin/samidare:1508:in `open_lock'
from /usr/bin/samidare:1602:in `open_status'
from /usr/bin/samidare:1794:in `main'
from /usr/bin/samidare:1920
で動かなくなった。
こちら
のお話と同根かしらん？
sarge マシンではちゃんと動いた。ふむー。
原付。本屋〜郵便局〜武蔵野市民図書館と経由。今日も大変良い天気。
#2
[debian] samba vulnerability
ちょうど研究室に誰もいなくなっていたので upgrade。
難しい。
#4
[paper] 今日拾った論文 (PRL 97(14)), APL 89(14))
Anders 先生が著者に入っている論文。
アーク蒸着での Ar+, Ar2+, Ar3+ のエネルギー分布を Pfeiffer のアレで測った話。
Langmuir probe でプラズマ電位を測り、その分は引いてある。
従来の TOF の結果 (価数が違っても速度は同じ) と異なり、
多価になるほどエネルギーも大きい。
これは多価になると高速のテールが長くなっているので、
ピークと average が linear な関係にないからでは、という議論。
しかし多価イオンに対してエネルギーを与える機構ってなんだろ？
Si にポリスチレンをスピンコートして Ar 中で 1h 1270℃ 熱処理して、
さらに RCA 洗浄をして試料作製。XPS で SiC が見えていて、
XRD だと 3C-SiC だよ、PL で blue に光るよつー話。
excitation スペクトルも取っていて、360nm にピーク。
界面準位が光ってるんでは、と言っている。
glancing incidence の X 線小角散乱で、
Si 上の Ge island 形成を 500〜600 ℃あたりで見た話。
SK の wetting llayer が island 形成によって薄くなるとか、
高温だと interdiffusion が見え、応力緩和に効いてるっぽいとか。
PRL のタイトルを眺めていてふと疑問に思って検索してみた話。
なお、ラチェットに関する説明はファインマンの教科書『ファインマン物理学』 （日本語版、II 巻 21 章） に収録されている[1]。
ですか。
Ar ラインの check。減圧弁を閉じた状態で FC を open にして引いてみると、
最終的に定常状態で 1.3 sccm ほどの flow になっている。
加圧→Snoop では見付からず。
減圧弁のボンベ側を抜いてみることにする。
17:26 で 15MPa から。
うむわかった、フローコントローラ (SFC-280E)
の入口のパーティクルフィルタのようだ。
リーク穴？にエタノールを差したらズガっと流量が増えた。
さてマニュアルどこやったっけ…
あった。しかしフィルタはマニュアルには書いてないな。
VP が付けてくれたんやろか。明日聞くか。
accept list を parse する .pl を書いた。あとはデータが fix したとこで明日。
#8
[VP] 勉強会準備
真空技術士試験向け、表面のあたりを簡単にまとめ。
たまたま自分の上半身が写っている最近の写真
*1
を見た。すっかり膨張している。誰だこれは。
…うう、痩せよう orz
原付。
結構暖かい？
原付。勉強会は中止になったが VP 経由、書店経由。
#2
[labo] フローコントローラ
大橋さんに電話、行き掛けに寄せていただいて構造を伺う。
FC からは VCR オス、それを両側で受ける両メスのナット(？)が
入って Swagelok の変換コネクタ、というところらしい。
んで VCR のところで緩んだのではないですか、というところ。
交換用ガスケットをもらう。
確定したので昨日のスクリプトを expand して作成。
食わせるデータの編集と合わせて 2h くらいでできた。
(invited) を入れるのを忘れててこっそり改版。
あいかわらず詰めが甘い。
#4
[receipt] 紀伊国屋 BC 1,702 円
配管のところは、結局増し締めで止まった模様。
一応 He でリークテスト、-13 A 台だったので大丈夫と思うが。
ベーキングの配線をまたしても星くんにやってもらう。
あとは熱電対の配線とリークバルブの周囲くらいか。お疲れさまでした。
星くんの作業を横目でみつつ黙々と編集。まだ先は長いが。
ボンベの固定作業中の星くんを置いてプールへ。酷いな(^_^;
f400x2 をちょっと真面目に泳ぎ、あとは歩いて計 55min。
まだ腕の筋力で律速されている。
終了ギリギリだったので血圧は測定せず。
原付でプールから直帰。雨に降られた。
バスタオルを巻き付けて家まで。
10:30-12:50＠駒場生産研。ちょっと空模様が怪しかったので今日は電車。
特許の絡みは、企業の部会員の方々から (対象著者に対する)
厳しいご意見をいただき、とても参考になった。
大学のいい加減さ (^_^; とは、やはり大変温度差がある。
早く終わったので大学に寄っても良かったのだが、
水泳の後遺症の倦怠感もあいまって、日和ることにして直帰。
以上、10 日分です。
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中野武雄 (NAKANO, Takeo) <nakano@st.seikei.ac.jp>
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